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制造過程中的清潔的目的：抗蝕劑去除，表面處理，去除顆粒，去除有機物和去除金屬。清潔可分為預沉積/氧化清洗和蝕刻后清洗。我們選擇清潔工藝/化學的因素有：要清除的殘留物類型，清潔過程中暴露的表面類型，能夠在不損壞器件材料的情況下去除殘留物和污染物。清潔機制分為螯合/復合物形成，增溶和溶解。

表面活性劑：表面活性劑是任何清潔劑中最重要的部分。表面活性劑這個詞是“表面活性劑”的縮寫。一般來說，表面活性劑是一種化學物質，當溶解在水或另一種溶劑中時，會在液體和固體(我們正在去除的污垢)之間的界面(邊界)上定向，并改變界面的性質。表面活性劑是如何工作的？都有一個共同的分子相似性。分子的一端有一個長的非極性鏈被油、油脂和污垢(疏水物)吸引。分子的另一部分被水(親水物)吸引。如圖所示，表面活性劑排列在界面上。分子的疏水端離開水，親水端靠近水。當污垢或油脂存在時(本質上是疏水的)，表面活性劑會包圍它，直到它從邊界上被清除。注意到污垢分子實際上懸浮在溶液中。?

螯合劑：去污是一個復雜的過程，比僅僅在水中加入肥皂或表面活性劑要復雜得多。我們在處理清潔劑時主要關心的問題之一是水的硬度。由于鈣、鎂、鐵和錳金屬離子的存在，水變得“堅硬”。這些金屬離子會干擾洗滌劑的清潔能力。金屬離子像灰塵一樣起作用“用完”表面活性劑，使它們無法作用于我們想要清潔的表面。螯合劑與這些物質結合在一起水中的破壞性金屬離子。金屬離子被爪狀螯合劑包圍，螯合劑改變金屬離子由正變負。這使得金屬離子不可能與表面活性劑一起沉淀。因此，螯合的金屬離子在溶液中保持無害狀態(tài)，不會耗盡所有的表面活性劑。然后，表面活性劑就能完成它們真正的去污和清潔表面的工作。

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圖1 一些金屬蝕刻后清潔化學物質

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圖2 清潔中使用的化學品

總之，金屬蝕刻后的清洗，需要金屬蝕刻后清洗來去除含有側壁殘留物的金屬并蝕刻硬化光刻膠，胺、乙二醇或基于亞砜的溶劑與金屬殘余物絡合并溶解殘余物，螯合劑更能去除表面的殘留物。添加的表面活性劑防止它們在蝕刻表面上再沉積，由于這些化學物質是弱酸或弱堿，它們不會腐蝕金屬。一些化學制劑在水沖洗之前需要在異丙醇中進行中間沖洗，以防止腐蝕，稀酸、緩沖氟化氫也是蝕刻后殘留物去除的可行選擇。