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1.設備概況
l 名稱：RCA濕法腐蝕清洗機?
l 機臺尺寸?:1900mmWx1400mmDx2000mmH
l 清洗能力：2--6寸圓片，25片/籃
2.主體構造特點
l 規(guī)范：本設備的設計、選購、制造、檢驗和測試均按照相關國家、半導體行業(yè)標準（SEMI-S2-93）執(zhí)行，ISO9001質(zhì)量管理體系進行規(guī)范和保證，但合同中或技術文件中另有規(guī)定的除外。外購配件執(zhí)行相應的國家標準、行業(yè)標準、規(guī)范及企業(yè)標準；
l 設備包括：設備主體、電氣控制部分、化學工藝槽、純水清洗槽等；并提供與廠務供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統(tǒng)配套的接口等。
l 主體：設備為半敞開式，主體使用進口WPP15和10mm厚板材，結構設計充分考慮長期工作在酸腐蝕環(huán)境，堅固耐用，雙層防漏，機臺底盤采用德國產(chǎn)瓷白PP板，熱焊接而成，可長期工作在酸堿腐蝕環(huán)境中；
l 骨?架：鋼骨架+PP德國勞施領板組合而成，防止外殼銹蝕。
l 臺面：高度為850mm；
l 儲物區(qū)：位于工作臺面左側，約280mm寬，儲物區(qū)地板有漏液孔和底部支撐；
l 安全門：前側下開透明安全門，腳踏控制；
l 工藝槽：模組化設計，腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統(tǒng)一的承漏底盤中。底盤采用滿焊接工藝加工而成，杜絕機臺的滲漏危險；
l 管路系統(tǒng)：位于設備下部，所有工藝槽、管路、閥門部分均有清晰的標簽注明；藥液管路采用PFA管，純水管路采用白色NPP噴淋管，化學腐蝕槽廢液、沖洗廢水通過專用管道排放；
l 電氣保護：電器控制、氣路控制和工藝槽控制部份在機臺頂部電控區(qū)，電氣元件有充分的防護以免酸霧腐蝕以保障設備性能運行穩(wěn)定可靠；所有可能與酸霧接觸的電氣及線路均經(jīng)PFA防腐隔絕處理，電氣柜CDA/N2充氣保護其中的電器控制元件；
l 排?風：后部排風和下沉式設計，風量可調(diào)節(jié)，對操作員有安全保護；
l 送風：設備頂部有FFU百級凈化送風裝置，設備沿前側板鑲嵌入墻體，保證后上部送風；
l 照明：工作區(qū)頂部配有雙光日光燈照明；
l 水汽槍：機臺前部配備有PTFE純水槍和PTFE氮氣槍各1只置于右側，方便操作員手工清洗槽體或工件；
l 機臺支腳：有滑輪裝置及固定裝置，并且有高低調(diào)整及鎖定功能。
l 安全保障：完善的報警和保護設計，排風壓力、液位、排液均有硬件或軟件互鎖，直觀的操作界面，清晰的信息提示，保障了生產(chǎn)、工藝控制和安全性三色警示燈置于機臺上方明顯處。
3.控制系統(tǒng)
l PLC可程式控制器（歐姆龍）＋PROFACE 彩色人機界面操作。
l 模塊化軟件、硬件設計，減少故障幾率，便于安裝和維護；
l 空氣開關、斷路器、電磁閥、按鈕、氮氣調(diào)壓閥，針閥、三色警燈等均采用SMC、施耐德、和泉、松下、正泰等電氣產(chǎn)品，安全可靠；
l 配備漏電斷路保護、隔離變壓器、漏液檢測、EMO開關等安全保護裝置；
l 所有程序參數(shù)可修改，操作模式可分為自動/手動，加液和花籃傳遞為手動；
l 電路區(qū)功能分塊，強電、弱電塊，便于維護；
l 電氣控制部分均有清晰的標簽注明
l 具密碼保護功能以避免操作人員誤改參數(shù)：
Password-1.啟動及可進入自動模式內(nèi)容。
Password-2可進入手動模式。
Password-3可進入編輯模式修改制程參數(shù)。
4.安全保護
l 設備采用耐腐蝕導線并采用氟套管進行保護，防腐防水；
l 設有防漏電斷路保護裝置；
l 電控部分正壓空體保護，防水防腐；
l 配有漏電流斷路保護裝置以及過溫過載保護裝置。
l 設備有可靠的接地裝置及緊急關機和報警系統(tǒng)；
l EMO緊急開關位于機臺上方明顯處。
l 蜂鳴器聲鳴提示工作完成，三色報警燈及蜂鳴聲光故障報警；
l 機臺底部設有防漏盤及漏液感知；
l 液位異常感知/安全液位保護；
l 配有加熱保護，防干燒；
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