?濕刻蝕是通過(guò)化學(xué)刻蝕液和被刻蝕物質(zhì)之間的化學(xué)反應(yīng)將被刻蝕物質(zhì)剝離下來(lái)的刻蝕方法。大多數(shù)濕法刻蝕是不容易控制的各向同性刻蝕。
(1) 特點(diǎn)：適應(yīng)性強(qiáng)，表面均勻性好、對(duì)硅片損傷少，幾乎適用于所有的金屬、玻璃、塑料等材料。
(2) 缺點(diǎn)：圖形刻蝕保真想過(guò)不理想，刻蝕圖形的最小線難以掌控。
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干法刻蝕的刻蝕劑是等離子體，是利用等離子體和表面薄膜反應(yīng)，形成揮發(fā)性物質(zhì)，或直接轟擊薄膜表面使之被腐蝕的工藝。
(1) 特點(diǎn)：能實(shí)現(xiàn)各向異性刻蝕，從而保證細(xì)小圖形轉(zhuǎn)移后的保真性。
(2) 缺點(diǎn)：造價(jià)高。
?從所產(chǎn)生通道截面形狀分類，刻蝕又可分為兩類：各向同性刻蝕和各向異性刻蝕。
(1) 各向同性刻蝕：刻蝕劑從基片表面向下腐蝕的速率與在其他各方向大致相同，這種刻蝕成為各向同性刻蝕。例如含氫氟酸的溶液刻蝕玻璃和石英就是各向同性的。
(2) 各向異性刻蝕：刻蝕劑在某一方向的刻蝕速率遠(yuǎn)大于其他方向時(shí)，就是各向異性刻蝕。例如用氫氧化鈉、氫氧化鉀等堿金屬的氫氧化物或季銨鹽刻蝕硅片時(shí)是各向異性的
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