設備名稱：高溫磷酸清洗機

設備型號：CSE-SZ2011-16
整機尺寸：約2800mm（L）×1200mm(w)×1900mm（H）
節(jié)拍：根據(jù)實際工藝時間可調(diào)
清洗量：
批量清洗時，采用提籃裝片，單次清洗圓片的數(shù)量要求如下
2＂外延片，每次不少于1藍，每籃不少于25片
4＂外延片，每次不少于1藍，每籃不少于20片
6＂外延片，每次不少于1藍，每籃不少于20片
框架材料:優(yōu)質(zhì)10mm瓷白PP板機殼，優(yōu)質(zhì)碳鋼骨架，外包3mmPP板防腐
機臺底部：廢液排放管路，防漏液盤結構
機臺支腳：有滑輪裝置及固定裝置，并且通過可調(diào)式地腳，可高低調(diào)整及鎖定功能

DIW上水管路及構件采用日本積水CL-PVC管材，排水管路材質(zhì)為PP管排風：位于機臺后上部
工作照明：上方防酸型照明
臺面板為優(yōu)質(zhì)10mmPP板（帶有圓形漏液孔，清除臺面殘留液體）
附件：水、氣槍左右各兩套
控制方式：PROFACE/OMRON + 三菱、OMRON 品牌 PLC 組合控制；
安全保護裝置：
????? ●設有EMO(急停裝置)，?
????? ●強電弱點隔離
????? ●設備三層防漏? 托盤傾斜?? 漏液報警? 設備整體置于防漏托盤內(nèi)

臺面布置圖：

各槽工藝參數(shù)