目錄

設(shè)備規(guī)范

1.設(shè)備概述

2.清洗槽構(gòu)成

3.設(shè)備構(gòu)成

4.設(shè)備動力條件

5.附加材料

6.其它承諾

7.工藝及安全

8.設(shè)備可靠性保障措施

9.設(shè)備出廠須經(jīng)客戶檢驗(yàn)合格10.安裝說明

11.設(shè)備主要配置清單

12.類似設(shè)備照片

1.概述

1.1設(shè)備概要

設(shè)備類型：手動

清洗槽：清洗槽兩個（水洗與酸洗共用）+配酸槽一個

1.2設(shè)備特點(diǎn)：

·清洗能力強(qiáng)，性能穩(wěn)定，安全可靠；

·設(shè)備成本合理，自動化程度高，使用成本低；

·技術(shù)先進(jìn)，結(jié)構(gòu)合理，適宜生產(chǎn)線上大批次操作；

·清洗形式：①酸洗時：浸泡+工件自旋轉(zhuǎn)

②水洗時：浸泡+溢流+工件自旋轉(zhuǎn)。

·上下料由人工完成

·清洗能力：爐管：2個/次；晶舟：1個/次

1.3本體：

面向設(shè)備，靠近操作側(cè)外側(cè)為爐管清洗槽，內(nèi)側(cè)為配酸槽，左側(cè)為晶舟清洗槽。本體尺寸約為：3400X1800X2100mm長x寬x高）,如附圖所示

藥液、廢水分別獨(dú)立排放

本體為碳鋼骨架外包耐腐蝕 PP材料（德國進(jìn)口聚丙烯）焊接而成，耐強(qiáng)酸堿本體操作側(cè)有透明 PVC門，形式為上下升降式

本體設(shè)有手動調(diào)節(jié)風(fēng)門，手動調(diào)節(jié)可鎖定

本體內(nèi)操作側(cè)附近設(shè)有水槍與氮?dú)鈽尭?/span>2套

本體臺面高度約950mm

本體配備防酸日光燈，萬向腳輪與調(diào)整地腳

2.?清洗槽構(gòu)成

?

?

注：當(dāng)清洗槽注滿水時，整個爐管被水完全浸沒。

2.1清洗槽（1#):

·內(nèi)槽尺寸：2300*700*450mm(LXWXHmm)

·槽體材質(zhì)：10mm厚PVDF

·清洗液：HCL+HF+DIW/DIW;

·該槽為酸洗與水洗共用槽。

·上液方式：自動/手動；

·時間設(shè)定：0~9999sec;

·槽內(nèi)設(shè)有4個液位傳感器，1個極限液位，1個低液位，1個高液位，1個注酸液位。高液位用于確定水洗時溢流漂洗水的高度。極限液位用于保護(hù)高液位，注酸液位用于確定酸洗時的注酸液位，低液位用于檢測清洗液是否排空。

·清洗槽設(shè)置溢流漂洗口（DN50)

·槽底設(shè)一定傾斜角度，便于排放及清洗缸體，排放口加裝過濾網(wǎng)，排放口DN50

·槽內(nèi)有熱氮吹干功能，熱氮加熱溫度最高為60°。

·槽內(nèi)配有工件自旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)，每次可兩個工件（爐管）在槽內(nèi)可做連續(xù)的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動。轉(zhuǎn)軸間距可調(diào)。旋轉(zhuǎn)速度可調(diào)，范圍是5-10轉(zhuǎn)/分鐘

·槽蓋：配有PP槽蓋，防止停機(jī)時污染；

·排液方式：重力排放/氣動隔膜泵；

·有獨(dú)立的液位控制（注水、注酸液位可調(diào)，配液濃度根據(jù)液位傳感器刻度尺高度可調(diào)節(jié)）

2.2配酸槽（2#):

·配酸槽尺寸：2300L*600W*550H

·槽體材質(zhì)：10mdFPVDF

·該槽主要向清洗槽（1#)與清洗槽（3#)提供所需的化學(xué)藥液，同時，當(dāng)清洗槽完成酸洗時，經(jīng)過濾后收回清洗槽內(nèi)的化學(xué)藥液，以便下次清洗時再次利用

·配酸槽配有槽蓋，螺絲固定，便于維修。

·配有供酸循環(huán)管路，供酸方式為氣動隔膜泵

·管路中配有過濾器，過濾精度為pm,材質(zhì)為PP

·上液方式：手動

·時間設(shè)定：0~9999sec;

·槽體底部傾斜；

·排液方式：重力排放；

·槽內(nèi)設(shè)有4個液位傳感器，1個高液位，1個低液位，1個注HCL液位，1個注HF液位，1個注水液位。高液位用于確定保護(hù)注水液位。兩個注酸和一個注水液位用于確定酸液的濃度，低液位用于檢測清洗液是否排空。

2.3清洗槽（3#):

·內(nèi)槽尺寸：700*400*350mm(LXWXHmm)

·槽體材質(zhì)：10mm厚PVDF

·清洗液：HCL+HF+DIW/DIW

·該槽為酸洗與水洗共用槽

·上液方式：自動/手動；

時間設(shè)定：0~9999sec;

·槽內(nèi)設(shè)有4個液位傳感器，1個極限液位，1個低液位，1個高液位，1個注酸液位。高液位用于確定水洗時溢流漂洗水的高度。極限液位用于保護(hù)高液位，注酸液位用于確定酸洗時的注酸液位，低液位用于檢測清洗液是否排空。

·清洗槽設(shè)置溢流漂洗口（DN50)

·槽底設(shè)一定傾斜角度，便于排放及清洗缸體，排放口加裝過濾網(wǎng)，排放口DN50

·槽內(nèi)有熱氮吹干功能，熱氮加熱溫度最高為60°。

·槽蓋：配有PP槽蓋，防止停機(jī)時污染；

·排液方式：重力排放/氣動隔膜泵；

·有獨(dú)立的液位控制（注水、注酸液位可調(diào)，配液濃度根據(jù)液位傳感器刻度尺高度可調(diào)節(jié)）

3.設(shè)備構(gòu)成：

3.1此設(shè)備主要由通過式設(shè)備主體、槽體、排風(fēng)系統(tǒng)、管路系統(tǒng)、電控系統(tǒng)等部分組成。

3.2設(shè)備主要配件選材：

3.3.設(shè)備各槽段及其他要求：

·設(shè)備設(shè)計為相對封閉結(jié)構(gòu)，并設(shè)有排氣口，設(shè)備的密封性能及抽風(fēng)效果保證在使用和非使用情況下，工作環(huán)境符合國家有關(guān)環(huán)保，人身安全等標(biāo)準(zhǔn)要求；

·清洗時間自動控制，時間可調(diào)，狀態(tài)顯示；

·設(shè)備有緊急和異常報警裝置：

·所有閥門上都標(biāo)有常開、常閉的標(biāo)識，所有管路上都標(biāo)有液體流向的箭頭；

·設(shè)備安裝移動腳輪。

·設(shè)備安裝易拆卸式的防爆LED照明燈18W。

·工作流程：人工將爐管放入清洗槽→關(guān)閉升降門→自動從配酸槽將酸液注入清洗槽→爐管自旋轉(zhuǎn)→酸洗時間到結(jié)束→自動將清洗槽內(nèi)的酸液輸送回配酸槽→清洗槽自動注水→水洗時間到結(jié)束→報警提示→打開升降門取出工件

3.4安全門：

進(jìn)口優(yōu)質(zhì)透明PVC外包PP活動門（上下推拉式）,保證設(shè)備外部環(huán)境符合勞動保護(hù)的相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)，以保證設(shè)備操作人員及其周圍工作人員的身體健康；有固定插銷裝置，防止門出現(xiàn)意外滑落，起固定作用。

3.5設(shè)備排風(fēng)系統(tǒng)

·排風(fēng)裝置（排風(fēng)壓力、風(fēng)量根據(jù)實(shí)際情況或客戶要求設(shè)計）將設(shè)備內(nèi)的揮發(fā)氣體抽到車間

·排風(fēng)管道或戶外（室外排放遵守國家環(huán)保要求）;

·排風(fēng)通道內(nèi)設(shè)有風(fēng)量導(dǎo)流板，從而使排風(fēng)效果達(dá)到最佳；

·本體頂部后方設(shè)有2個風(fēng)道口裝置，排風(fēng)口直徑大于或等于200mm與本體法蘭連接。

·排風(fēng)口處設(shè)有手動調(diào)節(jié)風(fēng)門，操作人員可根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風(fēng)量；

3.6給排水/廢液系統(tǒng)

·給水管路為英制接口，一路去離子水；管路材質(zhì)：CL-PVC.

·給酸管路為英制接口。一路HCL酸，管路材質(zhì)：PVDF.一路HF酸，管路材質(zhì)：PVDF.

·排廢液系統(tǒng)為：一路排廢稀酸，管路材質(zhì)PP,一路排廢濃酸，管路材質(zhì)PVDF.

·給排水排廢接頭均為活性連接；

3.7電器控制系統(tǒng)

·采用臺達(dá)可編程控制器控制全操作過程，既可全自動操作，也可手動操作；

·設(shè)備安裝易拆卸式的防爆LED照明燈18W。

·人機(jī)界面為彩色觸摸屏，接口中有手動操作、故障報警、安全保護(hù)等功能，各工作位過程完成提前提示報警；

·觸摸屏加鎖定，以防非授權(quán)人員修改或設(shè)定參數(shù)；

·設(shè)備的主機(jī)、附件及所有附屬設(shè)施應(yīng)采取設(shè)備安全防護(hù)措施，具有防止意外斷氣、斷電后，維持工作構(gòu)件正確位置等安全保護(hù)措施及裝置；設(shè)備整體采取人性化設(shè)計，方便操作；并裝有漏電保護(hù)和聲光報警提示裝置，保證性能安全可靠；電控部分導(dǎo)線采用耐高溫、耐腐蝕的專用導(dǎo)線。

·所有的電控系統(tǒng)均裝有漏電保護(hù)器接，并有可靠的接地裝置及緊急關(guān)機(jī)和報警系統(tǒng)；

·各個槽體均有計時功能；

·設(shè)備具有良好的接地裝置；

·配有獨(dú)立的配電箱，電路方面進(jìn)行功能分塊，強(qiáng)電、弱電分塊，以便于維護(hù)；

·設(shè)備配有漏液檢測裝置，如有漏液，設(shè)備自動報警并關(guān)閉水源打開排水。

·設(shè)備配有緊急停止裝置（EMO)

3.8報警信號定義如下：

·A.紅燈（常亮）:設(shè)備故障；

·B.紅光（閃爍）:非常規(guī)情況；

·C.黃光（常亮）:設(shè)備閑置；

·D.黃光（閃爍）:提醒設(shè)備人員有下一步操作；

·E.綠光（常亮）:設(shè)備運(yùn)行中；

·F.蜂鳴器（長響）:緊急情況，要馬上處理；

·G.蜂鳴器（間歇）:提醒操作人員下一步動作。

4.設(shè)備動力條件：

·電源：單相三線220VAC土10%頻率.50H2-10%;

·整機(jī)額定電功率（參考）:1KW;額定電流10A

·電氣性能：E級，并有良好的接地，抵抗500MQ以上；

·DI水：壓力3-5KGcm2,口徑DN25;進(jìn)水口材質(zhì)CL-PVC

·進(jìn)酸：壓力2-3KGcm2,口徑3/4;進(jìn)酸口材質(zhì)PVDF

·壓縮空氣：0.5~0.7MPa,口徑3/8”有可調(diào)節(jié)氣壓表，SUS卡套接頭

·氮?dú)猓?/span>0.5~0.7MPa,口徑3/8”有可調(diào)節(jié)氣壓表，SUS卡套接頭

·排廢稀酸：DN50;材質(zhì)PP

·排廢濃酸：DN50;材質(zhì)PVDF

·排風(fēng)：2-DN200;PVC法蘭

·環(huán)境要求：空氣溫度5-40℃；相對濕度：80%;

5.附加材料：

設(shè)備交付時，提供操作、調(diào)試、維修的全套技術(shù)資料，包括操作和維修手冊。維修手冊中應(yīng)含電路圖、氣路圖、水管路圖，并列出控制設(shè)備、控制元件、易耗品以及易磨損的部件名稱、型號、規(guī)格、制造或供應(yīng)商，以便用戶可以隨時修理與維護(hù)清洗設(shè)備；

6.其它承諾：

6.1安裝：

我方向現(xiàn)場施工人員提供關(guān)于設(shè)備安裝所需的所有細(xì)節(jié)，以便用戶準(zhǔn)備現(xiàn)場，為設(shè)備安裝做準(zhǔn)備，在用戶工廠現(xiàn)場安裝調(diào)試至設(shè)備正常運(yùn)轉(zhuǎn)后，交付使用；我方負(fù)責(zé)設(shè)備安裝調(diào)試，用戶提供協(xié)助；

6.2培訓(xùn)：

在安裝期間，賣方在現(xiàn)場為工廠操作工提供培訓(xùn)，培訓(xùn)包括正常操作、維修保養(yǎng)、操作問題的分析和緊急處理程序；

6.3設(shè)備交付使用與售后技術(shù)服務(wù)：

設(shè)備交付使用后，一年內(nèi)提供無償服務(wù)，非人為操作造成的零部件損壞由我方無償維修。超出質(zhì)保期產(chǎn)品，視故障情況酌情收費(fèi)。

7.工藝及安全：

7.1工藝方面：

采購方提供工藝；對涉及的產(chǎn)品制造工藝、設(shè)計工藝及用途保密；

7.2安全方面：

設(shè)備嚴(yán)格按照國家相關(guān)安全生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)及客戶要求生產(chǎn)，保證生產(chǎn)環(huán)境及操作人員的安全。

8.設(shè)備可靠性保障措施：

·系統(tǒng)結(jié)構(gòu)采用國外典型處理方法，保證系統(tǒng)結(jié)構(gòu)的合理性和適應(yīng)性；

·結(jié)構(gòu)采用潔凈化處理狀術(shù)，可達(dá)到國外同類產(chǎn)品水平；

·采用國外引進(jìn)元器件及專業(yè)廠家產(chǎn)品；

·國產(chǎn)元器件采用國內(nèi)專業(yè)廠家生產(chǎn)和經(jīng)證實(shí)質(zhì)量優(yōu)質(zhì)的高性能元件；

·設(shè)備的生產(chǎn)加工除下料、焊接在普通廠房內(nèi)進(jìn)行外，裝配、調(diào)試等工序都在萬級超凈間內(nèi)進(jìn)行；

·所有零部件在進(jìn)入萬級潔凈間前均進(jìn)行清洗；

·設(shè)備出廠前都經(jīng)過嚴(yán)格的滲漏檢查；