華林科納生產(chǎn)的清洗機(jī)中，QDR 快排沖洗槽是不可缺少的一部分，它主要用于去除晶圓表面微粒雜質(zhì)和殘留化學(xué)藥液，使晶圓表面潔凈。QDR 是晶圓濕法清洗中最重要的一個(gè)清洗工藝模塊，主要由噴淋槽、溢流槽、勻流板、快排汽缸體、噴嘴噴管、管路和管件等組成。

↑ QDR 示意圖

槽體由進(jìn)口 NPP 板材焊接加工而成，由安裝在槽體底部的快排汽缸、底部 DI 水注入孔及頂部左右兩側(cè)的 DI 水噴嘴實(shí)現(xiàn)槽體的快速注入與排放，有氮?dú)夤呐莨δ?。在溢流排放口安裝有 DIW 電阻率檢測(cè)儀，可對(duì)沖洗溢流的水質(zhì)適時(shí)檢控。

一、噴淋管路

上噴淋管路共有兩路， 形成相互交叉噴淋，但去離子水不宜直接噴淋沖洗晶圓表面，因晶圓在水蝕作用下直接噴淋晶圓表面，易產(chǎn)生微粒污泥而污染晶圓表面，因此，在去離子水的噴淋過程中，需要對(duì)沖洗水壓、水量、方向和角度作出調(diào)整測(cè)試，以達(dá)到微粒污染少的最佳效果。 良好的噴嘴所噴淋范圍涵蓋全部晶圓及片盒； 而不良的噴淋沖洗形狀，沒有涵蓋全部晶圓及片盒， 未被噴淋沖洗的死角地帶，微粒、雜質(zhì)及化學(xué)藥液殘留含量仍然很高，而達(dá)不到良好的清洗效果。

二、氮?dú)夤呐?/p>

上噴淋同時(shí)， 下噴淋管路由底部兩側(cè)不斷進(jìn)水，而后由內(nèi)槽上沿四周溢出，這樣，每個(gè)晶圓片縫、各處邊角的去離子水都能連續(xù)得到更新。 同時(shí)，純凈氮?dú)庥上聡娏芄苈愤M(jìn)入槽體。 氮?dú)夤呐萦幸韵聨讉€(gè)作用：（1）增加了去離子水的沖刷力，對(duì)槽體本身有很好的自清洗作用；（2）晶圓在水流中顫動(dòng)，氣泡不能沾附其上，提高了沖洗效果；（3）減少去離子水中的含氧量，避免在晶圓表面生成氧化物。

↑ QDR 實(shí)拍圖

三、快沖快排

QDR 噴淋注滿水時(shí)間和排水時(shí)間，對(duì)晶圓清洗質(zhì)量有很大影響。 因晶圓表面暴露在空氣中會(huì)接觸空氣中的氧分子或水汽，在常溫下，即會(huì)生長一層很薄的氧化層（約為 0.5~1 nm），這層自然氧化物的厚度與暴露在空氣中的時(shí)間長短有關(guān)， 因此，噴淋注滿水時(shí)間越長，晶圓暴露在空氣中的時(shí)間就會(huì)越長，因而形成的氧化層也越厚，這對(duì)晶圓清洗，是很不利的。 QDR 排水的時(shí)間越短，排水流速就會(huì)越大， 有利于去離子水帶走晶圓表面上的微粒雜質(zhì)。因此，在 QDR 設(shè)計(jì)中，要盡可能的縮短噴淋注滿水時(shí)間和排水時(shí)間，實(shí)現(xiàn)快沖快排，整體效率也會(huì)得到提高。

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