1. 系統(tǒng)主要功能概述 設(shè)備主要功能：每種化學液體配兩個桶（自動切換）、配兩臺泵（一用一備）、帶過濾器； 系統(tǒng)控制單元：配帶OMRON 8”彩色觸摸屏，OMRON品牌PLC系統(tǒng)； 2. 操作模式： ?CDS?系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制，操作介面以流程方式執(zhí)行， 兼具自動化與親和力。 在自動模式情形下可自行達成供酸之功能。 在手動模式及維修模式底下可針對單一自動元件操作。 3. 設(shè)備結(jié)構(gòu)： （1）機架(Frame)：盤底SUS 方管50x50x1.5T 與機體以SUS 方管38x38x1.5T方管，全周焊架構(gòu)而成，具有調(diào)整腳座。 （2）外觀：酸堿類系統(tǒng)的外觀以WPP 被覆。 （3）?箱體 (一)?箱體材質(zhì)型式 供腐蝕性化學品用之材質(zhì)為WPP/ 透明PVC。 (二)?閥體材質(zhì)型式 .供腐蝕性化學品用之材質(zhì)為PFA或PTFE。 (三)?泄漏偵測型式 采靜電容式或光電式，須能耐酸鹼之浸泡。 (四)?分流箱(VMB)必要設(shè)施說明 箱體外部須清楚標示其所輸送化學品之名稱與化學式。 ?4. 設(shè)備內(nèi)部空間規(guī)劃： （1）配管區(qū)：管路流程整齊清楚，操作方便，具有防止噴濺及承接并排放泄漏功能。 （2）電控區(qū)：完全密封，可防止酸氣侵蝕電控元件。 （3）取樣區(qū)：取樣方便具有防止酸液噴濺及排放泄漏功能。 （4）桶槽區(qū)：方便更換桶槽，并有鏈條防止桶槽滑動，有正壓及排氣功能，保持區(qū)域內(nèi)之潔凈度，下方有排放泄漏功能。 5. 電控系統(tǒng)︰ （1）空間規(guī)劃︰完全與酸氣隔離的獨立空間并有N2 Purge 功能，從后方有寬大維修空間。 （2）重要元件︰ PLC: OMRON GP: 10” OMRON Touch Empty Sensor & Level Sensor:采用靜電容近接開關(guān) 6. 附屬裝置: （1）排氣裝置︰每一個Unit 皆配備排氣裝置 （2）每一個Unit 皆配備一組DIW GUN. 7. 安全保護裝置: （1）漏電斷電斷路保護裝置 （2）機臺底部漏液檢知裝置 （3）電控箱正壓裝置 （4）E.M.O.裝置 8. 適用條件: 所有設(shè)備均應滿足以下條件; 裝置場所: 室內(nèi)。 標高: 海平面1000 公尺以下。 環(huán)境溫度: 最高30℃，最低0℃，平均30℃。 相對濕度: 最大90 ﹪。 |