ＴＺ一１０７自動探針測試臺
主要技術(shù)指標及功能：
該機的主要技術(shù)指標；可測片徑；７５、１００１２５ｍｍ。工作臺最大行程；ｘ向２６５ｒａｍ，Ｙ向２０５ｍｍ４工作臺速度：５０ｍｍ／Ｓ。定位精度：±０.Ｏ１３ｍｍ。
重復(fù)精度：±０．００３ｍｍ。行進分辨率：０．Ｏｌｍｍ。ｚ向行程：Ｏ～Ｏ．８ｍｍ可誦。該機工作臺調(diào)整采用多功能集中控制手柄。可實現(xiàn)微動（１０ｍ／步）、連續(xù)點動’快動、步進等ｌ６種功能。通過鍵盤命令，可實現(xiàn)“掃描”、圖形／探邊方式選擇、自檢、公制／英制步距選擇、單圖測試、中停、ｚ向升降及微調(diào)。機器還具有同步／延時打點選擇，工作狀態(tài)顯示及聲光報警功能，以及品片平墼：墨：跟蹤。并可根據(jù)配接的測試儀不同進行狀態(tài)預(yù)置。測試完畢，承片臺自動高速“回零”到下料位置，便于裝卸晶片。
?
該系統(tǒng)由滾珠絲杠、電機座ｌ、底座２、溜板３、軸承座４和６、連板５以及軸承、直線滾動導(dǎo)軌、步進電機等組成。用以完成）０一Ｙ步進運動、掃描、裝卸片時快速進中心和回零。ｘ、Ｙ向均采用最高精度的Ｃ級滾球絲杠，較高精度的Ｄ級滾動直線導(dǎo)軌，和高速大力矩步進電機驅(qū)動系統(tǒng)。使精度和可重復(fù)
性達到美［Ｅｌｅｃｔｒｏｇｌａｓ公司生產(chǎn)的ｌＯ３４ｘ一６型５自動探針臺的水平。由于選用了新型滾動功能部件，還使結(jié)構(gòu)簡單、工作穩(wěn)定、易于維護保養(yǎng)。
?
該系統(tǒng)由吸盤１、芯軸２、擺桿５、托板８、偏心套１０和步進電機等組成。主要功能是支承和固定晶片，完成０向?qū)始埃蛏?。為適應(yīng)國內(nèi)器件生產(chǎn)廠家的不同需要，吸盤的氣堵螺釘可以調(diào)節(jié)，以改變吸附面積適應(yīng)７５、１０９和１２５ｒａｍ幾種規(guī)格尺寸的圓片。該系統(tǒng)結(jié)構(gòu)系我所獨創(chuàng)，設(shè)計精巧、工藝性好。采用直線滾動軸承導(dǎo)向、雙軸承定向，摩擦田力小、動作靈活、重復(fù)精度高、響應(yīng)速度快、工作平穩(wěn)可靠。由于ｚ向運動鋼球是微過盈配臺，所以無橫向漂移。工作性能超過同類型進口設(shè)備的承片臺。
?
該機控制系統(tǒng)ＬＴＰ－－８０１Ａ單板機為核心，依靠控制程序，通過接口電路、光電隔離以及功率放大，使執(zhí)行元件（步進電機）動作。在步進當量１４ｍ／步不變的情況下，采用補償技術(shù)，實現(xiàn)公制與英制的較換?？刂瞥绦虿捎媚K式子程序結(jié)構(gòu)。占用內(nèi)存４Ｋ字節(jié)，田化在兩塊２７１６中。該控制系統(tǒng)的特點是：簡化了硬件結(jié)構(gòu)，擴充了功能，增強了系統(tǒng)的靈活性和適應(yīng)性，測試探頭、探邊器零Ⅱ打點器
測試探頭的技術(shù)性能和穩(wěn)定可靠性，以及微調(diào)性能，是直接影響探針設(shè)備性能的重要因素。我們對我所研制的各型探頭進行了剖析及調(diào)研了用戶的使用情況后，以合理她結(jié)構(gòu)設(shè)計，改善了針頭的接觸性能和微調(diào)性，增大了翻節(jié)量。使ｘ、Ｙ、ｚ向分別達到１Ｏ。８、６ｍｍ以上。本機還配有固定探針卡針盤適于國際通用標準探卡（１１４×１８７ｍｍ）測試探邊器是用于探測到晶片邊緣就自動拐彎換向的機構(gòu)。它仍采用機械觸點式結(jié)構(gòu)，通過機械觸點的接觸、脫離使電氣通斷，控胡工作運臺動，使用效果良好。在使用中我們還發(fā)現(xiàn)，如果能研制出一種使針頭與晶片在電氣上絕緣的“無接觸邊緣博感器，對于提高機器電控部分的可靠性就更理想了。打點器用于在不合格電路表面打上標記，以沒下遒工序分選。率機打點器設(shè)計成軟碰撞結(jié)構(gòu)，對鋇５試晶片的沖撞力小，不易損壞晶片，普通碳素墨水和進口油墨均能適用。需要指出的是，打點器的工作穩(wěn)定性與使用的油墨性質(zhì)關(guān)系很大。國內(nèi)普遍使用的書寫用碳索墨水，因其為水質(zhì)液體，粘度小、易干涸，因麗容易造成打點器工作時流淌或堆塞。而且隨著砂輪劃片工藝的普遍采用，普通碳素墨水標記容易被劃片時的壓力水沖洗掉。＿且ｎ果使用進口油墨時，效果更為理想。遺憾的是，和國外生產(chǎn)的油墨性質(zhì)近似的打點用墨水，目前還未發(fā)現(xiàn)。工作臺速度自動探針臺的工作臺速度關(guān)系到測試效率，是一個很耍要的指標，也是用戶十分關(guān)心的問題國外先進的探針測試設(shè)備已普遍采用平面電機工作臺，具有速度及加速度快、分辨率高、結(jié)構(gòu)筒譯、精度穩(wěn)定、便于維護的特點。由于目前國產(chǎn)平面電機在精度上要差一個數(shù)量級，尚無可供選擇作精密工作臺的型號。１—ｌ０７探針臺仍采用步進電機一絲杠結(jié)構(gòu)，其最大速度為；
式中，ｂ一分辨率，亦稱脈沖當量或步進當量，單位為ｍｍ／脈沖，ａ一步進電機的步距角，Ｌ一絲杠導(dǎo)程，單位為ｍｍ。
對于某一設(shè)定的步進電機一絲杠結(jié)構(gòu)工作臺，步進電機的步距角ａ、最高運行頻率ｆmax是固定的。因此欲提高晟大速度Ｖmax，只有增大絲杠導(dǎo)程Ｌ。Ｌ的數(shù)值也增大了，即分辨精度降低了值增大對于Ｉｃ的測試是不利的，甚至無法對準壓焊點及達到所需的步距。從使用的角度希望Ｖmax定性。測試效率還和配接的測試系統(tǒng)有關(guān)，即在很大程度上取決于測試時間。所以在國產(chǎn)平面電機的精度尚未達到要求的情況下，根據(jù)我國的實際情況來綜合考慮，不單純追求速度指標，把提高設(shè)備的綜臺技術(shù)性能，提高性價比作為主導(dǎo)設(shè)計思想是比較適宜的。Ｔ一ｌＯ７自動探針測試臺是目前國產(chǎn)實用型探測設(shè)備測試片徑最大、工作臺速度最高、功能最齊全的機型。它精度高、運行穩(wěn)定，維修操作方便、造型美觀、式樣新穎。和盡量大一些，而ｂ又盡可能小一些，對于步進電機一絲杠結(jié)構(gòu)的工作臺兩者兼優(yōu)是困難的。Ｔｚ一１Ｏ７探針工作臺經(jīng)過精心設(shè)計，采用了新型滾動功能部件對我所以往的高速大力矩步進電機驅(qū)動系統(tǒng)進行了改進，減少了振動和噪音，提高了運動精度，使速度達到５０ｍｍ／Ｓ以上，達到目前國產(chǎn)實用型自動探針臺的最高水平。盡管如此，和平面電機工作臺相比，速度種加速度仍然要差一個數(shù)量級。筆者認為，當前國產(chǎn)自動探針臺的主要問題是提高可靠性和穩(wěn)定性，提高測試質(zhì)量。尤其對于ＬＳＩ，由于測試項目多，測試時悶較長，動針時閫相對較短，主要要求探針與器件的接觸可靠性及整機工作的穩(wěn)國際、國內(nèi)市場銷量較大的美國Ｅｌｅｃｔｒｏｇｌａｓ公司的１０３４ＸＡ系列機比較，除工作臺速度、加速度和ｘ—Ｙ行進分辨率低外，精度和可重復(fù)性與１０３４ＸＡ型機相同。某些功能優(yōu)于１０３４ＸＡ型機（如適應(yīng)片徑范圍廣，可調(diào)式與固定探卡式兩種探頭兼容，不用氣源，噪音小，具有ｚ向接觸的白適應(yīng)控制等等）。而其售價僅為進口機型的３０％左右。該機的研制成功，為國內(nèi)器件生產(chǎn)廠家提供了可供選擇的較為理想的機型。
免責聲明：文章來源于網(wǎng)絡(luò)，不代表本公司觀點，如有侵權(quán)請聯(lián)系本網(wǎng)站刪除。