目???錄?
一、?FSI清洗機(jī)介紹：?
二、?FSI組成及結(jié)構(gòu)功能：?
三、?軟件操作介紹：?
四、?程序以及輸出功能：?
五、?流量控制：?
六、?Chemical?Auto?fill功能介紹：?
七、?常見故障以及維修方法：
一、?FSI清洗機(jī)介紹
?FSI用途：FSI用于圓片的表面清洗系統(tǒng)，可以去除顆粒、金屬離?????子以及剝離部分氧化膜；?
?FSI設(shè)備全稱：?MERCURY?MP?Surface?Condition?Division?System，?FSI公司早期的Spray?System?Product；?
FSI工作原理：在密封的Chamber中,圓片對(duì)稱放在Turntable?上，在Turntable的旋轉(zhuǎn)的同時(shí)利用N2把Chemical形成高霧化或者低霧化噴灑在圓片表面，有兩個(gè)噴嘴：Spray?post?和?Side-bowl?spray?post，達(dá)到去除顆粒、金屬離子以及剝離部分氧化膜的目的，然后用DI?Water?沖洗圓片表面，最后通過Turntable的高速旋轉(zhuǎn)（500?rpm）以及N2?Purge來使圓片的表面干燥。?
2?FSI用到的原料：主要有5種Chemical:H2SO4，HCL，HF，NH4OH，H2O2；
還有DI?Water（去離子水）、?N2和CDA（壓縮空氣）。?2?
FSI常用工藝菜單：B-CLEAN，S*P5/1，POLY-BCLN，BP-BCLN；?2?
安全措施：設(shè)備的每個(gè)部分都安裝有Interlock?開關(guān)，禁止工藝時(shí)打開門、蓋子等組件，如果Interlock?開關(guān)被打開，則會(huì)使設(shè)備停機(jī)，工藝中斷；警告：工藝時(shí)禁止對(duì)FSI 清洗機(jī)的任何部分進(jìn)行任何操作。?2?
設(shè)備學(xué)習(xí)參考資料：?《FSI清洗機(jī)操作規(guī)范》；?
《6”FSI清洗機(jī)?PM操作規(guī)范》；
二、FSI組成及結(jié)構(gòu)功能
FSI由五部分組成，各單元相互獨(dú)立：?
Electronic?Consol；Process?Consol；Canister?Consol；Booster?Pump；Hellos?52?DI?Water?Heater。（其中前兩部分放在白區(qū)，后三部分放在灰區(qū)）?
2?結(jié)構(gòu)及其功能：?
1.??Electronic?Consol：監(jiān)視和控制程序的運(yùn)行，是系統(tǒng)的核心部分，?內(nèi)部由7個(gè)抽屜構(gòu)成，可以拉出來，便于查看，主要有：286的單片機(jī)以及控制組件，Touch?screen(觸摸式顯示屏)，軟盤驅(qū)動(dòng)器，流量控制組件以及N2管路的過濾器和壓力調(diào)節(jié)閥；
2.?Process?Consol：主要由Cover、Process?Chamber、Motor、Turntable、下排管道、以及流量控制的FOLW?PICKUP等，每次作業(yè)可以清洗6批圓片，門蓋安裝了Spray?post,?在chamber壁上安裝了Side-bowl?spray?post，這兩個(gè)Spray?post就是工藝時(shí)的酸液噴嘴。??????
3.?Canister?Consol：主要用于存放5種化學(xué)液，有兩個(gè)存放柜，每個(gè)柜中存放三個(gè)Canister，每個(gè)Canister連接四個(gè)管道，依次是：酸液輸入管道、酸液輸出管道、破裂閥連接管道、N2輸入管道（通過22號(hào)閥實(shí)現(xiàn)加壓及釋放壓力），動(dòng)力課通過SDC供液系統(tǒng)統(tǒng)一供應(yīng)化學(xué)溶液，每次工藝結(jié)束，系統(tǒng)發(fā)個(gè)自動(dòng)灌酸指令“50”，酸液從動(dòng)力管道灌到酸桶Canister中，工藝時(shí)再從酸桶中把酸液壓到Chamber中。?
4.?Booster?Pump：DI?Water增壓系統(tǒng)，動(dòng)力提供的DI?Water?壓力不能滿足FSI的需求，所以增加了增壓泵，由兩個(gè)增壓泵和兩個(gè)過濾器構(gòu)成，當(dāng)系統(tǒng)壓力達(dá)不到要求時(shí)，增壓泵開始工作。?
5.?Hellos?52?DI?Water?Heater?：用于DI?Water的加熱，由主機(jī)和一個(gè)監(jiān)視器構(gòu)成，監(jiān)視器放置在Electronic?Consol的頂部，目的是為了DI?Water?加熱器的工作狀態(tài)。
三、?件操作介紹：
FSI的自動(dòng)控制是通過286結(jié)構(gòu)的單片機(jī)來控制的，由于沒有硬盤及ROM，只有NVM（非易失存儲(chǔ)器），所以程序就保存在軟盤上，通過軟盤驅(qū)動(dòng)器來讀取程序，而且啟動(dòng)時(shí)要插入啟動(dòng)軟盤，啟動(dòng)結(jié)束后再插入程序軟盤。至于顯示器用的是Touch?screen(觸摸式顯示屏)，這種顯示器可以用手指直接點(diǎn)擊，這樣就不需要鍵盤了。?
軟件的結(jié)構(gòu)介紹，主界面視圖下圖所示：
0-?other?status:按“0”后可以進(jìn)入另一界面，在工藝時(shí)可以瀏覽工藝菜單的每一步內(nèi)容；?
1-?Select?Process：按“1”后可以進(jìn)入程序界面，用方向鍵選取菜單，按“Enter”確認(rèn)。?
2-?Special?Functions：按“2”后可以進(jìn)入特殊功能界面（為了安全起見該功能設(shè)有密碼），在這里面可以編輯所有的Recipe,可以進(jìn)入維修模式，可以看到所有報(bào)警信息等功能。?
3-?Clear?Alarms：按“3”后可以進(jìn)入報(bào)警界面，輸入密碼按“Enter”確認(rèn)后就可以消除報(bào)警了。??
四、?程序以及輸出功能：
FSI在生產(chǎn)中常用到的就四個(gè)菜單：B-CLEAN，S*P?5/1，POLY-BCLN，BP-BCLN；程序是由特定數(shù)字組成的程序代碼，下面舉例說明程序的結(jié)構(gòu)：
程序就由上面一些特定的數(shù)字構(gòu)成，其中：?
Step-表示步驟；?
Time-表示當(dāng)前步驟的工藝時(shí)間；?
Speed?–表示Turntable的轉(zhuǎn)速，最高轉(zhuǎn)速為500?轉(zhuǎn)/分；?
五、?流量控制
?系統(tǒng)對(duì)流量控制主要通過以下幾部分來實(shí)現(xiàn)：Flow?pickup、DAC、ADC、
E/P、Manifold?Valve等；流量控制的原理圖如下圖示：
原理分析：在每種溶液的管道中安裝了Flow?pickup,對(duì)流過的液體進(jìn)
行流量分析并且把流量從物理量轉(zhuǎn)變到模擬電信號(hào)，然后通過ADC轉(zhuǎn)換器把模擬信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，通過比較器與菜單設(shè)定值進(jìn)行比較，得出一個(gè)數(shù)字信號(hào)偏差量，然后在通過DAC轉(zhuǎn)換器把數(shù)字信號(hào)轉(zhuǎn)變到模擬信號(hào)，然后把模擬信號(hào)送到E/P（電信號(hào)和壓力的轉(zhuǎn)換器），通過E/P把電信號(hào)轉(zhuǎn)換成壓力信號(hào)，最終通過壓力來控制Manifold?Valve的開啟大小，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)流量控制。??
六、?Chemical?Auto?fill功能介紹：
?由于每個(gè)程序都使用Chemical的量比較大，所以在程序的最后增加了Auto?fill的指令代碼“50”，每一個(gè)Recipe結(jié)束后，系統(tǒng)將通過液面?zhèn)鞲衅鱽頇z查酸痛的液面狀態(tài)，若傳感器顯示不滿，則打開電磁閥，酸液被灌
入酸桶中，直到傳感器檢測到液面已滿。下圖是Auto?fill?的簡圖：
入酸桶中，直到傳感器檢測到液面已滿。下圖是Auto?fill?的簡圖：設(shè)備在噴完Chemical后，TV?22號(hào)閥關(guān)閉，Canister?中的氣體通過TV?22的Exhaust?管道釋放壓力，其中TV?22是兩位三通閥，在工藝時(shí)，22號(hào)電磁閥打開，虛線所示管道中的氣體使TV?22工作于下位，N2進(jìn)入Canister，當(dāng)壓力增大到一定時(shí)，酸液通過管道輸送到?Chamber中。若在此過程中Canister壓力過高，達(dá)到45個(gè)psi，則Burst?Disk破裂，壓力被釋放掉，則工藝中斷，并出現(xiàn)流量超規(guī)范報(bào)警，如果壓力到達(dá)60個(gè)psi，則Canister的蓋子會(huì)破裂，這樣就其到雙保險(xiǎn)所用了。如果酸液出現(xiàn)Over?Flow的現(xiàn)象，則，存放柜中的傳感器會(huì)檢測到，發(fā)出Over?Flow報(bào)警，從而停止Auto?fill功能，起到安全保護(hù)作用。