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摘要

? ? ? 光伏制造濕法工藝步驟的評估表明雜質(zhì)可能沉積在硅介質(zhì)上。在取出晶片時(shí)，液體層保留在硅表面上。當(dāng)液體蒸發(fā)時(shí)，液體中的任何污染物都會沉積在硅上。該數(shù)據(jù)表明，影響雜質(zhì)沉積的最大因素是熔池中雜質(zhì)的濃度。

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濕法加工中的污染源

? ? ? 將硅片加工成光伏電池涉及多個步驟。該過程從生長硅錠開始，并通過各種包括晶片鋸切、清洗、蝕刻、擴(kuò)散、絲網(wǎng)印刷和最后測試的步驟。在整個過程中，保持硅晶片的純度是至關(guān)重要的， 因?yàn)橐呀?jīng)表明污染會對細(xì)胞的效率和有效壽命產(chǎn)生負(fù)而前濕法工藝是制造過程中的一個污染源。這些濕法工藝通常使用高純度化學(xué)物質(zhì)，如氫氟酸和鹽酸，以及18兆歐厘采的去離子水。當(dāng)化學(xué)物質(zhì)開始時(shí)低雜質(zhì)，化學(xué)品暴露于化學(xué)品分配系統(tǒng)中使用的材料，如管道閥門和容器，會將液體污染到不可接受的程度?？商崛⌒詼y試表明，用于油濕部件的材料類型，如聚氯乙烯、聚丙烯或全氟烷氧基(PFA)對流體介質(zhì)中存在的污染水平有顯著影響。

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圖1? 晶片浸沒和從處理槽中取出

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? ? ? ?金屬污染物對載流子的壽命有顯著影響。金屬污染物可以作為硅的蝕刻紋理化的副產(chǎn)品被引入到浴缸中，也可以通過工藝被引入。許多研究已經(jīng)進(jìn)行來測量金屬污染物對細(xì)胞性能的影響。其中大多數(shù)集中在硅基底中的鐵塊污染上。平面（或表面）濃度為1011個原子/cm2的金屬污染物已被證明會改變載流子的壽命超過一個數(shù)量級。大多數(shù)但不是全部，這些損失可以通過適當(dāng)?shù)臒崽幚韥砘謴?fù)。因此，最小化金屬污染是實(shí)現(xiàn)最大載流子壽命和電池效率至關(guān)重要。

計(jì)算硅片的污染利用浸涂過程中常見的技術(shù)和理論，可以計(jì)算從液浴中去除后硅片上殘留的化學(xué)厚度層。液層的厚度(h)可以用朗道-萊維奇方程來估計(jì)。

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圖2 水浴中取出后晶片上剩余的薄膜厚度(h)與取出速度的關(guān)系

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總結(jié)

? ? ? 研究表明，在光伏電池中發(fā)現(xiàn)的雜質(zhì)會降低電池的效率。例如，鐵污染將減少少數(shù)載體的壽命，從而降低電池效率。因此，它在功能上都是有限的在制造過程中，這對保護(hù)硅晶片免受污染非常重要。本文的數(shù)據(jù)表明，由于濕過程中發(fā)現(xiàn)的雜質(zhì)硅片的污染增加。這將使光伏制造商能夠評估他們自己的濕工藝浴，并了解他們對其晶片純度水平的影響。?????????????????????????????????????????????????????????????????????????????

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