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摘要

? ? ? ?半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備的生產(chǎn)控制是一項非常復(fù)雜和耗時的任務(wù)。定義了設(shè)備性能參數(shù)的不同需求由客戶和設(shè)施管理。這些要求通常是反對的，而且有效策略的定義并不簡單。在半導(dǎo)體制造中，常用的可用生產(chǎn)控制系統(tǒng)優(yōu)先級定義每個生產(chǎn)批次的重要性。生產(chǎn)批次按順序排列

? ? ? 根據(jù)定義的優(yōu)先級。這個過程稱為調(diào)度。優(yōu)先級配置是由特殊的算法來實現(xiàn)的。在文學中，有很多不同的策略規(guī)則是可用的。對于半導(dǎo)體代工業(yè)務(wù)來說，有非常需要的靈活且可適應(yīng)的策略，將設(shè)備狀態(tài)和已定義的需求納入帳戶。在我們的情況下，生產(chǎn)過程的特點是低量高混合產(chǎn)品組合。這種組合會導(dǎo)致額外的穩(wěn)定性問題和性能滯后。不穩(wěn)定的特性增加了對合理生產(chǎn)控制邏輯的影響。本文提出了一種非常靈活、適應(yīng)性強的生產(chǎn)控制策略。這一政策是基于真實生產(chǎn)數(shù)據(jù)的詳細設(shè)施模型。數(shù)據(jù)被提取出來從一個真正的高混合低產(chǎn)量的半導(dǎo)體工廠。調(diào)度策略幾個調(diào)度規(guī)則。不同的需求，如線平衡，吞吐量優(yōu)化準時交貨的目標也可以考慮在內(nèi)。自動化的詳細設(shè)施模型計算了不同調(diào)度規(guī)則的半最優(yōu)組合定義目標函數(shù)。目標函數(shù)包含了不同的需求管理和客戶。采用遺傳啟發(fā)式算法求解快速有效地找到一個接近最優(yōu)解。該策略是通過實際生產(chǎn)數(shù)據(jù)進行評估的。分析與詳細該工廠的設(shè)備模型顯示，多個設(shè)備的平均改善幅度為5%至8%性能參數(shù)，如每個掩模層的周期時間。最后在一個典型的高混疊低容量半導(dǎo)體器件上實現(xiàn)并應(yīng)用了該方法。系統(tǒng)實現(xiàn)基于JAVA實現(xiàn)。這個實現(xiàn)包括常見的最新技術(shù)，如web服務(wù)。該系統(tǒng)取代了舊的生產(chǎn)控制解決方案。除了調(diào)度算法，生產(chǎn)策略中還包含了跳過的可能性在確定的邊界條件下的幾個計量操作。在現(xiàn)實生活中

? ? ? 過程中，不是所有的計量操作對每個批次都是必要的。本文對取樣機制對生產(chǎn)過程的影響。解決方案包括在內(nèi)進入系統(tǒng)實現(xiàn)框架，將不同的采樣規(guī)則分配給不同的計量操作。評估顯示在瓶頸情況下有了更大的改善。經(jīng)過對兩種系統(tǒng)的有效引進和使用，取得了較好的實際效果

評估。員工調(diào)查結(jié)果顯示，員工對該系統(tǒng)的接受程度及反應(yīng)良好。此外對績效衡量的積極影響是可見的。實施的系統(tǒng)變成了一個真正的半導(dǎo)體設(shè)備的日常工具的一部分。

介紹

? ? ? 變型和變化是半導(dǎo)體代工業(yè)務(wù)的兩個主要特征(SFB)。多變的商業(yè)模式，不同的技術(shù)和產(chǎn)品任務(wù)、客戶訂單的變化和新技術(shù)對客戶的滿意度有很大的影響整個生產(chǎn)過程。新客戶對產(chǎn)品的個性化要求更高是該行業(yè)的主要趨勢之一。條件的迅速變化取代了一切昨天的算法和解題方法。當時的半導(dǎo)體業(yè)務(wù)并不像現(xiàn)在這么復(fù)雜。Semicon半導(dǎo)體應(yīng)用從20世紀初開始使用。在1906年李森林砍伐使世界上第一個真空管得以發(fā)展。這項發(fā)明為新媒體讓路，如收音機、電視和其他電子設(shè)備。此外,真空1947年，電子管被用于世界上第一臺電子計算機(ENIAC)。12月23日1947年，第一個像真空管一樣工作的裝置用半導(dǎo)體材料設(shè)計出來。

? ? ? 這種元件叫做轉(zhuǎn)移電阻，也叫晶體管。在1959年第一個集成電路是由德州儀器的工程師杰克·基爾比開發(fā)的。他用一塊半導(dǎo)體材料構(gòu)成了完整的電路。他結(jié)合幾個晶體管，二極管和電容器。 ?略

? ? ?本文講述半導(dǎo)體制造，術(shù)語和定義，基本關(guān)系等問題

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