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?設(shè)備概述
華林科納CSE硅片有機(jī)清洗機(jī)，設(shè)備設(shè)計(jì)由華林科納聘請(qǐng)的從事半導(dǎo)體生產(chǎn)的專家親自指導(dǎo)，采用國(guó)際先進(jìn)的生產(chǎn)加工工藝，在超凈廠房組裝測(cè)試，有可靠的質(zhì)量保障。設(shè)備由不銹鋼骨架，外包10mm厚瓷白防火PP板，潔凈美觀，耐腐蝕。電控面板置于機(jī)臺(tái)上方，方便操作，并有防腐蝕保護(hù)，具有嚴(yán)格的安全防護(hù)措置。此設(shè)備腐蝕清洗裝置主要是浸泡式清洗腐蝕、清洗主體(槽體部分/管路部分等),抽風(fēng)系統(tǒng)，電控及操作臺(tái)等部分組成，腐蝕漂洗能力強(qiáng),性能穩(wěn)定,安全可靠。適用于4、6、8英寸硅片的清洗處理，腐蝕漂洗能力強(qiáng),性能穩(wěn)定,安全可靠。
設(shè)備結(jié)構(gòu)
??? ※?此設(shè)備腐蝕清洗裝置主要由水平通過(guò)式腐蝕、清洗主體(槽體部分/管路部分等),抽風(fēng)系統(tǒng),機(jī)械臂，電控及操作臺(tái)等部分組成;
??? ※?設(shè)備工藝流程:根據(jù)設(shè)備所放場(chǎng)地布置要求(與客戶溝通確定),設(shè)備左進(jìn)右出，經(jīng)手動(dòng)放置上料位→AB清洗槽→AB清洗槽→DI沖水槽→HCL清洗槽→DI溢流槽→下料臺(tái)，工藝處理合格后經(jīng)操作人員手動(dòng)下料;
??? ※?安全門：進(jìn)口優(yōu)質(zhì)透明PVC活動(dòng)門（左右、上下推拉式），防止有毒氣體揮發(fā)到室內(nèi)，保證設(shè)備外部環(huán)境符合勞動(dòng)保護(hù)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，以保證設(shè)備操作人員及其周圍工作人員的身體健康；
?? ?※?提籃設(shè)計(jì)精巧，槽體間轉(zhuǎn)移時(shí)將殘留液體降到最低；
?? ?※?機(jī)械臂采用絲杠平穩(wěn)控制方式,提籃不會(huì)晃動(dòng);
??? ※?提升重量不大于15KG;
??? ※?機(jī)械臂的定位精度高;
??? ※?機(jī)械手單獨(dú)急停開(kāi)關(guān)、系統(tǒng)急停開(kāi)關(guān)和機(jī)械手電機(jī)自動(dòng)過(guò)載保護(hù)等多重保護(hù)，確保操作者的安全。
??? ※?機(jī)械臂的橫向移動(dòng)和縱向提升均采用日本進(jìn)口伺服電機(jī)，閉環(huán)控制，定位精度≤1.0mm，?可靠性高；采用圓導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)及線性模塊傳動(dòng)，機(jī)械臂升降部及懸臂部均用噴塑及?PP包裹，確保機(jī)械臂壽命；
設(shè)備主要技術(shù)參數(shù)
??? ※?設(shè)備外形尺寸(參考)3200mm(長(zhǎng))?×1500?mm?(寬)?×2000?mm?(高)
??? ※?外殼：德國(guó)進(jìn)口10mm磁白色NPP板
??? ※?骨架：50*25?SUS方管，外包3mmNPP板；
??? ※?排風(fēng)：位于機(jī)臺(tái)后部；
??? ※?管路系統(tǒng)：位于機(jī)臺(tái)后方，?DIW管路及構(gòu)件采用進(jìn)口clean-PVC管材，滿足18MW去離子水水質(zhì)要求；
??? ※?有機(jī)械手自動(dòng)從上料位抓取花籃，自動(dòng)完成清洗工藝到下料位，手動(dòng)取出；
??? ※?防漏裝置：具有藥液漏夜在線監(jiān)測(cè)裝置；
??? ※?電源（用戶提供）：380VAC±10％頻率50HZ±10%；
??? ※?整機(jī)額定電功率(參考)：?5KW;
?? ?※?電氣性能:E級(jí),并有良好的接地;
?? ?※?DI水:壓力2-3KG/C㎡,流量2m3/hr(max),電阻率18M;
?? ?※?氣源：N2（用戶提供）：0.5～0.7Mpa,流量：200L/MIN；;
??? ※?排氣管路：PVDF??Φ150×2??排量30m3/min??負(fù)壓150Pa??調(diào)節(jié)風(fēng)閥?PVDF
??? ※?環(huán)境要求:空氣溫度5—30?℃?;相對(duì)濕度:80%
電器控制
??? ※?采用優(yōu)質(zhì)進(jìn)口日本歐姆龍PLC可編程控制器控制全操作過(guò)程，可手動(dòng)操作，方便工藝操作時(shí)間的修改；
??? ※?人機(jī)界面為觸摸屏，接口中有手動(dòng)操作、故障報(bào)警、安全保護(hù)等功能，各工作位過(guò)程完成提前提示報(bào)警，觸摸屏選用優(yōu)質(zhì)進(jìn)口日本歐姆龍產(chǎn)品；
??? ※?觸摸屏加鎖定，以防非授權(quán)人員修改或設(shè)定參數(shù)；
??? ※?設(shè)備照明：設(shè)備其它部位--低電壓燈，根據(jù)工作需要可控照明；
??? ※?設(shè)備的主機(jī)、附件及所有附屬設(shè)施應(yīng)采取設(shè)備安全防護(hù)措施，具有防止意外斷氣、斷電后，維持工作構(gòu)件正確位置等安全保護(hù)措施及裝置；
??? ※?設(shè)備整體采取人性化設(shè)計(jì)，方便操作；并裝有漏電保護(hù)和聲光報(bào)警提示裝置，保證性能安全可靠；
??? ※?電控部分導(dǎo)線采用耐高溫、耐腐蝕的專用導(dǎo)線，電氣控制部分內(nèi)部還通有壓縮空氣保護(hù)，可防水耐腐蝕；
??? ※?設(shè)備所有處于腐蝕腔中的線纜均通過(guò)PE管進(jìn)行保護(hù)，免受腐蝕；
?? ?※?所有的電控系統(tǒng)均裝有漏電保護(hù)器件，并有可靠的接地裝置及緊急關(guān)機(jī)和報(bào)警系統(tǒng)；
??? ※?設(shè)備具有良好的接地裝置；
??? ※?配有獨(dú)立的配電箱，電路方面進(jìn)行功能分塊，強(qiáng)電、弱電分塊，以便于維護(hù)；
安全防護(hù)
??? ※?設(shè)備照明：設(shè)備配有照明燈；
??? ※?設(shè)備整體采取人性化設(shè)計(jì)，方便操作；并裝有漏電、防火保護(hù)和設(shè)備漏液、故障等聲光報(bào)警提示裝置，保證性能安全可靠；
?? ?※?在設(shè)備的適當(dāng)位置裝有急停按鈕，按下時(shí)各工位停止工作，以滿足安全需要；
?? ?※?設(shè)備所有處于腐蝕腔中的線纜均通過(guò)PE管進(jìn)行保護(hù)，免受腐蝕；
??? ※?所有的電控系統(tǒng)均裝有漏電保護(hù)器件，并有可靠的接地裝置及緊急關(guān)機(jī)和報(bào)警系統(tǒng)；
??? ※?配有獨(dú)立的配電箱，電路方面進(jìn)行功能分塊，強(qiáng)電、弱電分塊，以便于維護(hù)；
技術(shù)保障
??? ※?系統(tǒng)結(jié)構(gòu)采用國(guó)外典型處理方法,保證系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的合理性和適應(yīng)性；
??? ※?設(shè)備禁止在工藝進(jìn)行時(shí)打開(kāi)安全門，如果安全門打開(kāi)工藝停止；
??? ※?廢氣處理不達(dá)標(biāo)或排風(fēng)達(dá)不到設(shè)定的排風(fēng)流量時(shí)，藥液自動(dòng)排掉，片子放在DIW水中，防止片子腐蝕過(guò)度；
??? ※?設(shè)備有故障時(shí)，自動(dòng)停止工藝，等故障排除，工藝重新開(kāi)始；
??? ※?儲(chǔ)液槽液位過(guò)低，系統(tǒng)自動(dòng)報(bào)警，提示補(bǔ)液；
??? ※?藥液槽液位或配比不能滿足工藝要求時(shí)，設(shè)備報(bào)警，并停止工藝，直至達(dá)到要求；
??? ※?在設(shè)備運(yùn)行時(shí)禁止打開(kāi)電控柜，防止觸電；
??? ※?結(jié)構(gòu)采用潔凈化處理技術(shù),可達(dá)到國(guó)外同類產(chǎn)品水平；
??? ※?采用國(guó)外進(jìn)口元器件及專業(yè)廠家產(chǎn)品；
??? ※?國(guó)產(chǎn)元器件采用國(guó)內(nèi)專業(yè)廠家生產(chǎn)和經(jīng)證實(shí)質(zhì)量?jī)?yōu)質(zhì)的高性能元件；
??? ※?華林科納設(shè)備的設(shè)計(jì)、生產(chǎn)、制造均采用ISO9001和軍工質(zhì)量管理體系保證；
??? ※?華林科納設(shè)備出廠前都經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的滲漏檢查。
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