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????? 中芯國際北京公司擁有國內(nèi)唯一一條實現(xiàn)持續(xù)盈利的12英寸集成電路生產(chǎn)線。該生產(chǎn)線上所使用的幾十臺國產(chǎn)設(shè)備,與眾多進口設(shè)備一起,新近完成了12英寸晶圓千萬片次的量產(chǎn)。
???? 集成電路俗稱芯片,是高端制造業(yè)的核心。近年來,我國每年集成電路產(chǎn)品進口金額超過石油。在普及率極高的智能手機行業(yè),包括CPU、存儲器、各類感應(yīng)元器件等,基本依賴進口。
???? 2008年以來,國家通過極大規(guī)模集成電路制造裝備及成套工藝專項——“02專項”的實施,推動集成電路國產(chǎn)裝備的開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化,把目標直接定位在世界上最先進的65納米、40納米、28納米技術(shù)節(jié)點上,并由行業(yè)的龍頭企業(yè)來牽頭。
???? 中芯國際是內(nèi)地規(guī)模最大、技術(shù)最先進的集成電路制造企業(yè)。其位于亦莊的北京公司,與國內(nèi)集成電路設(shè)備制造商成立了“產(chǎn)學研”聯(lián)合開發(fā)實驗室,共同面對設(shè)備要求高、系統(tǒng)復雜、每兩年更新一代、市場基本被美歐日幾家廠商壟斷的局面。
???? 在裝備設(shè)計上,以往,廠商自己在實驗室里閉門造車,造出一個“鐵箱子”,然后搬到工廠里去,不行再搬回來改;現(xiàn)在要預(yù)先知道生產(chǎn)的具體要求是什么,隨時改進,共同開發(fā)。
???? 對芯片生產(chǎn)企業(yè)來說,原來是購買進口設(shè)備,維修和調(diào)試都由外國公司承包,進度和質(zhì)量有合同保證,心理負擔小;現(xiàn)在要使用國產(chǎn)設(shè)備,攻關(guān)小組邊干邊學,責任全在自己身上,不但要保證進度,更要保證交到終端客戶手里的產(chǎn)品質(zhì)量不出任何問題。
???? 在國家重大科技專項的支持下,國內(nèi)集成電路代工廠與設(shè)備制造企業(yè)實現(xiàn)對接,為國產(chǎn)設(shè)備在中國集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中的大面積應(yīng)用打開了局面,為國產(chǎn)設(shè)備企業(yè)走向世界奠定了基礎(chǔ)。
國產(chǎn)設(shè)備終于能夠與國外同類產(chǎn)品進行技術(shù)比較和價格比拼,這提升了國產(chǎn)設(shè)備在產(chǎn)業(yè)鏈中的重要性,為中國企業(yè)破除設(shè)備采購壁壘,降低采購成本,做出了巨大貢獻。
???? 在中芯國際北京公司,眾多專業(yè)制造芯片的設(shè)備供應(yīng)商云集。國內(nèi)企業(yè)就有北方微電子、中科信、中微半導體、沈陽拓荊、七星華創(chuàng)、華海清科、京儀自動化、沈陽科儀等。他們在其擅長的工藝領(lǐng)域突破了國外同類產(chǎn)品壟斷的局面,逐漸形成自主知識產(chǎn)權(quán)的核心技術(shù)。
???? 尤其是北方微電子公司,成功開發(fā)了以刻蝕設(shè)備(ETCH)、化學氣相沉積設(shè)備(CVD)、物理氣相沉積設(shè)備(PVD)三大類半導體裝備產(chǎn)品為基礎(chǔ)的20余類產(chǎn)品。
???? 他們從實際生產(chǎn)需求出發(fā),由用戶方發(fā)起需求,進行定制化研發(fā)和制造,開發(fā)出適合實際需要的國產(chǎn)化設(shè)備,最后達到批量采購的結(jié)果。其部分產(chǎn)品在關(guān)鍵工藝技術(shù)上達到了國際水平,已正式進入海外主流芯片企業(yè)生產(chǎn)線。
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