溝槽腐蝕機(jī)-CSE
概述
1.1 設(shè)備概況：
主要功能：本設(shè)備主要手動(dòng)搬運(yùn)方式，通過(guò)對(duì)si片腐蝕、漂洗、等方式進(jìn)行處理，從而達(dá)到一個(gè)用戶要求的效果。
1.1.1 設(shè)備名稱：溝槽腐蝕機(jī)
1.1.2 設(shè)備型號(hào)：CSE-SC-N601
1.1.3 整機(jī)尺寸(參考)：約2000mm（L）×1400mm(W)×2000mm(H)；
1.1.4 被清洗硅片尺寸：5寸/6寸
1.1.5 設(shè)備形式:室內(nèi)放置型;
1.1.6 操作形式：手動(dòng)
1.2 設(shè)備組成
該設(shè)備主要由清洗部分、抽風(fēng)系統(tǒng)及電控部分組成
設(shè)備工藝走向：參照本方案臺(tái)面布局圖
1.3 設(shè)備描述
●此裝置是一個(gè)半自動(dòng)的處理設(shè)備。
●8.0英寸PROFACE 人機(jī)界面顯示 / 檢測(cè) / 操作
●主體材料：10mmPP板，優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架，外包3mmPP板防腐；
●化學(xué)槽槽體材料：德國(guó)勞士領(lǐng) 10mm ?PVDF板；
●純水槽槽體材料：德國(guó)勞士領(lǐng) 10mm ?NPP板；
●臺(tái)面板為10mm PP板（帶有菱形漏液孔）；
●DIW主管路及構(gòu)件采用日本進(jìn)口clean-PVC管材，支管路及閥件采用PFA材質(zhì)，需滿足18M去離子水水質(zhì)要求；酸 堿管路材質(zhì)為進(jìn)口PFA/PVDF；
●采用國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)加工，焊接組裝均在萬(wàn)級(jí)凈化間內(nèi)完成
●排風(fēng)：位于機(jī)臺(tái)后下部
●工作照明：上方防酸型白光照明
●歐姆龍/三菱 PLC控制。
●安全考慮：
1. 設(shè)有EMO(急停裝置)，?
2. 強(qiáng)電弱點(diǎn)隔離
3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面
4. 電控箱正壓裝置（CDA Purge）
5. 設(shè)備三層防漏 ?樓盤傾斜 ? 漏液報(bào)警 ?設(shè)備整體置于防漏托盤內(nèi)
6. 排放管路加過(guò)濾裝置
7 排液按鈕具有連鎖功能。啟動(dòng)排液時(shí)，同時(shí)切斷泵啟動(dòng)。
8 槽內(nèi)配液位開(kāi)關(guān)，無(wú)液不循環(huán)。
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