隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體器件和集成電路內(nèi)各元件及連線(xiàn)越來(lái)越細(xì)微,因此制造過(guò)程中,塵粒、金屬等的污染,對(duì)晶片內(nèi)電路功能的損壞影響越來(lái)越大。因此在制作過(guò)程中除了要排除外界的污染源外,集成電路制造工藝過(guò)程中均需要對(duì)硅片表面進(jìn)行清洗,以有效地使用化學(xué)藥液清除殘留在硅片表面上的各種雜質(zhì)。硅片是半導(dǎo)體器件和集成電路中使用最廣泛的基底材料,對(duì)其表面的清洗是整個(gè)硅片制造工藝中極為重要的環(huán)節(jié)之一。半導(dǎo)體領(lǐng)域中的濕法清洗技術(shù)是伴隨設(shè)備的微小化及對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量要求的不斷提高而提高的,是以RCA清洗技術(shù)為基本的框架,經(jīng)過(guò)多年的不斷發(fā)展形成。華林科納是一家濕制程設(shè)備公司,是國(guó)內(nèi)最早致力于研究濕法設(shè)備的企業(yè),多年來(lái)與國(guó)內(nèi)眾多半導(dǎo)體企業(yè)合作,研制開(kāi)發(fā)適合的半導(dǎo)體清洗機(jī)設(shè)備。一、設(shè)備概況華林科納研發(fā)的RCA濕法清洗機(jī),可按照需求定制為不同的尺寸大小??蛇m用于硅晶片2-12inch。二、適用領(lǐng)域半導(dǎo)體、液晶、MEMS等三、設(shè)備用途硅晶片化學(xué)腐蝕和清洗的設(shè)備四、設(shè)備配置設(shè)備主體、電氣控制部分、化學(xué)工藝槽、純水清洗槽等;并提供與廠務(wù)供電、供氣、供水、排廢水、排氣系統(tǒng)配套的接口等。五、主體構(gòu)造特點(diǎn)1、設(shè)備為半敞開(kāi)式,主體使用進(jìn)口WPP15和10mm厚板材,結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)充分考慮長(zhǎng)期工作在酸腐蝕環(huán)境,堅(jiān)固耐用,雙層防漏,機(jī)臺(tái)底盤(pán)采用德國(guó)產(chǎn)瓷白PP板,熱焊接而成,可長(zhǎng)期工作在酸堿腐蝕環(huán)境中2、主體:設(shè)備為半敞開(kāi)式,主體使用進(jìn)口WP...
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5月7日,北京監(jiān)管局披露了國(guó)開(kāi)證券股份有限公司關(guān)于北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“天科合達(dá)”)首次公開(kāi)發(fā)行股票并在科創(chuàng)板上市輔導(dǎo)工作報(bào)告(第二期)。國(guó)開(kāi)證券和天科合達(dá)于2019年12月6日簽署《北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司與國(guó)開(kāi)證券股份有限公司關(guān)于首次公開(kāi)發(fā)行股票并上市輔導(dǎo)協(xié)議》,并于2019年12月12日取得中國(guó)證監(jiān)會(huì)北京監(jiān)管局輔導(dǎo)備案受理。官網(wǎng)資料顯示,天科合達(dá)于2006年9月由新疆天富集團(tuán)、中國(guó)科學(xué)院物理研究所共同設(shè)立,目前注冊(cè)資本為10364.2866萬(wàn)元,是一家專(zhuān)業(yè)從事第三代半導(dǎo)體碳化硅(SiC)晶片研發(fā)、生產(chǎn)和銷(xiāo)售的高新技術(shù)企業(yè)。2017年4月10日,天科合達(dá)在新三板掛牌上市,2019年8月12日終止新三板掛牌。天科合達(dá)為全球SiC晶片的主要生產(chǎn)商之一,目前其在碳化硅單晶行業(yè)世界排名位于第四位,國(guó)內(nèi)排名居前列,晶片產(chǎn)品大量出口至歐、美和日本等20多個(gè)國(guó)家和地區(qū),是我國(guó)少數(shù)進(jìn)入國(guó)外知名大企業(yè)的高技術(shù)產(chǎn)品。(來(lái)源:全球半導(dǎo)體觀察 )
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硅芯片是當(dāng)代信息技術(shù)的核心,當(dāng)前正向“深度摩爾”(More Moore)和“超越摩爾”(More than Moore)兩個(gè)方向發(fā)展。物聯(lián)網(wǎng)(IoT)應(yīng)用是“超越摩爾”技術(shù)路線(xiàn)中相當(dāng)重要的一環(huán),需要數(shù)量巨大的集成電路芯片來(lái)分析處理來(lái)自外部傳感器件的海量信號(hào)。目前,大多數(shù)傳感信號(hào)采集器件和信號(hào)處理單元均為分離設(shè)計(jì),將在整體上產(chǎn)生更大功耗并占據(jù)更大的空間。由此,復(fù)旦大學(xué)材料科學(xué)系教授梅永豐課題組提出了將信號(hào)檢測(cè)和分析功能集成于同一個(gè)芯片器件中的全新概念。作為演示,研究團(tuán)隊(duì)將單晶硅薄膜柔性光電晶體管與智能薄膜材料相結(jié)合和組裝,構(gòu)造了對(duì)不同環(huán)境變量進(jìn)行檢測(cè)和分析的柔性硅芯片傳感器及其系統(tǒng)。這一思路不僅具有優(yōu)異的可擴(kuò)展性,還可與當(dāng)前集成電路先進(jìn)制造工藝相兼容。5月2日,相關(guān)研究結(jié)果以《面向智能數(shù)字灰塵的硅納米薄膜光電晶體管多功能集成傳感器研究》(“Silicon Nanomembrane Phototransistor Flipped with Multifunctional Sensors towards Smart Digital Dust”)為題發(fā)表在《科學(xué)進(jìn)展》(Science Advances)上。研究團(tuán)隊(duì)從器件的傳感機(jī)理入手,利用柔性薄膜組裝集成芯片傳感器,實(shí)現(xiàn)了多種環(huán)境參數(shù)探測(cè)功能的集成。 研究團(tuán)隊(duì)開(kāi)發(fā)了將智能材料與光電傳感結(jié)合的新穎傳感機(jī)制,并將傳感模塊與后續(xù)信號(hào)處...
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眾做周知,濕法腐蝕和濕法清洗在很早以前就已在半導(dǎo)體生產(chǎn)上被廣泛接受和使用,許多濕法工藝顯示了其優(yōu)越的性能。伴隨IC集成度的提高,硅片表面的潔凈對(duì)于獲得IC器件高性能和高成品率至關(guān)重要,硅片清洗也顯得尤為重要。濕法腐蝕是一種半導(dǎo)體生產(chǎn)中實(shí)現(xiàn)圖形轉(zhuǎn)移的工藝,由于其高產(chǎn)出,低成本,高可靠性以及有很高的選擇比仍被廣泛應(yīng)用。濕法腐蝕工藝濕法化學(xué)腐蝕是最早用于微機(jī)械結(jié)構(gòu)制造的加工方法。所謂濕法腐蝕,就是將晶片置于液態(tài)的化學(xué)腐蝕液中進(jìn)行腐蝕,在腐蝕過(guò)程中,腐蝕液將把它所接觸的材料通過(guò)化學(xué)反應(yīng)逐步浸蝕溶掉。用于化學(xué)腐蝕的試劑很多,有酸性腐蝕劑,堿性腐蝕劑以及有機(jī)腐蝕劑等。根據(jù)所選擇的腐蝕劑,又可分為各向同性腐蝕和各向異性腐蝕劑。各向同性腐蝕的試劑很多,包括各種鹽類(lèi)(如CN基、NH 基等)和酸,但是由于受到能否獲得高純?cè)噭?,以及希望避免金屬離子的玷污這兩個(gè)因素的限制,因此廣泛采用HF—HNO3腐蝕系統(tǒng)。各向異性腐蝕是指對(duì)硅的不同晶面具有不同的腐蝕速率。基于這種腐蝕特性,可在硅襯底上加工出各種各樣的微結(jié)構(gòu)。各向異性腐蝕劑一般分為兩類(lèi),一類(lèi)是有機(jī)腐蝕劑,包括EPW(乙二胺、鄰苯二酚和水)和聯(lián)胺等,另一類(lèi)是無(wú)機(jī)腐蝕劑,包括堿性腐蝕液,如KOH、NaOH、NH4OH等。就濕法和干法比較而言,濕法的腐蝕速率快、各向異性差、成本低,腐蝕厚度可以達(dá)到整個(gè)硅片的厚度,具有較高的機(jī)械靈敏度。但控制腐蝕厚度困難,且難以...
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晶科能源董事長(zhǎng)李仙德“這三個(gè)月,我們親歷了太多“第一次”。第一次封城;建國(guó)以來(lái)第一次推遲全國(guó)兩會(huì);第一次體會(huì)災(zāi)難面前人人平等,不管你有錢(qián)沒(méi)錢(qián),有權(quán)沒(méi)權(quán)。不僅個(gè)人,世界經(jīng)濟(jì)也用多個(gè)第一次極大地回應(yīng)了市場(chǎng),第一次2周內(nèi)美股四度熔斷;第一次股市、債市和黃金市場(chǎng)出現(xiàn)共振;第一次不管美聯(lián)儲(chǔ)怎么放水,全球央行如何推進(jìn)負(fù)利率政策,強(qiáng)心劑不起作用;第一次油價(jià)來(lái)到25美元一桶;第一次很多產(chǎn)業(yè)直接進(jìn)入息業(yè)狀態(tài)。第一次,我們不知所措……這場(chǎng)全球性的疫情影響了每一個(gè)人,打亂了我們的計(jì)劃、我們的生活節(jié)奏,也改變了我們的工作方式。令我驚訝的是,無(wú)論是居家辦公、遠(yuǎn)程視訊、高峰錯(cuò)時(shí)出勤、我們的員工很快就適應(yīng)了,自律、體諒且有條不紊地推進(jìn)工作,讓我本想復(fù)工第一天給大家點(diǎn)鼓勵(lì)都覺(jué)得是多余了。我要感謝產(chǎn)線(xiàn)上的一線(xiàn)工人和干部們,他們不得不留在崗位現(xiàn)場(chǎng),遵守公司相關(guān)防疫防護(hù)規(guī)定,抓緊生產(chǎn),補(bǔ)回產(chǎn)能,完成交付,兌現(xiàn)客戶(hù)承諾。我也要感謝我們分布在世界各地的銷(xiāo)售,口罩急缺情況下,不是先想到自己和家人,而是擔(dān)憂(yōu)客戶(hù)和他們的家人需要,奔走協(xié)調(diào),幫助解決口罩需求。100萬(wàn)只在路上的口罩,帶著晶科人手心的溫暖,正發(fā)向地球的各個(gè)角落。如果說(shuō)這次疫情能夠讓我們堅(jiān)定一個(gè)信念的話(huà),那就是光伏將發(fā)揮著更為不可或缺的作用,支撐著下一步世界復(fù)蘇最關(guān)鍵的新基建投資,特別是綠色、低碳的電力設(shè)施新建設(shè),從而拉動(dòng)需求,提供就業(yè)、加速能源轉(zhuǎn)型。我們要從百年難遇...
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在半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展過(guò)程中,器件的特征尺寸越來(lái)越小,光刻工藝也變得越發(fā)復(fù)雜,而這也導(dǎo)致了下一代光刻技術(shù)的成本不斷增加。追求特征尺寸的縮小,就需要減小曝光波長(zhǎng)。在比DUV和EUV更先進(jìn)的下一代光刻技術(shù)中,電子束光刻已被證明有非常高的分辨率,但其生產(chǎn)效率太低;X 線(xiàn)光刻雖然可以具備高產(chǎn)率,但X 線(xiàn)光刻的設(shè)備相當(dāng)昂貴。光學(xué)光刻成本和復(fù)雜的趨勢(shì)以及下一代光刻技術(shù)難以在短期內(nèi)實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化激發(fā)人們?nèi)パ邪l(fā)一種非光學(xué)的、廉價(jià)的且工藝簡(jiǎn)便的納米技術(shù),即納米壓印技術(shù)(Nanoimprint Lithography,NIL)。1995年,華裔科學(xué)家周郁(Stephen Chou)提出了納米壓印技術(shù)(Nanoimprint Lithography,NIL)的思想。有別于傳統(tǒng)的光刻技術(shù),納米壓印將模具上的圖形直接轉(zhuǎn)移到襯底上,從而達(dá)到量產(chǎn)化的目的。NIL的基本思想是通過(guò)模版,將圖形轉(zhuǎn)移到相應(yīng)的襯底上,轉(zhuǎn)移的媒介通常是一層很薄的聚合物膜,通過(guò)熱壓或者輻照等方法使其結(jié)構(gòu)硬化從而保留下轉(zhuǎn)移的圖形。整個(gè)過(guò)程包括壓印和圖形轉(zhuǎn)移兩個(gè)過(guò)程。相對(duì)于傳統(tǒng)的光刻技術(shù),納米壓印具有加工原理簡(jiǎn)單,分辨率高,生產(chǎn)效率高,成本低等優(yōu)點(diǎn)。納米壓印光刻膠與傳統(tǒng)光刻膠的對(duì)比納米壓印技術(shù)不受最短曝光波長(zhǎng)限制,只與模板的精密度有關(guān)。因此,對(duì)光刻膠性能的要求相對(duì)降低了,但是隨著工藝的改變,同樣會(huì)引出新的問(wèn)題,...
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4月28日,浪潮廈門(mén)產(chǎn)業(yè)園開(kāi)園暨正式投產(chǎn)儀式在廈門(mén)隆重舉行。去年“九八”投洽會(huì)期間,浪潮集團(tuán)與廈門(mén)市簽署合作協(xié)議,建設(shè)浪潮廈門(mén)產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目。項(xiàng)目從簽約到場(chǎng)地交付僅用時(shí)2個(gè)月、從場(chǎng)地交付到投產(chǎn)地也僅用時(shí)2個(gè)月,連續(xù)創(chuàng)造了廈門(mén)市重大項(xiàng)目談判落地的多項(xiàng)紀(jì)錄,是廈門(mén)市與浪潮集團(tuán)深化戰(zhàn)略合作的重要成果。浪潮廈門(mén)產(chǎn)業(yè)園坐落于火炬湖里園,是一座自動(dòng)化、智能化、柔性化和透明化的現(xiàn)代制造工廠,將打造集全球領(lǐng)先的制造工藝與智能技術(shù)為一體的浪潮服務(wù)器和PC終端研發(fā)制造基地,現(xiàn)已建成兩條全球領(lǐng)先的智能化產(chǎn)線(xiàn),生產(chǎn)效率提升30%,預(yù)計(jì)年產(chǎn)60萬(wàn)臺(tái)PC終端。浪潮集團(tuán)作為“云+數(shù)+AI”新型互聯(lián)網(wǎng)企業(yè),始終堅(jiān)持自主研發(fā),以技術(shù)立企,在我國(guó)信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展的每個(gè)時(shí)代,都以創(chuàng)新的產(chǎn)品與服務(wù)引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)發(fā)展,成為信息產(chǎn)業(yè)的開(kāi)拓者和引領(lǐng)者。IDC最新數(shù)據(jù)顯示,浪潮服務(wù)器蟬聯(lián)全球市場(chǎng)前三、中國(guó)市場(chǎng)第一;浪潮AI服務(wù)器中國(guó)市場(chǎng)占有率超過(guò)50%;浪潮云正為25個(gè)省、220+地市和百萬(wàn)家企業(yè)提供云服務(wù);同時(shí),浪潮在工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、政府?dāng)?shù)據(jù)運(yùn)營(yíng)、智慧城市和健康醫(yī)療大數(shù)據(jù)等領(lǐng)域位居中國(guó)前列。浪潮廈門(mén)產(chǎn)業(yè)園項(xiàng)目的落地,顯著提升了廈門(mén)市計(jì)算機(jī)與通訊設(shè)備產(chǎn)業(yè)的規(guī)模,填補(bǔ)了廈門(mén)市信息技術(shù)應(yīng)用創(chuàng)新整機(jī)制造和系統(tǒng)軟件研發(fā)領(lǐng)域的空白,是廈門(mén)市一年來(lái)招商引資工作的標(biāo)志性成果之一。(出自:廈門(mén)火炬高新區(qū)管委會(huì))
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在材料加工科學(xué)的不斷推動(dòng)下,半導(dǎo)體器件和集成電路制作工藝取得了長(zhǎng)足進(jìn)步,發(fā)生了巨大變化,但是其中的濕法清洗工藝作為最為有效的半導(dǎo)體晶片洗凈技術(shù),一直未能被取代。隨著晶片表面潔凈要求的不斷提高,清洗工藝的焦點(diǎn)已逐步由清洗液、兆聲波等轉(zhuǎn)移到晶片干燥上。干燥作為濕法清洗的最后一個(gè)步驟,最終決定了晶片的表面質(zhì)量,是清洗工藝的核心所在?! ≡诟鞣N晶片的干燥中,尤以襯底拋光片的干燥最為困難,它不僅要求表面達(dá)到脫水效果,還要避免在表面留下任何水痕缺陷或顆粒。為達(dá)到這種要求,以設(shè)備為依托的各類(lèi)干燥技術(shù)發(fā)展迅速。 1.1離心甩干技術(shù) 離心甩干是通過(guò)外力使晶片短時(shí)間內(nèi)達(dá)到高速旋轉(zhuǎn)的狀態(tài),晶片表面的水受到離心力作用而從表面消失的干燥技術(shù)。這種干燥方式由于簡(jiǎn)單可靠,在晶片清洗領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用。根據(jù)晶片運(yùn)動(dòng)方式的不同,離心甩干又分為立式離心甩干和水平式離心甩干(見(jiàn)圖 1 和圖 2),雖然二者的脫水原理相似,但是由于運(yùn)動(dòng)方式的不同,在工藝上有很大的差異。為保證晶片的潔凈,一般在干燥步驟之前,會(huì)增加一步藥液、去離子水旋轉(zhuǎn)噴淋過(guò)程,對(duì)表面進(jìn)行二次潔凈。為保證干燥效果,甩干過(guò)程中將引入熱氮?dú)?,?duì)晶片進(jìn)行吹拂。 影響甩干效果的因素有很多,如轉(zhuǎn)速的設(shè)置, 氮?dú)獾牧髁浚艢馔返脑O(shè)計(jì)、腔體的密閉性和旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生的共振等?! ‰x心甩干的優(yōu)點(diǎn)是技術(shù)成熟穩(wěn)定,干燥后的表面均一性好,不易產(chǎn)生水?。蝗秉c(diǎn)是僅適合半導(dǎo)體前道的裸片...
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福州新聞網(wǎng)4月28日訊 在位于福州高新區(qū)的省重點(diǎn)建設(shè)項(xiàng)目——第三代半導(dǎo)體數(shù)字產(chǎn)業(yè)園施工現(xiàn)場(chǎng),卡車(chē)往來(lái)穿梭,各類(lèi)機(jī)械在基坑里緊張作業(yè),一片繁忙景象。 隨著新冠肺炎疫情防控形勢(shì)持續(xù)向好,生產(chǎn)生活秩序加快恢復(fù),高新區(qū)推動(dòng)省市重點(diǎn)項(xiàng)目滿(mǎn)負(fù)荷施工,爭(zhēng)取把受疫情影響的建設(shè)進(jìn)度“搶”回來(lái)。樁基施工擬6月底完成據(jù)介紹,位于高新區(qū)生物醫(yī)藥園和機(jī)電產(chǎn)業(yè)園(簡(jiǎn)稱(chēng)兩園)的第三代半導(dǎo)體數(shù)字產(chǎn)業(yè)園于2019年三季度開(kāi)工建設(shè),預(yù)計(jì)2021年建成投產(chǎn)。該產(chǎn)業(yè)園占地65513平方米,總建筑面積87550平方米,計(jì)容建筑面積104170平方米,總投資50995萬(wàn)元。建設(shè)內(nèi)容包括4棟4層標(biāo)準(zhǔn)廠房、2間門(mén)房、263個(gè)機(jī)動(dòng)車(chē)停車(chē)位、876個(gè)非機(jī)動(dòng)車(chē)停車(chē)位,以及供水、供電、排水、道路、污水處理等配套設(shè)施。項(xiàng)目完工后,將與高新區(qū)海西園的數(shù)字經(jīng)濟(jì)產(chǎn)業(yè)園相呼應(yīng),形成大園區(qū)加特色產(chǎn)業(yè)園相結(jié)合的產(chǎn)業(yè)格局,并通過(guò)打造一批高品質(zhì)精細(xì)化民生設(shè)施,提升高新區(qū)的城市品質(zhì)。一直以來(lái),在市委、市政府大力指導(dǎo)和幫助下,高新區(qū)準(zhǔn)確把握當(dāng)前電子信息產(chǎn)業(yè)的發(fā)展方向,高效率推進(jìn)、高品質(zhì)服務(wù)、高標(biāo)準(zhǔn)建設(shè),全力推進(jìn)第三代半導(dǎo)體數(shù)字產(chǎn)業(yè)園落地動(dòng)建。該工程樁基共計(jì)1358根,截至4月22日共施工完成280根,預(yù)計(jì)6月底完成樁基施工。全面賦能平臺(tái)招大引強(qiáng)與此同時(shí),高新區(qū)全面賦能平臺(tái)招大引強(qiáng),依托已落地“兩園”的福建省電子信息集團(tuán),引進(jìn)一線(xiàn)龍頭企...
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國(guó)內(nèi)EDA軟件、集成無(wú)源器件IPD和系統(tǒng)級(jí)封裝領(lǐng)域的領(lǐng)先供應(yīng)商,芯和半導(dǎo)體于近日宣布:基于中芯集成電路(寧波)有限公司(以下簡(jiǎn)稱(chēng)“中芯寧波”)自主開(kāi)發(fā)的高性能體聲波諧振器技術(shù)以及全套晶圓級(jí)加工與封裝工藝技術(shù),芯和半導(dǎo)體的首款自主設(shè)計(jì)和開(kāi)發(fā)的高頻段體聲波濾波器產(chǎn)品正式發(fā)布,并已向本土無(wú)線(xiàn)終端客戶(hù)送樣,進(jìn)入系統(tǒng)客戶(hù)的驗(yàn)證和測(cè)試階段,預(yù)計(jì)第三季度進(jìn)入批量生產(chǎn)和供貨。市場(chǎng)隨著5G商用的啟動(dòng),射頻前端市場(chǎng)將通過(guò)更多額外頻段的載波聚合和MIMO技術(shù),迎來(lái)新一波年均8%以上的高速增長(zhǎng)。濾波器在全球射頻前端市場(chǎng)中占最大份額,其出貨量將會(huì)從2018年的530億顆增長(zhǎng)到2025年的約1000億顆,年增長(zhǎng)率接近兩位數(shù)。目前國(guó)內(nèi)濾波器市場(chǎng)主要為國(guó)外廠商所壟斷,行業(yè)急需國(guó)內(nèi)供應(yīng)商的突圍。產(chǎn)品本濾波器為一款低插損、高抑制WiFi2.4GHz帶通濾波器,封裝尺寸僅為1.1mm×0.9mm×0.6mm ,完全兼容當(dāng)前主流1109 的WiFi帶通濾波器尺寸。產(chǎn)品性能媲美同類(lèi)國(guó)際領(lǐng)先產(chǎn)品,可滿(mǎn)足智能手機(jī)、無(wú)線(xiàn)終端、便攜路由器、無(wú)線(xiàn)模組等多種系統(tǒng)應(yīng)用需求。根據(jù)規(guī)劃,芯和半導(dǎo)體在今年還將聯(lián)合中芯寧波陸續(xù)發(fā)布包括B40、N41、B41、B7等在內(nèi)的其他國(guó)內(nèi)緊缺的中高頻段射頻濾波器、雙工器和耦合器等產(chǎn)品。芯和半導(dǎo)體高級(jí)副總裁代文亮博士表示:“我們很高興看到中芯寧波與芯和半導(dǎo)體的成功合作,開(kāi)發(fā)出具有競(jìng)爭(zhēng)力的...
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2020
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