在半導(dǎo)體濕制程、生物制藥、冶金化工等諸多行業(yè)，制程工藝往往需要藥液的高精確控溫，若采用傳統(tǒng)的加熱與外水冷卻的方式來實現(xiàn)控溫，藥液溫度精度誤差大、控溫速率低、防腐性能低等等。而華林科納半導(dǎo)體型電子冷熱器正好彌補以上缺陷。

　　傳熱的三種基本方式是：熱傳導(dǎo)、對流和輻射。華林科納半導(dǎo)體型電子冷熱器的傳熱方式是屬于熱傳導(dǎo)，熱量從物體內(nèi)溫度較高的部分傳遞到溫度較低的部分或者傳遞到與之接觸的溫度較低的另一物體的過程稱為熱傳導(dǎo)。通過冷熱交替從而實現(xiàn)熱液-冷液間溫度的傳遞，最終達到用戶需要的溫度（冷熱都可以實現(xiàn)）。

　　然而，在上述提及的行業(yè)中，很多控溫的藥液往往帶有腐蝕性，制程工藝要達到100℃以上高溫，這就需要冷熱交換器用不同的材質(zhì)來適應(yīng)不同的材質(zhì)。作為濕制程設(shè)備專業(yè)制造商，經(jīng)過多年研發(fā)及更新?lián)Q代，華林科納公司研發(fā)的新型CSE-CHEC-VI電子冷熱器能夠?qū)崿F(xiàn)各行業(yè)95%以上的不同濕制程要求下的精確控溫。

　　冷熱交換取熱器，包括冷熱交換單元與控制系統(tǒng)兩個部分。冷熱交換單元根據(jù)藥液的不同特性，可采用PVDF、PTFE、不銹鋼等不同材質(zhì)制造。冷熱交換單元內(nèi)置半導(dǎo)體冷熱交換片、超溫保護單元、漏液保護單元、藥液防腐隔離單元等等。工藝槽的藥液經(jīng)過防腐泵、過濾器后、半導(dǎo)體冷熱控制單元形成一個閉環(huán)控制。根據(jù)槽體內(nèi)的溫度傳感器采集，PID數(shù)字閉環(huán)調(diào)節(jié)，重新注入處理槽內(nèi)。由此，經(jīng)過不斷循環(huán)交換冷熱，將藥液溫度實時控制在所需溫度范圍內(nèi)。

　　電子冷熱交換器工作原理示意圖

　　此電子冷熱器還具有以下特點：

　　1、冷卻加熱器的傳液構(gòu)件使用的是氟塑料制品，不會產(chǎn)生污染，也不需擔心使用酸堿液后受到腐蝕性能下降。

　　2、由于橡膠O圈不直接接觸液體的密封構(gòu)造，酸性液、堿性液等每個藥液不需要選擇密封材料。

　　3、因為電子制冷方式，適用于室溫附近的溫度控制且高精度。

　　4、本裝置適合國際保護標準IP31。

　　5、裝置上有檢測藥液、冷卻水泄漏的漏液傳感器、檢測異常溫度的溫度傳感器。

　　采用電子冷熱交換器，當設(shè)定好制程藥液所需溫度，由控制單元精準控制，則無需別操作。通過外接循環(huán)水的溫度，將藥液溫度控制精度達到±0.5℃，電子冷熱器內(nèi)部溫度控制精度達到±0.1℃，保證多批次清洗、刻蝕效果一致。同時，滿足節(jié)能環(huán)保的要求，且操作簡單方便，快速完成冷熱交換，適用領(lǐng)域較廣，熱忱歡迎各界人士來電咨詢洽談，咨詢熱線18913575037、18913575037。

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