1、適用范圍：
六槽清洗機(jī)、八槽清洗機(jī)的腐蝕清洗的生產(chǎn)。
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3、準(zhǔn)備工作
3.1、配制腐蝕液
3.1.1、八槽清洗機(jī)
按NaOH：H2O==100g:1L的比例的溶液注入第一槽，容量達(dá)到規(guī)定要求。
按HNO3：HF：H2O：15g：150g：1L的比例的溶液分別注入四、五、六槽容量達(dá)到規(guī)定要求。
3.1.2、六槽清洗機(jī)
按HF：HN4F:H2O==40g:5g：1L的比例的溶液注入第一槽，容量達(dá)到規(guī)定要求。
按HCL：H2O==100g：1L的比例的溶液注入第三槽，容量達(dá)到規(guī)定要求
按HCLH2O==30g：1L的比例的溶液注入第四槽，容量達(dá)到規(guī)定要求
3.2、確認(rèn)各槽清洗溫度設(shè)定及分布正常。
3.3、確認(rèn)各槽清洗狀態(tài)正常各槽內(nèi)注入規(guī)定的溶液正確。
3.4、確認(rèn)各槽控制系統(tǒng)工作正常程序準(zhǔn)確時(shí)間設(shè)定準(zhǔn)確。
3.5、確認(rèn)氮?dú)饬髁繛?L/min
4、操作過(guò)程：
4.1、確認(rèn)投入作業(yè)的硅片的型號(hào)、批號(hào)、數(shù)量、工序。
4.2、戴好一次性手套雙手將片子一片一片地插入片架內(nèi)。如果片子經(jīng)過(guò)超聲清洗過(guò)的片子就無(wú)需這樣做直接做下工序
4.3、用雙手操作將插滿硅片的片架按順序平穩(wěn)地放入清洗花籃內(nèi)。
4.4、用雙手將放有硅片的清洗花籃掛上機(jī)械手臂上。
4.5、再檢查一遍運(yùn)行程序正常符合工藝要求。按下“啟動(dòng)”鍵程序開始運(yùn)行。
4.6、八槽清洗機(jī)運(yùn)行時(shí)隨時(shí)查看運(yùn)行狀況確保運(yùn)行正常。
4.7、程序運(yùn)行結(jié)束設(shè)備報(bào)警提示。
4.8、雙手操作取出清洗花籃。轉(zhuǎn)移到六槽清洗機(jī)的機(jī)械手臂上。
4.9、再檢查一遍運(yùn)行程序正常按下“啟動(dòng)”鍵程序開始運(yùn)行。此步同八槽清洗機(jī)同步進(jìn)行
4.10、六槽清洗機(jī)運(yùn)行時(shí)隨時(shí)查看運(yùn)行狀況確保運(yùn)行正常。
4.11、程序運(yùn)行結(jié)束設(shè)備報(bào)警提示。
4.12、雙手操作取出清洗花籃放入專用推車上運(yùn)至甩干機(jī)傍做甩干。
4.13、按《八槽清洗機(jī)添加液規(guī)定》對(duì)八槽清洗機(jī)的一、四六槽添加清洗液
4.14、按《六槽清洗機(jī)添加液規(guī)定》對(duì)六槽清洗機(jī)的一、三、四槽添加清洗液
4.15、按3.13.11的步驟進(jìn)行下一輪的清洗。
4.16、正確填寫好隨件單及碎片表送下工序。
5、注意事項(xiàng)
5.1、操作時(shí)必須按酸、堿清洗要求穿戴好相關(guān)的個(gè)人防護(hù)用品。
5.2、檢查各槽的顯示溫度、時(shí)間要正確否則匯報(bào)工序負(fù)責(zé)人解決。
5.3、可不定期抽查絨面發(fā)現(xiàn)異常情況及時(shí)匯報(bào)有關(guān)人員及時(shí)解決保證暢通。絨面標(biāo)準(zhǔn)看樣本
5.4、操作時(shí)必須安全使用化學(xué)試劑及安全使用清洗機(jī)。
5.5、按規(guī)定每8小時(shí)檢測(cè)腐蝕液、清洗液的濃度根據(jù)檢測(cè)濃度及時(shí)調(diào)整添加腐蝕液、清洗液。
5.6、操作時(shí)注意六槽清洗機(jī)第一槽清洗時(shí)需避光操作。
5.7、注意推車上層只允許放清洗片下層可以放其它物品同時(shí)注意儲(chǔ)水桶內(nèi)的水及時(shí)倒掉、、、、保持車子的清潔。
5.8、每隔12小時(shí)更換腐蝕液、清洗液。
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