近日由沈陽拓荊科技有限公司建設的我國首個半導體薄膜設備生產(chǎn)基地在沈陽市渾南區(qū)落成投產(chǎn)。該基地一期可容納1000人規(guī)模的研發(fā)制造團隊，年產(chǎn)能可達100臺(套)，實現(xiàn)產(chǎn)值15億元。全部達產(chǎn)后，年產(chǎn)能可達350臺(套)。

我國是全球最大的電子制造國。IC即集成電路是電子設備中最重要的組成部分，承擔著運算和存儲的功能，是計算機、數(shù)字家電、通信等行業(yè)的“心臟”。據(jù)行業(yè)協(xié)會發(fā)布的數(shù)據(jù)顯示，去年，我國集成電路產(chǎn)業(yè)總營收達4335.5億元，同比增長20.1%。

沈陽拓荊科技是由海外技術專家組建的高新技術企業(yè)，創(chuàng)立于2010年4月。2015年，拓荊科技獲得國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金(簡稱“國家大基金”)2.7億元戰(zhàn)略投資，是“國家大基金”在遼寧投資的第一家企業(yè)。同年，拓荊科技新廠區(qū)在沈陽市渾南區(qū)破土動工。新廠區(qū)占地面積5.2萬平方米，擁有先進的研發(fā)設備、場所及生產(chǎn)用十級、百級和千級無塵潔凈間，是我國首個半導體薄膜設備生產(chǎn)基地。

此前，該技術一直被發(fā)達國家壟斷，設備進口嚴重受限，極大地制約了國產(chǎn)芯片產(chǎn)業(yè)發(fā)展。作為IC裝備核心裝備之一，該項目的建成一舉填補了國內(nèi)空白，顯著提升了我國集成電路產(chǎn)業(yè)整體競爭力。拓荊科技的產(chǎn)品性能、指標達到國際一流設備水平，設備國產(chǎn)化率超過70%，產(chǎn)能是進口設備的1.1倍，成本卻比進口設備低了30%。

截至目前，拓荊科技已申請專利316項、授權專利103項，公司年產(chǎn)值始終保持100%以上的增速，現(xiàn)已成為國內(nèi)唯一能夠生產(chǎn)適用于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)線的半導體薄膜設備供應商。