溝槽腐蝕機-CSE

概述

1.1 設(shè)備概況：

主要功能：本設(shè)備主要手動搬運方式，通過對si片腐蝕、漂洗、等方式進行處理，從而達到一個用戶要求的效果。

1.1.1 設(shè)備名稱：溝槽腐蝕機

1.1.2 設(shè)備型號：CSE-SC-N601

1.1.3 整機尺寸(參考)：約2000mm（L）×1400mm(W)×2000mm(H)；

1.1.4 被清洗硅片尺寸：5寸/6寸

1.1.5 設(shè)備形式:室內(nèi)放置型;

1.1.6 操作形式：手動

1.2 設(shè)備組成

該設(shè)備主要由清洗部分、抽風系統(tǒng)及電控部分組成

設(shè)備工藝走向：參照本方案臺面布局圖

1.3 設(shè)備描述

●此裝置是一個半自動的處理設(shè)備。

●8.0英寸PROFACE 人機界面顯示 / 檢測 / 操作

●主體材料：10mmPP板，優(yōu)質(zhì)不銹鋼骨架，外包3mmPP板防腐；

●化學槽槽體材料：德國勞士領(lǐng) 10mm ?PVDF板；

●純水槽槽體材料：德國勞士領(lǐng) 10mm ?NPP板；

●臺面板為10mm PP板（帶有菱形漏液孔）；

●DIW主管路及構(gòu)件采用日本進口clean-PVC管材，支管路及閥件采用PFA材質(zhì)，需滿足18M去離子水水質(zhì)要求；酸 堿管路材質(zhì)為進口PFA/PVDF；

●采用國際標準生產(chǎn)加工，焊接組裝均在萬級凈化間內(nèi)完成

●排風：位于機臺后下部

●工作照明：上方防酸型白光照明

●歐姆龍/三菱 PLC控制。

●安全考慮：

1. 設(shè)有EMO(急停裝置)，?

2. 強電弱點隔離

3. 所有電磁閥均高于工作槽體工作液面

4. 電控箱正壓裝置（CDA Purge）

5. 設(shè)備三層防漏 ?樓盤傾斜 ? 漏液報警 ?設(shè)備整體置于防漏托盤內(nèi)

6. 排放管路加過濾裝置

7 排液按鈕具有連鎖功能。啟動排液時，同時切斷泵啟動。

8 槽內(nèi)配液位開關(guān)，無液不循環(huán)。

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