設(shè)備名稱：高溫磷酸清洗機(jī)
設(shè)備型號(hào)：CSE-SZ2011-16
整機(jī)尺寸：約2800mm（L）×1200mm(w)×1900mm（H）
節(jié)拍：根據(jù)實(shí)際工藝時(shí)間可調(diào)
清洗量：
批量清洗時(shí)，采用提籃裝片，單次清洗圓片的數(shù)量要求如下
2＂外延片，每次不少于1藍(lán)，每籃不少于25片
4＂外延片，每次不少于1藍(lán)，每籃不少于20片
6＂外延片，每次不少于1藍(lán)，每籃不少于20片
框架材料:優(yōu)質(zhì)10mm瓷白PP板機(jī)殼，優(yōu)質(zhì)碳鋼骨架，外包3mmPP板防腐
機(jī)臺(tái)底部：廢液排放管路，防漏液盤結(jié)構(gòu)
機(jī)臺(tái)支腳：有滑輪裝置及固定裝置，并且通過可調(diào)式地腳，可高低調(diào)整及鎖定功能
DIW上水管路及構(gòu)件采用日本積水CL-PVC管材，排水管路材質(zhì)為PP管排風(fēng)：位于機(jī)臺(tái)后上部
工作照明：上方防酸型照明
臺(tái)面板為優(yōu)質(zhì)10mmPP板（帶有圓形漏液孔，清除臺(tái)面殘留液體）
附件：水、氣槍左右各兩套
控制方式：PROFACE/OMRON + 三菱、OMRON 品牌 PLC 組合控制；
安全保護(hù)裝置：
????? ●設(shè)有EMO(急停裝置)，?
????? ●強(qiáng)電弱點(diǎn)隔離
????? ●設(shè)備三層防漏? 托盤傾斜?? 漏液報(bào)警? 設(shè)備整體置于防漏托盤內(nèi)
臺(tái)面布置圖：
各槽工藝參數(shù)
