掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料本文討論了溫度對(duì)去除氮化物或氧化物層的蝕刻速率的影響,對(duì)于氧化物層，溫度并不是很重要，因?yàn)檠趸镌谑覝叵驴梢员豢焖偃コ?這與氮化物層不同，與相同厚度的氧化物層相比，在室溫下去除它需要更長的時(shí)間。具體來說，本研究比較了不同蝕刻溫度下氮化物層的圖案結(jié)構(gòu),在第二個(gè)實(shí)驗(yàn)裝置中，研究了不同溫度下氮化物層和氧化物層的蝕刻速率,氮化物和使用薄膜映射器F50薄膜指標(biāo)檢測氧化物層的厚度,最后，通過加熱桶方溶液，發(fā)現(xiàn)了最佳的蝕刻技術(shù),本文通過對(duì)傳統(tǒng)BOE工藝的比較，對(duì)其加熱工藝進(jìn)行了討論。在本實(shí)驗(yàn)設(shè)置中，在780µm厚的單拋光晶片上切割成1英寸的方形樣品,襯底在兩側(cè)預(yù)涂上199.91nm厚的LPCVD氮化硅,利用薄膜映射器F50薄膜指標(biāo)測量了薄層氮化物的厚度,底物在超聲浴中用丙酮和甲醇浸泡5分鐘,然后用去離子(DI)水沖洗樣品,然后用氮?dú)獗埔愿稍?。最后，將樣品放在熱板上，溫度設(shè)置為120ºC，持續(xù)15-20分鐘進(jìn)行硬烤確保硅表面沒有水。硅樣品然后進(jìn)行光刻過程，在基板上形成正方形框架,正光刻膠AZP4620首先使用旋轉(zhuǎn)涂布器涂覆在硅襯底上，設(shè)置為500rpm10s，然后是2000rpm20s,接下來，將基底置于120ºC的熱板上，放置1分鐘,只有這樣，樣品才能準(zhǔn)備好進(jìn)行光刻工藝。利用掩模對(duì)準(zhǔn)器KarlSussMJB3將掩模上的正方形圖案...
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掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料本研究在實(shí)際單位工藝中容易誤染，用傳統(tǒng)的濕式清潔方法去除的Cu和Fe等金屬雜質(zhì)，為了提高效率，只進(jìn)行了HF濕式清洗，考察了對(duì)表面粗糙度的影響，為了知道上面提出的清洗的效果，測量了金屬雜質(zhì)的去除量，測量了漆器和表面形狀，并根據(jù)清潔情況測量了科隆表面特性。本實(shí)驗(yàn)使用半導(dǎo)體用高純度化學(xué)溶液和DI 晶片，電阻率為22~38 ohm~ cm，使用了具有正向的4 inches硅基底，除裸晶圓外，所有晶片均采用piranha+HF清洗進(jìn)行前處理，清楚地知道紗線過程中易污染的Cu和Fe等金屬雜質(zhì)的去除程度。Cu金屬雜質(zhì)的人為污染量和各次清洗產(chǎn)生的金屬物凈產(chǎn)物的除糠量均被定為TXRF，其結(jié)果為圖1。有效地去除了Cu金屬雜質(zhì)，通過不斷反復(fù)處理，Cu雜質(zhì)量減少到I×10' atoms/am左右。 圖1從干氣化學(xué)角度考察這個(gè)結(jié)果如下，圖2顯示，在污名溶液中Cu以Cu~相狀存在，在這種人為污染溶液中浸泡SI FLE，形成了電化學(xué)電池，也就是說，污染溶液中的Cu2是通過對(duì)電子進(jìn)行交聯(lián)的方法，通過Split 1清潔(HF-only)去除了界面上形成的SiO2，認(rèn)為污染的Cu將從硅表面去除，但是，根據(jù)split 1清洗后Cu中的金屬雜質(zhì)顯示出約1×101’ATOMS/CML的殘留量，因此，HF清洗對(duì)Cu有效，未能過度去除，紫外線/臭氧鏟入的...
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掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料為了利用蝕刻技術(shù)實(shí)現(xiàn)更好的捕光效果，它分別考慮了短波長小結(jié)構(gòu)和長波長區(qū)域大結(jié)構(gòu)的散射效應(yīng)，本研究綜述了反應(yīng)機(jī)理、蝕刻速率、表面形貌以及玻璃類型的影響，討論了蝕刻劑的類型和硬掩模層。最后，描述了應(yīng)用程序和結(jié)論。對(duì)于玻璃的蝕刻，只使用氫氟酸或其他含高頻的水溶液，HF由腐蝕性氫離子（H+）和有毒氟化物（F-）組成，因此以兩種方式起作用，酸腐蝕了玻璃表面，從而使有毒的氟化物離子穿透玻璃，一旦進(jìn)入玻璃中，氟化物離子就會(huì)與其他鈣相互結(jié)合，從而干擾玻璃中的其他化學(xué)成分。只有在同時(shí)含有HF和濃縮硫酸的蝕刻劑中，蝕刻率高于HF/HCl或HF/HNO3蝕刻劑，這一效應(yīng)描述了活性氟化HSO3F酸的形成。為了進(jìn)一步詳細(xì)說明，緩沖酸蝕刻劑從鹽酸到硫酸的作用如表1所示。 表1在第一次反應(yīng)中，較高濃度的HF產(chǎn)生副產(chǎn)物,然后在蝕刻過程中與硫酸進(jìn)行第二次反應(yīng)后，HF發(fā)生再生,高頻濃度隨著硫酸的變化而持續(xù)保持，然后隨著活化能的增加而持續(xù)保持。因此，硫酸的加入可以有效地提高蝕刻率和表面粗糙度。從表面的蝕刻過程來看，這些表面不如機(jī)械拋光的表面光滑，這意味著可以將地面表面轉(zhuǎn)化為光學(xué)透明的表面。 圖2如上所述，鹽酸與HF的蝕刻機(jī)理略有不同。隨著時(shí)間的推移，不溶性副產(chǎn)物的尺寸變大，并積累起來干擾玻璃上的蝕刻，然而，鹽酸在高頻-HCl混合溶液中釋放雜質(zhì)，由此可見，可以看到與...
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掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料為了形成膜結(jié)構(gòu)，單晶硅片已經(jīng)用氫氧化鉀和氫氧化鉀-異丙醇溶液進(jìn)行了各向異性蝕刻，觀察到蝕刻速率強(qiáng)烈依賴于蝕刻劑溫度和濃度，用于蝕刻實(shí)驗(yàn)的掩模圖案在硅晶片的主平面上傾斜45°。根據(jù)圖案方向和蝕刻劑濃度觀察到不同的蝕刻特性，當(dāng)氫氧化鉀濃度固定為20 wt%時(shí)，在80℃以上的蝕刻溫度下觀察到U形槽的蝕刻形狀，在80℃以下觀察到V形槽的蝕刻形狀，蝕刻硅表面產(chǎn)生的小丘隨著蝕刻劑溫度和濃度的增加而減少。為了了解單晶硅的KOH溶液和KOH-IPA混合用液的各向異性濕式蝕刻特性，利用CZ法生長的4英寸(100) n型硅片。首先，形成了濕式氧化方式購買的硅(SiO2)膜4300 A，為了提高PR與氧化硅膜的附著力，首先涂上了HMDS(己烯)溶液，感光液涂層后，利用對(duì)流式OVEN在90℃~ 10分鐘進(jìn)行熱處理(soft bake)，這一過程增加了涂層后殘留的溶劑，增加了感光液與晶片之間的粘合。將顯影液DPP-100在室溫下按原液原樣使用，顯影了1分鐘。現(xiàn)象結(jié)束后，晶片在120℃下熱處理10分鐘，防止感光膜受損。 圖1在此過程中，將準(zhǔn)備好的晶片切割成0.5 × 0.5 cm2大小，然后將切割的硅標(biāo)本切割成BOE在溶液中浸泡5分鐘，根據(jù)面膜模式冷卻氧化膜，隨后用PPS-100N stripper溶液去除了感光膜，此時(shí)，硅晶片上殘留的氧化膜層...
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掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料為了闡明蝕刻殘留物的形成機(jī)理，研究了氯/氦-氧、溴化氫/氦-氧和溴化氫/氯等不同氣體混合物的影響，我們發(fā)現(xiàn)，在氧的存在下，蝕刻殘留物形成良好，這表明蝕刻殘留物是由氧和非揮發(fā)性鹵化硅化合物的反應(yīng)引起的，濕法清洗和干法蝕刻清洗工藝被用于去除多晶硅蝕刻殘留物，這可能影響電特性和進(jìn)一步的器件工藝。XPS結(jié)果表明，濕法清洗適用于蝕刻殘留物的去除。 本文利用HBr/Cl/He-O2反應(yīng)氣體對(duì)多晶硅進(jìn)行反應(yīng)離子蝕刻后，利用X射線光電子能譜(XPS)和電子顯微鏡(SEM)對(duì)表面形成的杯狀流層進(jìn)行了研究，為了查明蝕刻殘留物的形成機(jī)制，從原來的混合氣體成分中分別排除了一種成分的反應(yīng)氣體，觀察了其效果。同時(shí)，為了消除使用HBr/CI/He-O2混合氣體冷卻后形成的殘留層，引入了濕法和干式工藝進(jìn)行了比較。圖1圖1是實(shí)驗(yàn)順序的圖表，首先，在生長了約100 nm厚的熱氧化物的(100) p型硅晶片基板上，用LPCVD方法將多晶硅生長了約550 nm，然后，利用64 MDRAM S1口罩對(duì)準(zhǔn)備好的基板進(jìn)行圖案設(shè)計(jì)，然后進(jìn)行了蝕刻實(shí)驗(yàn)，蝕刻條件是RF功率為150 w，反應(yīng)漢堡王的壓力保持在100 mTorr，磁場保持在75 Gauss，在此條件下，蝕刻速率約為200 nm/ min。為了查明蝕刻殘留物的形成機(jī)制，將原來的反應(yīng)氣體成分中的一個(gè)成分各排除在外，進(jìn)行了進(jìn)一步...
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掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料本文章將對(duì)表面組織工藝優(yōu)化進(jìn)行研究，多晶硅晶片表面組織化工藝主要分為干法和濕法，其中利用酸或堿性溶液的濕法蝕刻工藝在時(shí)間和成本上都比較優(yōu)秀，主要適用于太陽能電池量產(chǎn)工藝。本研究在多晶晶片表面組織化工藝常用的HF/HNO3混合溶液中加入CH3COOH進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)，通過濕法蝕刻工藝得到的多晶硅晶片的反射率和太陽能電池的光轉(zhuǎn)換效率變化，試圖為濕法蝕刻找到合適的條件。濕法蝕刻工藝主要用于多晶晶片的表面組織化，在多晶晶片中，每個(gè)晶粒的蝕刻形狀都不同，因此采用酸溶液各向同性蝕刻，濕法蝕刻的酸溶液是HF和HNO3，雖然常見的是與DI混合的溶液，但也會(huì)加入CH3COOH，觀察各溶液的化學(xué)反應(yīng)式和機(jī)理，HNO3與Si作用首先產(chǎn)生SiO2氧化物，SiO2被HF蝕刻生成H2O和H2SiF6，H2SiF6 由于是水溶性物質(zhì)，對(duì)化學(xué)反應(yīng)作用影響不大。通過改變濕法蝕刻溶液中HNO3和HF的濃度，可以改變蝕刻速度和表面組織化，H2O稀釋了HNO3的濃度，CH3COOH減少了HNO3的降解，從而對(duì)蝕刻速度產(chǎn)生影響。 本實(shí)驗(yàn)通過相同條件的溶液給蝕刻時(shí)間以變化（15秒、30秒、45秒、60秒），分析表面形貌變化，并進(jìn)行反射率及效率測定。實(shí)驗(yàn)使用的基片為boron興奮劑的p-type多晶晶片，具有1~3·cm，具有非電阻、200微米厚、尺寸為15.6×15.6 cm...
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掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料在本研究中，我們?cè)O(shè)計(jì)了一個(gè)150mm晶片的濕蝕刻槽來防止硅片的背面蝕刻，并演示了優(yōu)化的工藝配方，使各向異性濕蝕刻的背面沒有任何損傷，我們還提出了300mm晶圓處理用濕浴槽的設(shè)計(jì)，作為一種很有前途的工藝發(fā)展。為了使用KOH對(duì)硅進(jìn)行濕法蝕刻，需要硬掩模，一般情況下，硬面罩采用熱處理氧化膜（Thermal oxide）、PECVD SiO2、Si3N4等絕緣膜或aluminum（Al）等金屬膜，缺點(diǎn)是Al在去除過程中會(huì)產(chǎn)生污染熱點(diǎn)，Si3N4作為硬掩膜與KOH反應(yīng)較少，但后續(xù)濕法難以去除，對(duì)于氧化膜而言，PECVD沉積的氧化膜比熱處理氧化膜在膜質(zhì)內(nèi)存在的氫組分多，因此蝕刻率約高2倍。 因此，本研究采用與硅的選擇比良好且易于去除的熱處理氧化膜作為硬掩膜。 圖2利用上面的公式，在圖2預(yù)測了硅烷和氧化膜在不同溫度和濃度下的蝕刻率，如2所示。 硅在濃度為23wt%，氧化膜在濃度為37wt%時(shí)蝕刻率最高，在此基礎(chǔ)上，考慮了硅和氧化膜的選擇比，以形成最合理的條件，圖3選擇比在13%中最高，工藝溫度設(shè)定在38℃，希望盡可能減少硬面罩氧化膜的反應(yīng)。 圖3氫氧化鉀濕蝕刻中Si、二氧化硅的選擇性進(jìn)行實(shí)驗(yàn)時(shí)，在顯微鏡下觀察了硅與KOH的正常反應(yīng)，如圖6，實(shí)驗(yàn)在沒有單獨(dú)裝置的情況下，對(duì)硅進(jìn)行了蝕刻，確認(rèn)了晶片背面蝕刻的現(xiàn)象，這使得晶片整體厚度變薄，硅的硬度...
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掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料濕化學(xué)蝕刻是多晶硅表面紋理化的典型方法,濕化學(xué)蝕刻法也是多晶體硅表面鋸切損傷的酸織構(gòu)化或氫氧化鉀鋸切損傷去除后的兩步化學(xué)蝕刻,這些表面紋理化方法是通過在氫氟酸-硝酸-H2O的酸性溶液中進(jìn)行化學(xué)蝕刻來實(shí)現(xiàn)的。在這種解決方案中，我們可以通過簡單的工藝蝕刻多晶硅表面來降低反射光譜。在400 ~ 1100納米范圍內(nèi)，氫氧化鉀鋸損傷去除后的酸性化學(xué)腐蝕獲得了27.19%的反射率。這一結(jié)果比剛剛鋸下的損傷去除基底少約7%。用顯微鏡和掃描電鏡觀察表面形貌。本實(shí)驗(yàn)中使用的多晶硅晶片是boron摻雜的p-type，電阻為1約厘米，具有2 X 2例rf大小,基板在80℃的30%氫氧化鉀(KOH)溶液中冷卻7分鐘，去除Saw damage的基板浸泡在HF-HNO3-H20組成的水溶液(solvent)中冷卻。在同樣的條件下實(shí)施了,不同水溶液中硝酸的濃度不同，分別為S1、S2、S3。 圖1KOH saw damage的基板(圖1a)將乙浸泡在水溶液中，初期，針孔等窄寬度的微孔(pore)開始局部形成，隨著蝕刻時(shí)間的延長，這種微孔的數(shù)量逐漸增加，其寬度也擴(kuò)大，如圖1b得到了同樣的基板。隨著蝕刻時(shí)間的持續(xù)，有時(shí)會(huì)形成新的微孔，隨著已形成的微孔的寬度頂點(diǎn)擴(kuò)張，大多數(shù)微孔都被培養(yǎng)成了西，形成了一個(gè)新的微孔如圖1c,會(huì)凍結(jié)像這樣的表面的基底。 微孔的形態(tài)隨著蝕刻時(shí)間的變...
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掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，為了在有限的面積內(nèi)形成很多器件，技術(shù)正在向多層結(jié)構(gòu)發(fā)展，要想形成多層結(jié)構(gòu)，將形成比現(xiàn)有的更多的薄膜層，這時(shí)晶片背面也會(huì)堆積膜。如果在背面有膜的情況下進(jìn)行batch方式的潤濕工序，背面的膜會(huì)脫落，污染晶片正面。特別是Cu如果受到全面污染，就會(huì)成為嚴(yán)重的問題。 目前，在枯葉式設(shè)備中，冷卻晶片背面膜的方法是翻轉(zhuǎn)，翻轉(zhuǎn)晶片進(jìn)行蝕刻工藝的話，蝕刻均勻度最好在1%以下，但是，如果一面進(jìn)行工程，工程時(shí)間將增加一倍，為了減少工序時(shí)間，對(duì)在進(jìn)行頂面工序的同時(shí)進(jìn)行背面工序的方法進(jìn)行了評(píng)價(jià)。 圖1圖1是一種300毫米枯葉式裝置的模擬圖，包括可以蝕刻晶片背面的噴嘴，晶片背面與噴嘴的距離約為1.5厘米，晶片固定為6艘，工藝進(jìn)行，主軸頭最多可旋轉(zhuǎn)2000RPM，使用的晶片是 300毫米。 圖2圖2是為晶片背面蝕刻制作的噴嘴，噴嘴由藥液噴射部分和DIW噴射部分各組成，藥液噴射孔直徑為0.7毫米，孔與孔之間的間距設(shè)計(jì)各不相同，孔的間距是根據(jù)300毫米晶片的面積設(shè)計(jì)的，實(shí)驗(yàn)中使用的晶片是SiaN4在硅晶片上沉積約2000A，用于蝕刻的 藥液使用HF 49%，為了提高蝕刻效果，藥液的溫度上升到60℃， 藥液的流量為1L/min，進(jìn)行了蝕刻評(píng)價(jià)，工藝中DIW為1L/min。 在蝕刻工藝中，為了提高均勻度，在晶片中央部分噴射氮?dú)?，氮?dú)?..
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掃碼添加微信，獲取更多半導(dǎo)體相關(guān)資料本研究論文通過防止?jié)穹ㄎg刻造成過多的晶體硅損耗，以降低原材料，實(shí)現(xiàn)在用薄基板材料的生產(chǎn)效率和低值化、高效。為查明進(jìn)入率的表面組織對(duì)異種結(jié)太陽能電池特性的依賴性，進(jìn)行表面組織并隨之產(chǎn)生的硅基板表面缺陷，分析了非晶硅薄膜的被動(dòng)特性變化，最后試圖確定這種特性變化對(duì)異種結(jié)太陽能電池運(yùn)動(dòng)特性的影響。用不同方法洗脫的晶片和未進(jìn)行洗脫處理的問題晶片、繪制正常晶片，用Fourier變換基礎(chǔ)輻射(FTIR)進(jìn)行了測量，并用計(jì)算機(jī)程序Origin對(duì)測量的數(shù)據(jù)進(jìn)行了對(duì)比分析， 以分析的結(jié)果為基礎(chǔ)，了解了污染物的特性，確定了不同洗凈方法是否能去除妖染物質(zhì)以及洗凈效果等，并對(duì)每種方法洗凈后的晶片進(jìn)行表面蝕刻處理，用肉眼確認(rèn)是否有正常的表面處理結(jié)果，并用反射率（reflectance）測量儀對(duì)表面處理結(jié)果及改善程度進(jìn)行了測量分析。 以分析的結(jié)果為依據(jù)，確立了洗凈效果最好的前處理洗凈方法。本實(shí)驗(yàn)采用太陽能電池Si基板，單晶硅的各向異性（anisotropic）紋理（Texturing）被認(rèn)為是太陽能電池中有效減少光反射的一種方法，一般采用在NaOH或KOH中加入isopropyl alcohol(IPA)的溶液，這些溶液在（100）方向形成不均勻（random）的upright pyramid，紋理（Texture）后，在400~1100nm波長區(qū)域，silicon...
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