SPM腐蝕清洗機(jī)設(shè)備——華林科納CSE
華林科納CSE濕法處理設(shè)備是國內(nèi)最早致力于集成電路濕法設(shè)備的研制單位，多年來與眾多的集成電路生產(chǎn)企業(yè)密切合作，研制開發(fā)出適合于4吋-8吋的全自動系列濕法處理設(shè)備。
其中SPM自動清洗系統(tǒng)設(shè)備主要用于LED芯片制造過程中硅片表面有機(jī)顆粒和部分金屬顆粒污染的自動清洗工藝。
設(shè)?備?名??稱 | 華林科納（江蘇）CSE-SPM腐蝕酸洗機(jī) |
適?用?領(lǐng)??域 | LED外延及芯片制造 |
設(shè) 備 用 途 | 硅晶片化學(xué)腐蝕和清洗的設(shè)備 |
基 本 介 紹 | 主要功能：通過對硅片腐蝕、漂洗、等方式進(jìn)行處理，從而達(dá)到一個用戶要求的效果 可處理晶圓材料：硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等 被清洗硅片尺寸:2-8寸（25片/藍(lán)） 設(shè)備形式：室內(nèi)放置型 操作形式：自動 |
設(shè)備制造商 | 華林科納（江蘇）半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 m.hbweixin.com?400-8768-096；18913575037 |
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