?單晶制絨操作工藝
?????? 單晶硅片制絨工藝流程，主要包括以下幾個(gè)方面。
??1.裝片
?????? ①戴好防護(hù)口罩和干凈的橡膠手套。
?????? ②將倉(cāng)庫(kù)領(lǐng)來(lái)的硅片從箱子中取出，以2o0片為一個(gè)生產(chǎn)批次，把硅片插入清洗小花籃，在裝片過(guò)程中，由于硅片易碎，插片員需輕拿輕放；來(lái)料中如有缺角、崩邊、隱裂等缺陷的硅片，不能流人生產(chǎn)線，及時(shí)報(bào)告品管員，將這些硅片分類放置、集中處理；有缺片現(xiàn)象時(shí)，要在缺片記錄上記錄缺片的批號(hào)、廠商、箱號(hào)和缺片數(shù)。
????? ?③在“工藝流程卡”上準(zhǔn)確記錄硅片批號(hào)、生產(chǎn)廠家、電阻率、投入數(shù)、投入時(shí)間和主要操作員。
?????? ④裝完一個(gè)生產(chǎn)批次后，把“工藝流程卡”隨同硅片一起放在盒架上，等待制絨。
??2.開(kāi)機(jī)
?????? ①操作員打開(kāi)工藝排風(fēng)，打開(kāi)壓縮空氣閥門，打開(kāi)設(shè)備進(jìn)水總閥。
???? ? ②操作員打開(kāi)機(jī)器電源，待設(shè)備自檢完成并顯示正常后，在手動(dòng)操作界面下手動(dòng)打開(kāi)槽蓋，檢查槽蓋的靈活性，檢查機(jī)械手運(yùn)行是否正常。
????? ?③操作員將裝好硅片的小花籃放在花籃承載框中，然后將承載框搬到上料臺(tái)上。
????? ?④操作員在“手動(dòng)”模式下檢查單晶制絨工藝參數(shù)是否正常，按照工藝參數(shù)，計(jì)算出
所含有naoh、na2sio3、(ch3)2choh和酒精的量，配溶液之前先清洗好制絨槽。關(guān)閉排水閥，打開(kāi)進(jìn)水閥門，向制絨槽中緩慢加入78℃的純水，然后向槽中加人naoh，打開(kāi)循環(huán)泵，充分?jǐn)嚢杈鶆颍?ch3)2choh和添加劑在上料時(shí)加入制絨槽(化學(xué)藥品的添加順序不能混淆)，按照要求向氫氟酸槽和鹽酸槽中加入hf和hcl。
????? ?⑤操作員將運(yùn)行模式設(shè)置為“自動(dòng)”，按“啟動(dòng)”鍵啟動(dòng)程序。
?? 3.生產(chǎn)過(guò)程
???? ? ①將裝好硅片的小花籃放在花籃承載框中，然后將承載框搬到上料臺(tái)上。
????? ?②工藝槽溫度設(shè)定和啟動(dòng)加熱。根據(jù)參數(shù)設(shè)定工藝溫度，啟動(dòng)加熱器使槽內(nèi)液體升溫。要特別注意：槽內(nèi)沒(méi)有水或溶液不能開(kāi)加熱器，否則會(huì)燒壞加熱器。每次只能啟動(dòng)3個(gè)槽同時(shí)加熱，待恒溫后，再啟動(dòng)另外3個(gè)槽。
???????③加熱制絨液體到設(shè)定溫度以后，根據(jù)本班目標(biāo)生產(chǎn)量在控制菜單上進(jìn)行參數(shù)設(shè)置(包括粗拋、堿蝕、噴淋、鼓泡漂洗時(shí)間和產(chǎn)量的設(shè)置)。
????? ?④參數(shù)設(shè)置完畢，在手動(dòng)狀態(tài)下按“復(fù)位”鍵，運(yùn)行模式撥到“自動(dòng)”狀態(tài)，按“啟動(dòng)”鍵，機(jī)器進(jìn)行復(fù)位，待機(jī)械手停止運(yùn)動(dòng)后即可上料生產(chǎn)。若不立即生產(chǎn)，則暫時(shí)撥回“手動(dòng)”狀態(tài)。
????? ?⑤配制溶液
????? ?a.濃度要求? 粗拋液的濃度要求為：粗拋液中naoh：h2o=11.8％(質(zhì)量比)；粗拋液自動(dòng)補(bǔ)堿箱中naoh：h2o=15％(質(zhì)量比)；制絨液中naoh：h2o=1.76％(質(zhì)量比)，na2sio3：h2o=1.26％(質(zhì)量比)，c2h5oh：h2o=5.0％(體積比)。
???? ? b.溶液配置過(guò)程
???? ? 粗拋液配置過(guò)程? 清洗好粗拋槽，關(guān)閉排水閥門，打開(kāi)進(jìn)水閥門，向槽中緩慢放水，同時(shí)向槽中倒入naoh粉末，控制速度，在槽中約放入2／3槽水的同時(shí)加入10kg naoh，關(guān)閉槽蓋，在控制面板上打開(kāi)加熱開(kāi)關(guān)，對(duì)槽中液體開(kāi)始加熱。待溫度升至70℃時(shí)，打開(kāi)槽蓋，再向槽中倒人10kg naoh粉末并注水，同時(shí)用水瓢對(duì)溶液進(jìn)行攪拌，以使naoh充分溶解，液面升至溢水口下方2cm處時(shí)停止注水。
????? ?制絨液配置計(jì)算出170l制絨液所含有的naoh、na2sio3和無(wú)水乙醇的量，清洗好制絨槽，關(guān)閉排水閥門，打開(kāi)進(jìn)水閥門，向槽中緩慢放水，同時(shí)向槽中倒入naoh、na2sio3和無(wú)水乙醇，過(guò)程中用水瓢不斷攪拌溶液，待加完naoh、na2sio3和無(wú)水乙醇后，放水調(diào)整液面至溢水口下方2cm處，關(guān)閉槽蓋，在控制面板上打開(kāi)加熱開(kāi)關(guān)，對(duì)槽中液體開(kāi)始加熱。生產(chǎn)時(shí)再向槽中加入1l無(wú)水乙醇。
?????? c.參數(shù)設(shè)置。
??? ?? ⑥生產(chǎn)過(guò)程
????? ?a.運(yùn)行模式設(shè)置為“自動(dòng)”，按“啟動(dòng)”鍵啟動(dòng)程序，按照制絨機(jī)設(shè)定好的參數(shù)進(jìn)行生產(chǎn)。
????? ?b.機(jī)械手將承載框平移，依次送到各處理工位，對(duì)硅片進(jìn)行超聲預(yù)清洗、制絨、鹽酸中和、氫氟酸去氧化層等，經(jīng)過(guò)11個(gè)處理工位全過(guò)程處理后，承載框由自動(dòng)機(jī)械手移到出料工位，再由操作員將小花籃取出。
????? ?11個(gè)處理工位具體為：超聲預(yù)清洗→溫水漂洗→腐蝕制絨→噴淋→漂洗→hcl處理→漂洗→hf處理→漂洗→噴淋→漂洗。
????? ?c.每制絨一籃，粗拋液、制絨液內(nèi)都要補(bǔ)充naoh，補(bǔ)充量根據(jù)消耗量確定，并適當(dāng)補(bǔ)充去離子水。
????? ?注意? 整個(gè)自動(dòng)運(yùn)行過(guò)程中，操作員不能離開(kāi)，需時(shí)刻監(jiān)視設(shè)備運(yùn)行情況。
????? ?⑦甩干
????? ?a.將裝滿硅片的小花籃放入甩干機(jī)中，啟動(dòng)設(shè)備，甩干。注意每班開(kāi)機(jī)后先空甩一次。
????? ?b.操作員將花籃承載框放人傳遞窗中，上料員從傳遞窗中取出花籃承載框，并放到指定地點(diǎn)。
????? ?c.記錄甩干后合格的硅片，并通過(guò)傳遞窗流向下一道擴(kuò)散工序。
????? ?⑧自檢
?????? a.在制絨過(guò)程中和甩干后，各操作過(guò)程的操作員需對(duì)每一批次硅片進(jìn)行自檢，符合工藝、質(zhì)量要求才能流至下道工序，不符合要求的及時(shí)通知品管員。
?????? b.自檢時(shí)，主要觀察是否有裂痕、缺角、崩邊、指紋印、污漬、藥液水珠、明顯發(fā)白及發(fā)亮，均無(wú)的為制絨合格，正常往下流。將無(wú)法繼續(xù)生產(chǎn)的硅片取出，并填寫出片數(shù)，記錄好流程卡。
?????? ⑨關(guān)機(jī)在長(zhǎng)時(shí)間不進(jìn)行生產(chǎn)的情況下，停止設(shè)備運(yùn)行，關(guān)閉電源，鎖上電鎖，關(guān)閉氣體閥門，關(guān)閉總電源，鎖好電柜。清潔、維護(hù)設(shè)備。
??4.設(shè)備操作規(guī)程運(yùn)行需滿足的條件
???? ? ①電源啟動(dòng)。
????? ?②壓縮空氣0.5mpa。
????? ?③氮?dú)?.3mpa。
????? ?④水閥打開(kāi)并調(diào)制規(guī)定流量。
?????? ⑤所有槽液位達(dá)到上限。
?????? ⑥機(jī)械臂在上料臺(tái)上限位。
?????? ⑦加熱器溫度達(dá)到設(shè)定值。
?????? ⑧凈化送風(fēng)排風(fēng)通暢微正壓。
????5.工藝衛(wèi)生要求
????? ?①不允許用手直接接觸硅片，插片時(shí)戴好一次性手套。插完硅片后，應(yīng)立即更換，不得重復(fù)使用。
????? ?②制絨車間要保持清潔，地面常有堿液或干堿，要經(jīng)常打掃。
?????? ③盛過(guò)堿液或乙醇的塑料桶要及時(shí)刷洗，不可無(wú)標(biāo)識(shí)長(zhǎng)時(shí)間用桶盛堿液或乙醇。
?????? ④物品和工具定點(diǎn)放置，用過(guò)的工具要放回原位，嚴(yán)禁亂放，保持硅片盒和小花籃清潔。
???? ? ⑤每班下班前要對(duì)制絨設(shè)備進(jìn)行衛(wèi)生清理，擦掉機(jī)器上面的堿，擦掉槽蓋上的硅膠。
?? 6.注意事項(xiàng)
???? ? ①停做滯留的硅片要用膠帶封好箱，標(biāo)簽注明材料批號(hào)、供應(yīng)商和實(shí)際數(shù)目。
????? ?②每批投片前要檢查化學(xué)腐蝕槽中的液位，不合適的要及時(shí)調(diào)整。
???? ? ③小花籃和承載框任何時(shí)候不能放在地上。
????? ?④嚴(yán)格按照工序控制標(biāo)準(zhǔn)檢查絨面質(zhì)量，絨面不合格的硅片要按照檢驗(yàn)卡片和工序控制點(diǎn)操作指導(dǎo)卡規(guī)定的程序進(jìn)行處置。
????? ?⑤硅片在制絨槽時(shí)，絕不能拿出硅片檢查絨面情況，要進(jìn)入漂洗槽后再查看絨面情況。
?????? ⑥操作化學(xué)藥品時(shí)，一定要戴好防護(hù)面具和防護(hù)手套。
???? ? ⑦制絨設(shè)備的窗戶在不必要時(shí)不要打開(kāi)。機(jī)器設(shè)備在運(yùn)行時(shí)，不得把頭、手伸進(jìn)機(jī)器內(nèi)，以防造成傷害事故。
???? ? ⑧制絨機(jī)衛(wèi)生保養(yǎng)時(shí)，要防止電線浸水短路，擦洗槽蓋時(shí)要防止溶液的污染。
???? ? ⑨在正常生產(chǎn)運(yùn)行過(guò)程中，設(shè)備出現(xiàn)任何異?；驁?bào)警，應(yīng)及時(shí)通知設(shè)備、工藝、品質(zhì)人員，生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)留守1人觀察，禁止操作。