自動(dòng)爐管清洗機(jī)
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圖1
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圖2
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圖3
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圖4
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圖1是本發(fā)明實(shí)施例的供液原理示意圖；
圖2是圖1中的清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖3是圖1中的儲(chǔ)液裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖4是圖2清洗裝置中的旋轉(zhuǎn)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
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圖中：
1、儲(chǔ)液裝置???????2、清洗裝置????????????3、供液管路4、廢液回收管路???5、氣控隔膜閥??????????6、供液泵7、氣動(dòng)閥?????????8、廢液排放管??????????9、液位傳感器10、控制系統(tǒng)??????11、液位傳感器?????????12、供液口13、藥液回收口????22、旋轉(zhuǎn)裝置???????????23、溢流結(jié)構(gòu)24、爐管??????????221、旋轉(zhuǎn)電機(jī)??????????222、旋轉(zhuǎn)支架223、滾輪
自動(dòng)爐管清洗機(jī)，包括儲(chǔ)液部和清洗部，儲(chǔ)液部與清洗部通過供液機(jī)構(gòu)連接，供液機(jī)構(gòu)包括供液管路3，供液管路3上設(shè)有氣控隔膜閥5，氣控隔膜閥5采用軟質(zhì)材料制成的隔膜，將閥體內(nèi)腔與閥蓋內(nèi)腔隔開，采用隔膜閥的操作機(jī)構(gòu)，采用隔膜式氣缸替代活塞式氣缸，排除了活塞環(huán)易損漏而導(dǎo)致無法啟閉閥門的弊端，不暴露運(yùn)送的藥液，故不具污染性，也不需要填料，保證爐管自動(dòng)清洗的過程中藥液不被污染。供液機(jī)構(gòu)還包括供液泵6和設(shè)置于供液泵6與清洗部之間的液位檢測(cè)裝置，液位檢測(cè)裝置采用液位傳感器11，液位傳感器將信號(hào)發(fā)送至控制系統(tǒng)，自動(dòng)控制儲(chǔ)液裝置內(nèi)的液位高度，自動(dòng)爐管清洗機(jī)還包括機(jī)械臂，清洗后的爐管，經(jīng)機(jī)械臂自動(dòng)進(jìn)入干燥位干燥，解決了現(xiàn)有技術(shù)中爐管清洗后自然晾干，耗時(shí)時(shí)間長，采用此自動(dòng)爐管清洗機(jī)，進(jìn)行吹氣干燥，加快生產(chǎn)效率。儲(chǔ)液部與清洗部之間還設(shè)置有廢液回收機(jī)構(gòu)，因爐管清洗后藥液濃度依然比較高，可以多次進(jìn)行利用，廢液回收機(jī)構(gòu)包括廢液回收管路4，廢液回收管路4連接廢液排放管8，廢液回收機(jī)構(gòu)還包括氣動(dòng)閥7，氣動(dòng)閥7設(shè)置于廢液回收管路4與廢液排放管8的連接處，氣動(dòng)閥7采用T型氣動(dòng)三通球形閥門，氣動(dòng)閥7由控制系統(tǒng)10控制，控制系統(tǒng)10采用PLC控制系統(tǒng)，可實(shí)現(xiàn)廢液流向的切換，實(shí)現(xiàn)廢液回收，或者關(guān)閉廢液回收通道實(shí)現(xiàn)廢液排放，可以靈活控制管路中的合流或者分流，結(jié)構(gòu)緊湊合理，爐管清洗后由清洗槽將可利用藥液經(jīng)PLC控制氣動(dòng)閥7由廢液回收管路4回收于儲(chǔ)液槽1內(nèi)，如果此次藥液不可利用，經(jīng)PLC控制管路閥門，直接將廢藥液排放到廢液排放管8排出。
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如圖2所示，清洗部包括清洗裝置2和設(shè)置于清洗裝置2內(nèi)的旋轉(zhuǎn)裝置，其中，清洗裝置1和儲(chǔ)液裝置2均采用NPP材料制成，清洗裝置1與儲(chǔ)液裝置2均為能容納藥液的容器，本
實(shí)例中，采用槽體結(jié)構(gòu)。因爐管清洗的過程中不可避免的會(huì)用到酸堿等腐蝕液，采用NPP材料制成的清洗裝置，耐腐蝕、不結(jié)垢，可避免因管道銹蝕引起的銹跡，且可免除管道腐蝕結(jié)垢所引起的堵塞，此外，在硅片生產(chǎn)的過程中，對(duì)爐管清洗具有很高的要求，采用NPP材質(zhì)衛(wèi)生、無毒屬綠色建材，且耐高溫、高壓，管道輸送水溫最高可達(dá)95℃，質(zhì)量輕，比重僅為金屬管的七分之一，在規(guī)定的長期連續(xù)工作壓力下，具有較長的使用壽命，安裝方便可靠。如圖4所示，旋轉(zhuǎn)裝置22包括旋轉(zhuǎn)支架222和帶動(dòng)旋轉(zhuǎn)支架222轉(zhuǎn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)電機(jī)221，旋轉(zhuǎn)支架222上設(shè)置有滾輪223，旋轉(zhuǎn)裝置22能夠使需要清洗的爐管在槽內(nèi)自動(dòng)旋轉(zhuǎn)，清洗更徹底，通過設(shè)置旋轉(zhuǎn)裝置，可以提高清洗效率，清洗結(jié)束后，藥液由清洗裝置2的底部設(shè)置排放口排空，排放口連接廢液回收管路4，然后采用純水沖洗爐管，清洗裝置2的頂部設(shè)置溢流結(jié)構(gòu)23，溢流結(jié)構(gòu)23為直徑在1-100mm之間的不規(guī)則圓孔，液體通過溢流結(jié)構(gòu)流出清洗裝置，清洗裝置2能夠?qū)t管、石英棒或其他配件等進(jìn)行浸泡、水槽噴洗、水槽溢流漂洗、水槽氮?dú)夤呐莸确绞竭M(jìn)行處理，從而達(dá)到一個(gè)優(yōu)異的清洗效果。
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如圖3所示，儲(chǔ)液部包括儲(chǔ)液裝置1和用于檢測(cè)儲(chǔ)液裝置1內(nèi)液位的液位檢測(cè)裝置9，本實(shí)例中，液位檢測(cè)裝置9采用液位傳感器，液位傳感器將信號(hào)發(fā)送至控制系統(tǒng)，自動(dòng)控制儲(chǔ)液裝置內(nèi)的液位高度，儲(chǔ)液裝置1包括設(shè)置于儲(chǔ)液裝置1上廢液排放口以及供液口12，供液口12連接供液管路3，廢液排放口連接藥液回收管路。儲(chǔ)液裝置1還包括藥液回收口13，藥液回收口與所述清洗裝置通過管路連接，用于回收清洗裝置內(nèi)能再次利用的藥液，儲(chǔ)液裝置內(nèi)液體液位的高低，由液位傳感器9決定，液位傳感器9發(fā)送信號(hào)給CDS供液系統(tǒng)，CDS供液系統(tǒng)將所需藥液輸送至儲(chǔ)液裝置1內(nèi)，達(dá)到所需藥液的容量，當(dāng)儲(chǔ)液裝置1清理內(nèi)部雜質(zhì)后，廢液會(huì)通過排放管8排放。
本實(shí)例的工作過程：當(dāng)設(shè)備供液時(shí)，由控制系統(tǒng)控制氣控隔膜閥5打開，供液泵6將藥液由儲(chǔ)液裝置1輸送至清洗裝置2，液位高度由液位傳感器輸送信號(hào)至PLC控制系統(tǒng)，當(dāng)清洗裝置2內(nèi)清洗結(jié)束后，如藥液還可再利用，由氣動(dòng)閥7將藥液由廢液回收管路4將藥液輸送
至儲(chǔ)液裝置1內(nèi)，在下次清洗時(shí)再用，如藥液不能再用時(shí)，由氣動(dòng)閥7將藥液通過廢液排放管8排放，具有穩(wěn)定性高、安全級(jí)別高、生產(chǎn)效率高，節(jié)省人員、減少化工料的使用及節(jié)水的功能，具有很高的實(shí)用價(jià)值。
本發(fā)明的有益效果是：
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1.采用自動(dòng)化設(shè)備，操作人員只需確認(rèn)設(shè)備狀態(tài)后，按下開始按鈕即可通過控制系統(tǒng)控制自動(dòng)完成每一步動(dòng)作，大大縮減了操作人員的操作難度以及勞累程度，避免了爐管清洗過程中，手動(dòng)對(duì)爐管進(jìn)行搬運(yùn)，容易因失誤造成爐管損壞，作業(yè)員可同時(shí)兼顧其他設(shè)備作業(yè)，提高生產(chǎn)效率；
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2.利用藥液回收管路，氣動(dòng)閥通過控制系統(tǒng)控制，更加穩(wěn)定，同時(shí)降低了生產(chǎn)成本，提高了生產(chǎn)效率，減少對(duì)可再利用藥液的直接排放造成的浪費(fèi)，并且避免了直接排放藥液對(duì)環(huán)境的污染。
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