AR光波導(dǎo)

隨著光纖通信的飛速發(fā)展，作為光纖傳輸?shù)睦碚摶A(chǔ)—光波導(dǎo)理論也趨于完善與系統(tǒng)化。光波導(dǎo)，因其輕薄和外界光線的高穿透特性而被認為是消費級AR眼鏡的必選光學(xué)方案，又因其價格高和技術(shù)門檻高讓人望而卻步。隨著主流AR設(shè)備微軟HoloLens2、Magic Leap One等對光波導(dǎo)技術(shù)的采用和設(shè)備量產(chǎn)，以及AR光學(xué)模組廠商DigiLens、耐德佳、靈犀微光等近期融資消息的頻繁披露，導(dǎo)致光波導(dǎo)的討論熱度也持續(xù)增加了不少。

光波導(dǎo)是如何工作的

其實，波導(dǎo)技術(shù)并不是什么新發(fā)明，我們熟悉的光通信系統(tǒng)中，用來傳輸信號的光纖組成了無數(shù)條連接大洋彼岸的海底光纜，就是波導(dǎo)的一種，只不過傳輸?shù)氖俏覀兛床灰姷募t外波段的光。

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光波導(dǎo)是集成光學(xué)重要的基礎(chǔ)性部件，它能將光波束縛在光波長量級（微米納料級）尺寸的介質(zhì)中，目前硅基/石英基沉積二氧化硅光波導(dǎo)晶圓是應(yīng)用最廣泛的，雖然各種光波導(dǎo)晶圓工藝過程較為簡單，沒有半導(dǎo)體晶圓的套刻多層等工藝，但光波導(dǎo)晶圓由于要將光在波導(dǎo)中傳播，任何細小的微變都是使光傳播出現(xiàn)變化，目前國內(nèi)外光波導(dǎo)晶圓生產(chǎn)都集中在生產(chǎn)四寸或六寸，這是由于晶圓越大，應(yīng)力分布產(chǎn)生的翹曲使晶圓的良率不高從而無法進行生產(chǎn)，但是晶圓無論大小，生產(chǎn)過程的工藝步驟基本差不多，但單片大尺寸的晶圓的芯片顆粒大大多于單片小尺寸晶圓顆粒，所以大尺寸晶圓成本優(yōu)勢明顯，用大尺寸晶圓生產(chǎn)的芯片成本是小尺寸晶圓生產(chǎn)的芯片成本的幾分之一。

而硅片、晶圓是集成電路中廣泛使用的基底材料，因此其表面的清潔是制造中極為重要的環(huán)節(jié)，華林科納是一家濕制程設(shè)備專業(yè)制造商，已優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品和服務(wù)贏得了各界用戶的贊賞和信賴。