掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料本研究論文通過防止?jié)穹ㄎg刻造成過多的晶體硅損耗，以降低原材料，實(shí)現(xiàn)在用薄基板材料的生產(chǎn)效率和低值化、高效。為查明進(jìn)入率的表面組織對(duì)異種結(jié)太陽能電池特性的依賴性，進(jìn)行表面組織并隨之產(chǎn)生的硅基板表面缺陷，分析了非晶硅薄膜的被動(dòng)特性變化，最后試圖確定這種特性變化對(duì)異種結(jié)太陽能電池運(yùn)動(dòng)特性的影響。用不同方法洗脫的晶片和未進(jìn)行洗脫處理的問題晶片、繪制正常晶片，用Fourier變換基礎(chǔ)輻射(FTIR)進(jìn)行了測量，并用計(jì)算機(jī)程序Origin對(duì)測量的數(shù)據(jù)進(jìn)行了對(duì)比分析， 以分析的結(jié)果為基礎(chǔ)，了解了污染物的特性，確定了不同洗凈方法是否能去除妖染物質(zhì)以及洗凈效果等，并對(duì)每種方法洗凈后的晶片進(jìn)行表面蝕刻處理，用肉眼確認(rèn)是否有正常的表面處理結(jié)果，并用反射率（reflectance）測量儀對(duì)表面處理結(jié)果及改善程度進(jìn)行了測量分析。 以分析的結(jié)果為依據(jù)，確立了洗凈效果最好的前處理洗凈方法。本實(shí)驗(yàn)采用太陽能電池Si基板，單晶硅的各向異性（anisotropic）紋理（Texturing）被認(rèn)為是太陽能電池中有效減少光反射的一種方法，一般采用在NaOH或KOH中加入isopropyl alcohol(IPA)的溶液，這些溶液在（100）方向形成不均勻（random）的upright pyramid，紋理（Texture）后，在400~1100nm波長區(qū)域，silicon...
發(fā)布時(shí)間:
2021
-
12
-
23
瀏覽次數(shù)：140
掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料本研究研究了濕法蝕刻下硅晶片背面的表面特性，測量分析表面形狀、表面電阻、測量范圍下的表面粗糙度，分物理特性和電特性，對(duì)比分析相關(guān)關(guān)系，并最終確定，目的提高產(chǎn)品的電特性，采用P-type晶片蝕刻，蝕刻溶液以氫氟酸、硝酸為基礎(chǔ)，以醋酸為添加劑。本研究使用的晶片是利用Czochralski法生長成單晶硅烷晶片，向晶方向生長制備而成，是添加了13族元素硼(B)的p-type，比電阻為1~10ohm·cm，厚度為600μm，制作完成后前表面進(jìn)行了聚能處理，后表面進(jìn)行了磨邊處理，蝕刻溶液的制備如下: 分別為氫氟酸、硝酸和醋酸，各自濃度分別為55、60和99.85 wt%。 將硝酸和乙酸固定為8wt.%，氫氟酸變?yōu)?8、30、32、34和36wt.%，其余量為超純。 每個(gè)樣品名與氫氟酸濃度相匹配，分別為HF28、HF30、HF32、HF34、HF36，制備了蝕刻溶液，然后將硅晶片滴定到蝕刻溶液中進(jìn)行了蝕刻， 此時(shí)，蝕刻時(shí)間保持在10分鐘，蝕刻溫度保持在40℃，蝕刻前后用18MΩ的超純水對(duì)晶片進(jìn)行了清洗，干燥采用了氣動(dòng)干法。主要分為物理特性和電氣特性進(jìn)行了測量和分析，物理特性再測量了表面形貌和表面粗糙度，電特性則用硅晶片的表面電阻和比電阻測量進(jìn)行，首先在表面形貌測量上分宏觀和微觀兩個(gè)區(qū)域進(jìn)行，區(qū)域用AFM進(jìn)行了測量，表面粗糙度測量用AFM和α...
發(fā)布時(shí)間:
2021
-
12
-
22
瀏覽次數(shù)：259
掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料本研究透過數(shù)值解析，將實(shí)驗(yàn)上尋找硅晶片最佳流動(dòng)的方法，了解目前蝕刻階段流動(dòng)的形式，并尋求最佳晶片蝕刻條件,蝕刻工藝效率低利用氣泡提高濕法蝕刻工藝效果,用實(shí)驗(yàn)的方法尋找最佳流動(dòng)，通過數(shù)值分析模擬了利用這些氣泡的濕法蝕刻工藝，并得出最佳濕法蝕刻。如圖2所示，bath內(nèi)一次性加入晶片少則25片，多則50片,因?yàn)橛羞@么多的晶片，所以晶片和晶片之間的間隙很小（6.35 mm），所以晶片和晶片之間的流體會(huì)沿著晶片進(jìn)行固體旋轉(zhuǎn)，這使得蝕刻的效果會(huì)掉下來,氣泡也需要在bath內(nèi)精確定位并產(chǎn)生，但要真正精確定位并產(chǎn)生氣泡就有一定的困難,如前所述，蝕刻是無效的,本研究嘗試用計(jì)算機(jī)對(duì)這種濕法蝕刻工藝進(jìn)行數(shù)值分析及模擬，并在各種條件下交替尋找最佳流動(dòng)條件。 圖6晶片速度設(shè)為30rpm，在不產(chǎn)生氣泡的狀態(tài)下計(jì)算，以絕對(duì)速度和相對(duì)速度表示，如圖6所示，此時(shí)晶片之間的流動(dòng)與晶片一起在進(jìn)行固體旋轉(zhuǎn)，在晶片邊緣可以看出，受外部流動(dòng)的影響，速度小于固體旋轉(zhuǎn)，對(duì)相對(duì)速度求出圓周方向的平均值，定義為平均蝕刻速度，并在圖7(b)中給出，另外，對(duì)半徑方向的平均蝕刻速度進(jìn)行比較，結(jié)果表明，越往外，速度越大， 可以看到圖7(c)相對(duì)速度高的地方被蝕刻得多了一些，當(dāng)平均蝕刻速度為v→時(shí)，蝕刻形狀計(jì)算如下: z=z0-CV→t（6）其中c為比例常數(shù)，t為蝕刻時(shí)間。 圖...
發(fā)布時(shí)間:
2021
-
12
-
22
瀏覽次數(shù)：89
掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料本研究使用直接連接法連接玻璃和硅酮基板，并在爐內(nèi)進(jìn)行了長時(shí)間低溫?zé)崽幚?，以提高?duì)此的連接強(qiáng)度，另外，為了查明直接連接法中重要的基板清洗工藝及表面粗糙度的效果，對(duì)清洗工藝中表面戶籍變化對(duì)連接基板連接率的影響進(jìn)行了反演。作為傳統(tǒng)玻璃(Glass)和硅基板之間的連接方法，報(bào)告了從弦灰到玻璃和硅直接連接研究的一些實(shí)驗(yàn)結(jié)果，本研究使用直接連接法連接玻璃和硅酮基板，并在爐內(nèi)進(jìn)行了長時(shí)間低溫?zé)崽幚?，以提高?duì)此的連接強(qiáng)度，另外，查明了直接連接法中很重要的基材清洗工藝和表面粗糙度的效果。使用了直徑為4英寸的7740 Pyrex玻璃基板和P型線里昂基板(100)，玻璃基板厚度為500米，硅基板外厚度為525 um，玻璃基板具有包括12.7 %的B2Oa和4.0 %的Na20在內(nèi)的Al、K離子等成分，各基板的清洗使用了兩種不同的清洗方法，同時(shí)表現(xiàn)出了各自的特點(diǎn)和優(yōu)缺點(diǎn)，氨基磺酸(SPM)清潔法有強(qiáng)酸性留下殘留物的門劑，RCA清潔法擔(dān)心用強(qiáng)堿腐蝕玻璃玻璃板的表面。利用自動(dòng)圖像分析裝置定量計(jì)算數(shù)碼相機(jī)拍攝的基底對(duì)圖像，另外，為了了解各種清潔方法下Glass基板表面的變化，用自動(dòng)力顯微鏡(AFM)對(duì)玻璃基板表面的粗糙度進(jìn)行了分析，通過熱處理連接的Glass/Si wafer基板對(duì)的接合強(qiáng)度是用常用的剃須刀片插入法測量的。這是通過將剃刀片放在連接界面之間產(chǎn)生裂紋來求得連接力強(qiáng)...
發(fā)布時(shí)間:
2021
-
12
-
22
瀏覽次數(shù)：192
掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料本文提出了一種金剛石微研磨和金剛石輪v尖來直接制備α-SiTF太陽能電池玻璃襯底上的精確鏡像微槽陣列，因此，光在微透鏡和太陽能電池襯底之間的界面上不會(huì)發(fā)生第二次反射，這種微槽玻璃透鏡可以產(chǎn)生新的微光學(xué)特性來吸收散射光，目的是改善弱光照明下的光伏特性。利用蒙特卡羅模擬研究微光學(xué)特性，理論分析微槽透鏡結(jié)構(gòu)的光學(xué)效應(yīng)；其次，利用金剛石磨輪在薄膜太陽能電池玻璃/空氣界面制作500～800µm深度的微槽透鏡；然后研究光強(qiáng)和入射的光學(xué)和光電特性；最后，將微槽透鏡應(yīng)用于太陽能裝置，進(jìn)行弱強(qiáng)日光下的充放電實(shí)驗(yàn)，研究其發(fā)電能力。在本研究中，具有疊加結(jié)構(gòu)的太陽能電池由1µm厚的α-Si吸收層組成，尺寸為50×50×3mm3(l×w×h)的電池描述。為了研究微槽透鏡的光學(xué)效應(yīng)，需要利用幾何光學(xué)理論來分析其反射和折射的光學(xué)現(xiàn)象。采用蒙特卡羅光線追蹤法對(duì)光軌跡進(jìn)行了分析，它可能預(yù)測太陽能電池和光學(xué)元件的性能，結(jié)果表明，入射光撞擊微透鏡結(jié)構(gòu)表面后，光反射多次，折射成較大的傳播角，微透鏡陣列可能會(huì)散射。 圖2圖2顯示了太陽能電池的光通量γ和透射率t與入射角α的關(guān)系，結(jié)果表明，微槽透鏡比微半球透鏡散射的光更多(見圖2a)。它有助于有效利用太陽能電池中的光光子，這是因?yàn)樗梢员Ｗo(hù)太陽能電池免受過度集中的光的照射...
發(fā)布時(shí)間:
2021
-
12
-
22
瀏覽次數(shù)：240
掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料在本研究中，我們研究了特定濃度的(HF)氫氟酸作為蝕刻劑對(duì)銅綠底物表面形態(tài)和銅綠假單胞菌生物膜生長的影響。和金黃色葡萄球菌。我們發(fā)現(xiàn)，蝕刻表面的細(xì)菌數(shù)量有周期性的增加和減少。這一方面表明了生物膜的生長與細(xì)小膜的生長密切相關(guān)。在我們的研究中，我們使用用于顯微鏡觀察的鈉石灰玻片作為生物膜附著的基質(zhì),雖然玻璃的實(shí)際成分有很大的變化，但二氧化硅（二氧化硅）被發(fā)現(xiàn)是交聯(lián)形成四面體結(jié)構(gòu)的主要成分,這種氧化物的存在使普通的微觀玻片親水，這從上面極低的接觸角可以明顯看出。如果玻璃浸泡在高頻溶液中，這種親水性可能會(huì)被破壞，因?yàn)楦哳l與二氧化硅的反應(yīng)形成疏水六氟硅酸鹽和四氟化硅,在蝕刻產(chǎn)生的粗糙度與生物膜的形成以及由此形成的生物膜的穩(wěn)定性之間也沒有任何確定的相關(guān)性。 圖1當(dāng)在光學(xué)顯微鏡下觀察時(shí)，即在局部的微米尺度上，蝕刻的表面似乎并不粗糙，而是在表面上由不同大小的孔組成（圖1）。值得注意的是，A(t)顯示（圖2）蝕刻時(shí)間增加，最小值為30秒，最大值為60秒，下一個(gè)最小值為90秒。控制數(shù)據(jù)以0s表示。數(shù)據(jù)點(diǎn)通過樣條曲線連接起來作為視覺引導(dǎo)。 圖2此時(shí)，我們意識(shí)到蝕刻表面的“粗糙度”約為100nm,這導(dǎo)致我們使用分析儀，它可以測量如此大的高度波動(dòng),掃描結(jié)果在150μm×150μm區(qū)域內(nèi)進(jìn)行，高度分辨率為44nm，平均超過40個(gè)剖面,我們提取數(shù)...
發(fā)布時(shí)間:
2021
-
12
-
22
瀏覽次數(shù)：278
掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料RCA清洗化學(xué)已廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體行業(yè)，尤其是用于去除晶片表面的各種污染。根據(jù)在RCA清洗中應(yīng)用的最后一種化學(xué)物質(zhì)，SC2最后過程中的粒子或SC1最后過程中的金屬離子都可以留在晶片表面。在實(shí)踐中，由于金屬離子要求低于108原子/cm2，SC2最后清洗工藝更受青睞。然而，SC2最后一次清洗中的殘留顆粒成為當(dāng)前晶片清洗中的一個(gè)嚴(yán)重問題。SC2溶液的酸性可以使粒子更容易在晶片表面，因?yàn)橄喾吹膠eta勢吸引的增加而重新沉積。為了提高金屬污染的去除能力，防止顆粒的再生，可以在SC2中添加新的表面活性劑或有機(jī)酸等化學(xué)添加劑。因此，本研究選擇這些添加劑對(duì)氯化物基清洗溶液進(jìn)行改性，以保持金屬去除效率，防止顆粒再生。所有實(shí)驗(yàn)均采用直徑為6英寸的（100）型硅晶片，使用36%鹽酸將基溶液從0.02wt%滴定到0.5wt%。對(duì)于添加劑，我們選擇了TritonX-100和草酸來評(píng)價(jià)金屬和顆粒的去除效率。為了比較顆粒再生情況，將硅片浸入100nm膠體硅和聚苯乙烯乳膠(PSL)的顆粒溶液中。在添加或不添加添加劑的清洗溶液中的晶片顆粒上。用光學(xué)顯微鏡評(píng)估復(fù)位率。我們觀察到，TX-100的存在可以幫助防止二氧化硅和PSL的顆粒再生，并保持較高的金屬去除效率。在化學(xué)物質(zhì)中測量了zeta電位，以了解電荷對(duì)粒子復(fù)位的影響。在金屬去除評(píng)價(jià)中，使用氯化銅和氯化鋁溶液通過浸漬法對(duì)Si進(jìn)行故意...
發(fā)布時(shí)間:
2021
-
12
-
21
瀏覽次數(shù)：342
掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料由于光光刻和濕蝕刻的結(jié)合，門氧化物區(qū)域現(xiàn)在仍然被定義。實(shí)際上，后者優(yōu)于等離子體蝕刻，以避免任何晶體管溝道粗糙度和可靠性退化。在這種軟掩模圖案形成過程中，抗蝕劑下的柵氧化物可以通過兩種不同的機(jī)制降解：一種是PR（光抗蝕劑）/柵氧化物界面的橫向濕蝕刻滲透，要么是化學(xué)物質(zhì)向同一界面的垂直擴(kuò)散，擴(kuò)散動(dòng)力學(xué)和表征已經(jīng)被提出了。本文討論了高頻基化學(xué)物質(zhì)通過抗蝕劑滲透的門氧化物降解的更深入了解。 圖1當(dāng)濕的蝕刻劑通過抗蝕劑完全擴(kuò)散并開始降解底層時(shí)，就會(huì)發(fā)生這種情況，最具挑戰(zhàn)性的任務(wù)是檢測這種退化。圖1顯示了暴露于液體HF后的抗水泡,這些水泡只有在掃描電鏡暴露下才會(huì)出現(xiàn),這可能是由于抗蝕性腫脹,紅外測量已經(jīng)確定，在聚合物內(nèi)的高頻擴(kuò)散過程中，抗蝕劑的核心性質(zhì)沒有被改變。然而，一些組件，如增塑劑，電荷，在接觸高頻時(shí)可以擴(kuò)散。此外，如果濕蝕刻劑由于聚合物鏈的松弛而滲透聚合物，聚合物將失去其力學(xué)性能,掃描電鏡可能會(huì)在局部帶來足夠的能量來膨脹抗蝕劑，裝飾抗蝕劑下的退化層區(qū)域。 圖2提出了幾種研究抗蝕性保護(hù)退化的方法（圖2）,最可靠的是晶體管的電氣測試，盡管如此，這些產(chǎn)品測試和柵極氧化物定義之間的持續(xù)時(shí)間通常是一個(gè)月,因此，降解被捕獲得很晚，并且在退化的抵抗保護(hù)事件中是一個(gè)巨大的成本。因此，重點(diǎn)是柵極氧化物表面降解，一旦化學(xué)物剛剛到達(dá)底層,HF0.5%2...
發(fā)布時(shí)間:
2021
-
12
-
21
瀏覽次數(shù)：46
掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料本文介紹了一種選擇性刻蝕刻19%氫氧化鈉水溶液中玻璃相的有效方法，對(duì)掃描電鏡和x射線衍射的分析證實(shí)，在LTCCA6(Ferro)中，只有玻璃相被去除。用1%鹽酸（鹽酸）、2%氫氟酸(HF)、10%氮化氫氮酸（硝酸）和19wt%氫氧化鈉（氫氧化鈉）蝕刻LTCC,掃描電鏡分析表明，通過蝕刻19wt%的氫氧化鈉，可以得到LTCCA6(Ferro)的顯微結(jié)構(gòu)。XRD分析證實(shí)，在室溫下，可以在19%氫氧化鈉水溶液中，選擇性地從玻璃陶瓷中去除玻璃相。用了來自Ferro的市售LTCC底物(A6)，綠色磁帶在70℃時(shí)32Mpa等壓等壓，在℃可編程爐中在850峰值溫度下共燒30min，LTCC表面在蝕刻前進(jìn)行了拋光，隨后使用2000#、3000#和5000#砂紙，對(duì)燃燒的LTCC樣品進(jìn)行拋光。圖1描述了拋光前后的地形，表示LTCC的平面化。 圖1LTCC的蝕刻使用了一系列化學(xué)物質(zhì)，包括1wt%鹽酸酸（鹽酸）、2wt%氫氟酸(HF)、10wt%氫氮化酸（硝酸）和19wt%氫氧化鈉（氫氧化鈉）,利用衍射儀進(jìn)行了x射線衍射分析，確定了在蝕過程前后相復(fù)合材料的任何變化,Kα射線束的波長為0.154nm，對(duì)應(yīng)于銅Kα線。利用Quanta200模型的掃描電子顯微鏡(SEM)觀察了LTCC的顯微結(jié)構(gòu)。 表2表2分別給出了氫氧化鈉19%氫氧化鈉水溶液的蝕刻速率...
發(fā)布時(shí)間:
2021
-
12
-
21
瀏覽次數(shù)：110
掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料在這篇文章中，演示了在鈦薄膜上形成納米尺度陽極氧化物的設(shè)備，以及在接觸或半接觸模式下使用NTMDT公司的求解器PROTM AFM對(duì)其進(jìn)行表征。眾所周知，在電場的影響下，當(dāng)不同材料的表面相對(duì)于帶負(fù)電的電極帶正電時(shí)，氧化膜在表面上生長，這種電化學(xué)反應(yīng)被稱為陽極氧化，在圖1中，顯示了老撾的原理方案，在空氣或任何潮濕的大氣中，探針和樣品表面通常被一層吸水薄膜覆蓋。當(dāng)尖端足夠接近表面時(shí)，這些被吸收的層接觸并通過毛細(xì)作用形成電解質(zhì)橋。在尖端施加負(fù)電壓時(shí)，尖端下方的鈦表面將發(fā)生電化學(xué)反應(yīng)。 圖1表面和尖端之間產(chǎn)生的電場刺激通過陽極氧化物的轉(zhuǎn)移，陽極氧化島高度的生長速度主要取決于離子的速度和電場強(qiáng)度，在陽極電位不變的情況下，氧化物中的場強(qiáng)將隨著陽極氧化物的生長而下降，因此，電場與生長中的氧化物島的厚度成反比。氧化丘的生長速度在陽極氧化的早期階段較高，因?yàn)楫?dāng)它穿透超薄電介質(zhì)膜時(shí)，大電場沒有時(shí)間減少?？梢钥闯?，電流密度隨著陽極膜的生長呈指數(shù)下降，因此，生長速度下降，最后，氧化物島生長停止在由陽極電勢定義的某個(gè)值，圖2展示了改性鈦表面的典型原子力顯微鏡圖像。 圖2為了減小尖端和表面之間的水橋直徑，我們建議根據(jù)W和Ti的耐火化合物選擇特殊的硬涂層，為了達(dá)到所需的特性，開發(fā)了用于老撾的硅懸臂梁的TiOx和W2C涂層，使用了陰極電弧沉積技術(shù)，這種方法允許...
發(fā)布時(shí)間:
2021
-
12
-
21
瀏覽次數(shù)：273