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外延片清洗機(jī)-CSE

發(fā)布時(shí)間： 2017 - 12 - 06

在LED外延及芯片制造領(lǐng)域，濕法設(shè)備占據(jù)約40%以上的工藝，隨著工藝技術(shù)的不斷發(fā)展，濕法設(shè)備已經(jīng)成為LED外延及芯片制造領(lǐng)域的關(guān)鍵設(shè)備，如SPM酸清洗、有機(jī)清洗、顯影、去膠、ITO蝕刻、BOE蝕刻、PSS高溫側(cè)腐、下蠟、勻膠、甩干、掩膜版清洗等。南通華林科納CSE深入研究LED生產(chǎn)工藝，現(xiàn)已形成可滿足LED產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目需求的全自動(dòng)濕法工藝標(biāo)準(zhǔn)成套設(shè)備。 LED 芯片的制造工藝流程為：外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2 沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P 極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測試。 CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備設(shè)備名稱南通華林科納CSE-外延片清洗機(jī)設(shè)備可處理晶圓尺寸2”-12”可處理晶圓材料硅、砷化鎵、磷化銦、氮化鎵、碳化硅、鈮酸鋰、鉭酸鋰等應(yīng)用領(lǐng)域集成電路、聲表面波（SAW）器件、微波毫米波器件、MEMS器件、先進(jìn)封裝等專有技術(shù)系統(tǒng)潔凈性技術(shù)均勻性技術(shù)晶圓片N2干燥技術(shù)模塊化系統(tǒng)集成技術(shù)自動(dòng)傳輸及精確控制技術(shù)溶液溫度、流量和壓力的精確控制技術(shù)主要技術(shù)特點(diǎn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)緊湊、安全腔體獨(dú)立密封，具有多種功能可實(shí)現(xiàn)晶圓干進(jìn)干出采用工控機(jī)控制，功能強(qiáng)大，操作簡便可根據(jù)用戶要求提供個(gè)性化解決方案設(shè)備制造商南通華林科納半導(dǎo)體設(shè)備有限公司 m.hbweixin.com 400-8768-096 ；18913575037更多的外延片清洗設(shè)備相關(guān)資訊可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)（m.hbweixin.com），現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體行業(yè)相關(guān)清洗設(shè)備解決方案。

旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺-CSE

發(fā)布時(shí)間： 2017 - 12 - 06

旋轉(zhuǎn)式噴鍍臺結(jié)合微組裝工藝對鍍制工藝的小批量、多規(guī)格和特殊應(yīng)用要求等特點(diǎn)，在6＂（150mm）晶圓電鍍系統(tǒng)中采用了傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍單元分由兩個(gè)部分組成，一為陰極夾具、旋轉(zhuǎn)單元、導(dǎo)線電刷、Ｎ２保護(hù)單元組成的陰極回轉(zhuǎn)體，二為三角形槽體、陽極和電力線擋板組成的陽極腔。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍結(jié)構(gòu)示意圖如下：從鍍制結(jié)構(gòu)方式、鍍制工藝應(yīng)用分析可以看出，采用傾斜式旋轉(zhuǎn)噴鍍有以下幾種優(yōu)勢。一是這種結(jié)構(gòu)方式易實(shí)現(xiàn)槽體密封和附加N2 保護(hù)功能。二是在這種鍍制工藝中，陰極的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)使槽內(nèi)電場不均問題得以解決，從而提高了鍍制的均勻性。三是呈45°傾斜加陰極旋轉(zhuǎn)的方式，可以較容易的祛除晶圓表面的氣泡附著及“產(chǎn)生”氣泡的消除。四是采用了多微孔進(jìn)行鍍液噴射，實(shí)現(xiàn)攪拌功能，消除局部PH值、溫度、離子濃度等不均勻帶來的影響。五是采用三角形鍍槽設(shè)計(jì)最大限度的減少了鍍液的消耗。六是該鍍制結(jié)構(gòu)方式可以滿足多品種、小批量、低成本的生產(chǎn)需求。傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍技術(shù)、工藝優(yōu)勢斜式三角鍍槽結(jié)構(gòu)本系統(tǒng)采用傾斜式三角形鍍槽結(jié)構(gòu)，鍍槽入口溢流口均與三角形斜邊平行，可得到穩(wěn)定且不易積累氣泡的流場環(huán)境。通過進(jìn)行相關(guān)模擬、仿真和驗(yàn)證，鍍液入口采用扇形噴咀式結(jié)構(gòu)，可保證鍍液在平行于陰極表面方向上形成均勻而穩(wěn)定的流場。從而通過改變流場的方法改善了鍍層的均勻性。該結(jié)構(gòu)的另一優(yōu)點(diǎn)可使電鍍液的用量減至最少程度。南通華林科納CSE采用傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍方法進(jìn)行晶圓電鍍工藝處理，由于結(jié)構(gòu)上的特點(diǎn)，該方法經(jīng)實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證具有：①結(jié)構(gòu)簡單；②工藝參數(shù)控制容易；③有利氣泡的消除；④鍍制均勻性得到提高；⑤鍍制溶液用量少。該方法尤其適應(yīng)于小批量、多規(guī)格的電鍍工藝，同時(shí)可以取得較好的鍍制均勻性。圖6為我們所研制的150mm晶圓傾斜旋轉(zhuǎn)噴鍍系統(tǒng)，目前已批量生產(chǎn)并在工藝線上得到較好的應(yīng)用，產(chǎn)品已通過技術(shù)定型鑒定和用戶驗(yàn)收。實(shí)現(xiàn)的主要工藝指標(biāo)：最大晶...

雙腔甩干機(jī)

發(fā)布時(shí)間： 2016 - 06 - 22

雙腔甩干機(jī)1. 應(yīng)用范圍:l 本機(jī)臺適用於半導(dǎo)體7”晶圓(含)以下之旋乾製程.l 設(shè)備為垂直式雙槽體機(jī)臺，可同Run 50~100片.l 可對旋乾步驟進(jìn)行可程式化控制 (Recipe Program).l 具使用在此設(shè)備已超過20年以上的應(yīng)用馬達(dá)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì), 高穩(wěn)定度Rotor 設(shè)計(jì), 震動(dòng)值均控制於300 um 以下.l 高潔淨(jìng)設(shè)計(jì),微塵控制於每次運(yùn)轉(zhuǎn)增加量, 0.3um , 30顆以下. 2. 操作流程3. 圖示 4. 規(guī)格l 機(jī)臺內(nèi)皆使用鐵氟龍製DI , N2 控制閥件l 直流式馬達(dá): DC無刷馬達(dá)750Wl 真空負(fù)壓軸封設(shè)計(jì)，隔離槽外污染l 不銹鋼N2過濾器 0.003~0.005μml 氣體加熱器及加熱墊控制乾燥速率l 壓力感測保護(hù)(加熱器空燒保護(hù))l 槽外貼Silicon材質(zhì)加熱墊 x1 片, 220VAC , 300W(溫度開關(guān)90°C OFF 70°C ON)l Viton材質(zhì)充氣式氣囊及槽後密封環(huán),保持室外絕緣l 不銹鋼槽體SS316經(jīng)拋光及電解研磨l 單顆螺絲固定轉(zhuǎn)子，並按客戶需求指定使用訂做l 轉(zhuǎn)子經(jīng)拋光及電解研磨，並做動(dòng)態(tài)平衡校正l 可選擇指示燈訊及蜂鳴器音樂故障碼功能: 門鎖警告，氣體不足，傳動(dòng)異常警告 5. 電控系統(tǒng)l 控制器操作介面: 5.7”記憶人機(jī)+ PLC可程式自動(dòng)化控制器(人機(jī) Touch Screen，整合介面) 。l 軟體功能Ø 編輯/儲(chǔ)存 : 製程/維修/警示/編輯/配方/，皆可從操作螢?zāi)簧闲薷摹?#216; 儲(chǔ)存能力記憶模組...

枚葉式清洗機(jī)-華林科納CSE

發(fā)布時(shí)間： 2016 - 03 - 07

枚葉式清洗機(jī)-華林科納CSE南通華林科納半導(dǎo)體CSE-單片枚葉式洗凈裝置的特長：單片式清洗裝置的優(yōu)點(diǎn)（與浸漬.槽式比較）1.晶片表面的微粒數(shù)非常少（到25nm可對應(yīng)）例：附著粒子數(shù)…10個(gè)/W以下（0.08UM以上粒子）（參考）槽式200個(gè)/W2.藥液純水的消費(fèi)量少藥液…（例）1%DHF的情況 20L/日純水...每處理一枚晶片0.5-1L/分3.小裝置size（根據(jù)每個(gè)客戶可以定制）液體濺射（塵埃強(qiáng)制除去）（推薦)清洗方法單片式裝置的Particle再附著問題更多的半導(dǎo)體單片枚葉式濕法腐蝕清洗設(shè)備相關(guān)信息可以關(guān)注華林科納CSE官網(wǎng)（www.hlkncas.com），現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096；18913575037可立即獲取免費(fèi)的半導(dǎo)體清洗解決方案。

自動(dòng)供酸系統(tǒng)（CDS）-CSE

發(fā)布時(shí)間： 2016 - 03 - 07

自動(dòng)供酸系統(tǒng)（CDS）-南通華林科納CSEChemical Dispense System System 南通華林科納半導(dǎo)體CSE-CDS自動(dòng)供酸系統(tǒng) 適用對象：HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途：本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送，經(jīng)管道至設(shè)備；具有自動(dòng)化程度高，配比精確，操作簡便等特點(diǎn)；具有良好的耐腐蝕性能?？刂颇Ｊ剑菏謩?dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式設(shè)備名稱南通華林科納CSE-CDS自動(dòng)供酸系統(tǒng)設(shè)備型號CSE-CDS-N1507設(shè)計(jì)基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)（Chemical Dispense System System）簡稱：CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房內(nèi)：酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房；3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材，內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì)；4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn)；5. 過濾器：配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼；6. 供液泵：每種化學(xué)液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵；7. Empty Sensor & Level Sensor：酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān)；8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報(bào)功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能：每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶（自動(dòng)切換）、配兩臺泵（一用一備）、帶過濾器；系統(tǒng)控制單元：配帶OMRON 8”彩色觸摸屏，OMRON品牌PLC系統(tǒng)；2. 操作模式： CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制，操作介面以流程方式執(zhí)行，兼具自動(dòng)化與親和力。在自動(dòng)模式情形...

單片清洗機(jī)CSE

發(fā)布時(shí)間： 2018 - 01 - 23

單片清洗機(jī)-華林科納CSESingle wafer cleaner system南通華林科納CSE-自動(dòng)單片式腐蝕清洗機(jī)應(yīng)用于清洗（包括光刻板清洗）刻蝕去膠金屬剝離等；可處理晶圓尺寸2"-12"；可處理晶圓材料：硅砷化鎵磷化銦氮化鎵碳化硅鈮酸鋰鉭酸鋰等；主要應(yīng)用領(lǐng)域：集成電路聲表面波器件微波毫米波器件 MEMS 先進(jìn)封裝等設(shè) 備名稱CSE-單片清洗機(jī)類型單片式適用領(lǐng) 域半導(dǎo)體、太陽能、液晶、MEMS等清洗方式2英寸——12英寸設(shè)備穩(wěn)定性1、≥0.2um顆粒少于10顆2、金屬附著量:3E10 atoms/ cm²3、純水消耗量：1L/min/片4、蝕刻均一性良好（SiO?氧化膜被稀釋HF處理）：≤2%5、干燥時(shí)間：≤20S6、藥液回收率：＞95%單片式優(yōu)點(diǎn)1、單片處理時(shí)間短（相較于槽式清洗機(jī)）2、節(jié)約成本（藥液循環(huán)利用，消耗量遠(yuǎn)低于槽式）3、良品率高4、有效避免邊緣再附著5、立體層疊式結(jié)構(gòu)，占地面積小更多的單片（枚葉）式清洗相關(guān)設(shè)備可以關(guān)注南通華林科納半導(dǎo)體官網(wǎng)，關(guān)注http://m.hbweixin.com ,400-8768-096，18913575037

氫氟酸HF自動(dòng)供液系統(tǒng)-CSE

發(fā)布時(shí)間： 2017 - 12 - 06

氫氟酸HF自動(dòng)供液系統(tǒng)-南通華林科納CSEChemical Dispense System System 南通華林科納半導(dǎo)體CSE-氫氟酸供液系統(tǒng) 適用對象：HF、HN03、KOH、NH4OH、NaOH、H2SO4、HCL、 H2O2、IPA等主要用途：本設(shè)備主要用于濕法刻蝕清洗等制程工程工序需要的刻蝕液集中進(jìn)行配送，經(jīng)管道至設(shè)備；具有自動(dòng)化程度高，配比精確，操作簡便等特點(diǎn)；具有良好的耐腐蝕性能。控制模式：手動(dòng)控制模式、自動(dòng)控制模式設(shè)備名稱南通華林科納CSE-氫氟酸（HF）供液系統(tǒng)設(shè)備型號CSE-CDS-N2601設(shè)計(jì)基準(zhǔn)1.供液系統(tǒng)（Chemical Dispense System System）簡稱：CDS2. CDS 將設(shè)置于化學(xué)房內(nèi)：酸堿溶液CDS 系統(tǒng)要求放置防腐性的化學(xué)房；3. 設(shè)備材質(zhì)說明(酸堿類):酸堿溶液CDS外構(gòu)采以WPP 10T 板材，內(nèi)部管路及組件采PFA 451 HP 材質(zhì)；4. 系統(tǒng)為采以化學(xué)原液雙桶/單桶20L、200L、1t等方式以Pump 方式運(yùn)送到制程使用點(diǎn)；5. 過濾器：配有10” PFA材質(zhì)過濾器外殼；6. 供液泵：每種化學(xué)液體配有兩臺或者一臺 PTFE材質(zhì)的進(jìn)口隔膜泵；7. Empty Sensor & Level Sensor：酸堿類采用一般型靜電容近接開關(guān)；8. 所有化學(xué)品柜、歧管箱及閥箱均提供泄漏偵測器與警報(bào)功能。CDS系統(tǒng)設(shè)備規(guī)格 1. 系統(tǒng)主要功能概述設(shè)備主要功能：每種化學(xué)液體配兩個(gè)桶（自動(dòng)切換）、配兩臺泵（一用一備）、帶過濾器；系統(tǒng)控制單元：配帶OMRON 8”彩色觸摸屏，OMRON品牌PLC系統(tǒng)；2. 操作模式： CDS 系統(tǒng)皆有PLC 作Unit 內(nèi)部流程控制，操作介面以流程方式執(zhí)行，兼具自動(dòng)化與親和力。在...

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第六課：硅片清洗設(shè)備的日常維護(hù)

硅片清洗的重要性想必大家是很清楚的，而清洗后硅片表面的各種性能在一定程度上又由清洗設(shè)備本身決定，因此，對硅片清洗設(shè)備的日常維護(hù)就尤為重要。目前，在半導(dǎo)體的生產(chǎn)中廣泛使用的為濕式化學(xué)清洗方法，在該清洗方法中有大量的化學(xué)試劑被使用，具體使用的化學(xué)試劑及其主要作用見表1。▼表1常用的化學(xué)清洗溶液另外，在半導(dǎo)體材料及器件生產(chǎn)廠家，槽式清洗設(shè)備被廣泛使用，由于該類清洗設(shè)備清洗工位較多，任何一個(gè)環(huán)節(jié)的疏忽，都會(huì)導(dǎo)致最終清洗后硅片表面質(zhì)量不合格，且主要表現(xiàn)為硅片表面顆粒超標(biāo)和硅片表面金屬沾污超標(biāo)。硅片表面質(zhì)量的重要參數(shù)是顆粒數(shù)跟金屬沾污，去除顆粒跟金屬沾污也是硅片清洗最主要的目的，所以需對清洗設(shè)備對顆粒跟金屬沾污的去除能力進(jìn)行監(jiān)控。如發(fā)現(xiàn)硅片表面顆粒跟金屬沾污超標(biāo)，則需進(jìn)行如下處理：1、將各槽中原液排干，用DI水將槽子沖洗一次，然后將槽中水排盡；2、加入少許（lgallon)DI水，然后加入lgal- lonH2O2，再加入少許DI水，然后加工入lgallonNH4OH，再加DI水至槽滿。如果是工藝槽，則讓混合液循環(huán)2h，否則靜置2h；3、將槽中液排盡，用DI水再次沖洗槽子一次，將槽液排盡；4、重新對清洗設(shè)備進(jìn)行測試。具體的操作流程如下：由于對清洗設(shè)備的工藝維護(hù)在實(shí)際的生產(chǎn)中起著舉足輕重的作用，故需特別注意。如果發(fā)現(xiàn)問題需及時(shí)進(jìn)行解決，直至檢測合格為止。也可以咨詢本公司進(jìn)行專業(yè)服務(wù)。延展閱讀★華...

發(fā)布時(shí)間: 2018 - 09 - 25

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日本芯片逆襲史第二部

日本半導(dǎo)體在1970-1985年的15年間到達(dá)了“黃金時(shí)代”，但物極必反、盛極而衰的事物發(fā)展規(guī)律是永恒不變的，且看日本怎么應(yīng)對。由盛而衰背后是未能抓住規(guī)?；瘷C(jī)會(huì)1980年代后期，日本的DRAM市場份額開始大幅衰退，根本原因是DRAM市場結(jié)構(gòu)發(fā)生巨變，頻繁發(fā)生的貿(mào)易摩擦也一定程度上阻礙了行業(yè)發(fā)展。日本企業(yè)在早期大型計(jì)算機(jī)所用的存儲(chǔ)器上有技術(shù)優(yōu)勢，看重的是存儲(chǔ)器的品質(zhì)。但1980年代后期，隨著個(gè)人電腦市場蓬勃發(fā)展，對存儲(chǔ)器的可靠性和壽命要求較低，更側(cè)重于低價(jià)。但日本當(dāng)時(shí)依舊以高可靠性為生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)，未能很好地適應(yīng)市場變化。有業(yè)內(nèi)人士指出，盡管當(dāng)時(shí)日本公司看到了個(gè)人電腦市場的動(dòng)向，但仍執(zhí)著于成品率，在降低成本方面比較欠缺。對比日韓的半導(dǎo)體公司會(huì)發(fā)現(xiàn)，韓國公司在成本上大幅領(lǐng)先于日本公司，生產(chǎn)同樣的元器件，日本公司使用的設(shè)備數(shù)量竟是韓國的2倍，生產(chǎn)流程過長，進(jìn)而無法降低成本。另有分析指出，這也和日本制造商沒有采取Fabless模式有關(guān)。這種水平分工的發(fā)展模式可以使專業(yè)公司專注設(shè)計(jì)，代工廠專注生產(chǎn)，可以對市場變化做出迅速反應(yīng)，將機(jī)器折舊影響到的成本劣勢降到很低?！?Fabless模式“日本的半導(dǎo)體制造大多仍是大集團(tuán)下的子部門，盡管個(gè)別產(chǎn)品有不錯(cuò)的成績，但在品牌占有率達(dá)到一定程度后，該模式無法再有效推升其半導(dǎo)體的零組件往下一個(gè)里程碑前進(jìn)。Fabless模式是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)在規(guī)模經(jīng)濟(jì)發(fā)展下的必然走向。而以...

發(fā)布時(shí)間: 2018 - 09 - 18

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多家半導(dǎo)體廠商天貓旗艦店曝光！阿里天貓芯片節(jié)來了！

9月21日，在火熱進(jìn)行的2018杭州云棲大會(huì)上，天貓、阿里云IoT攜手包括中移物聯(lián)網(wǎng)有限公司、Cypress、瑞薩、意法半導(dǎo)體、兆易創(chuàng)新、博通集成、移遠(yuǎn)通信、新唐科技等眾多國內(nèi)外知名半導(dǎo)體公司宣布2018天貓芯片節(jié)盛大開幕，同期在天貓線上首發(fā)18款芯片模組。▼▼▼▼▼18款芯片將全部接入阿里云IoT的AliOS Things物聯(lián)網(wǎng)操作系統(tǒng)及Link IoT Edge邊緣計(jì)算。同時(shí)，阿里云IoT已經(jīng)攜手包括Intel、Semtech多家生態(tài)巨頭共同拓展近場、廣域、邊緣計(jì)算等多個(gè)應(yīng)用領(lǐng)域的市場，力爭在最短時(shí)間內(nèi)打通從端到云的物聯(lián)網(wǎng)場景，實(shí)現(xiàn)無處不在的連接。從公布的芯片節(jié)合作的廠商來看，包括了國內(nèi)外半導(dǎo)體廠商以及模組廠商，而這些廠商主要聚焦在MCU、無線通信芯片、模組產(chǎn)品。正是阿里布局物聯(lián)網(wǎng)生態(tài)的重要參與者。據(jù)國際電子商情記者了解，這些廠商的天貓旗艦店的運(yùn)營主要有兩種方式，一種是原廠組建自有團(tuán)隊(duì)，另一種是由代理商或者元器件電商運(yùn)營。今天早些時(shí)候，賽普拉斯半導(dǎo)體公司宣布，在阿里巴巴集團(tuán)旗下的天貓商城開設(shè)在線商店。賽普拉斯是首批入駐天貓商城的電子元器件供應(yīng)商之一。而該公司天貓商城交由易庫易獨(dú)家運(yùn)營。相關(guān)報(bào)道可見：CYPRESS官宣，正式入駐天貓商城，獨(dú)家運(yùn)營方揭曉！“我們希望能夠?qū)⑻熵埓蛟斐蔀殚_發(fā)者的一站式芯片購買渠道?！背鱿舜翁熵埿酒?jié)啟動(dòng)儀式的天貓3C數(shù)碼資深總監(jiān)何春雷表示。相比于傳統(tǒng)...

發(fā)布時(shí)間: 2018 - 09 - 22

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第五課：詳解刻蝕清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)和工作原理

上一期給大家講解了濕法刻蝕與清洗的基本藥液，那濕法刻蝕清洗機(jī)的結(jié)構(gòu)和工作原理是什么？今天就帶大家瞧一瞧。1、刻蝕清洗設(shè)備分類濕法刻蝕清洗機(jī)按清洗的結(jié)構(gòu)方式可以分為槽式批量清洗和單片清洗機(jī)兩種類型。而槽式清洗又可分為半自動(dòng)清洗和全自動(dòng)清洗兩種機(jī)臺。2、清洗設(shè)備結(jié)構(gòu)組成清洗設(shè)備主要由耐腐蝕機(jī)架、酸槽、水槽、干燥槽、控制單元、排風(fēng)單元以及氣體和液體管路單元等幾大部分構(gòu)成。其中酸槽和管路單元是清洗設(shè)備的主要組成部分。按照材料的差異，槽體可分為用不銹鋼材質(zhì)的生產(chǎn)的槽、用NPP 材質(zhì)生產(chǎn)的抗腐蝕的槽、用PVDF材質(zhì)生產(chǎn)的槽、用PTFE材質(zhì)生產(chǎn)的槽、用石英材質(zhì)生產(chǎn)的槽等，按照功能的差異槽體又可分為酸堿刻蝕槽、溢流清洗槽、快速排水槽和使晶圓快速干燥的干燥槽等，根據(jù)清洗工藝要求的不同，還可以增加腐蝕液的超聲及兆聲清洗、腐蝕液加熱或制冷、攪拌、循環(huán)及去離子水加熱等清洗功能?！鴿穹涛g清洗機(jī)的組成部分在材料選擇上，不銹鋼槽主要用于有機(jī)溶液或堿性溶液；而石英加熱槽主要用于酸性溶液，而且該槽耐高溫，一般為二百攝氏度，最高可以達(dá)到四百攝氏度；高純度聚丙烯槽主要用于溫度小于八十?dāng)z氏度的酸堿溶液；聚氟乙烯槽常常用來承裝 BOE 以及氫氟酸，要求溫度最高不能高于一百二十?dāng)z氏度。聚四氟乙烯槽可用于幾乎所有的酸堿以及有機(jī)溶液，其耐溫小于150攝氏度。在功能選擇上， Q...

發(fā)布時(shí)間: 2018 - 09 - 13

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全國首個(gè)12英寸功率半導(dǎo)體項(xiàng)目完成封裝測試

9月20日，重慶日報(bào)記者從重慶萬國半導(dǎo)體科技有限公司（以下簡稱重慶萬國）獲悉，全國首個(gè)12英寸功率半導(dǎo)體項(xiàng)目已經(jīng)完成封裝測試，預(yù)計(jì)10月份正式在渝投產(chǎn)?！貞c萬國半導(dǎo)體科技有限公司生產(chǎn)車間蘋果、富士康等大型科技企業(yè)都是該公司的客戶。重慶萬國相關(guān)負(fù)責(zé)人告訴記者，“我們的芯片將用于蘋果手機(jī)的電源管理系統(tǒng)，對電能進(jìn)行變換、分配，提高iOS設(shè)備的性能，同時(shí)保持低功耗?！贝送?，該芯片在家電、汽車乃至無人機(jī)領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用。據(jù)了解，重慶萬國是全球第一家集12英寸芯片生產(chǎn)及封裝測試于一體的功率半導(dǎo)體企業(yè)，集電源管理及功率器件的研發(fā)設(shè)計(jì)、芯片制造、封裝測試、銷售及服務(wù)于一體。公司由美國AOS、重慶戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)股權(quán)投資基金和重慶兩江新區(qū)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)股權(quán)投資基金共同出資組建。其中，外資占51%，國資占49%，注冊資本3.55億美元，投資總額10億美元。該項(xiàng)目用地342畝，分兩期建設(shè)，一期投資5億美元，主要建設(shè)規(guī)模為月產(chǎn)2萬片12英寸功率半導(dǎo)體芯片、封裝測試500KK功率半導(dǎo)體芯片；二期計(jì)劃投資5億美元，建設(shè)月產(chǎn)5萬片12英寸功率半導(dǎo)體芯片、封裝測試1250KK功率半導(dǎo)體芯片。市發(fā)改委相關(guān)負(fù)責(zé)人介紹，重慶萬國半導(dǎo)體項(xiàng)目正式投產(chǎn)后，將實(shí)現(xiàn)研發(fā)、制造、銷售和服務(wù)全流程的本地化配置，屆時(shí)芯片的生產(chǎn)成本將大幅下降，并推動(dòng)重慶汽車電子、軌道交通、通訊、消費(fèi)電子、家用電器、工業(yè)控制及大數(shù)據(jù)智能化等產(chǎn)業(yè)發(fā)展。來源...

發(fā)布時(shí)間: 2018 - 09 - 21

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硅片短缺將成為常態(tài)！國產(chǎn)硅片投資規(guī)模將超500億

從目前國內(nèi)企業(yè)的規(guī)劃來看，預(yù)計(jì)到2020年，國內(nèi)12英寸硅片產(chǎn)能可以達(dá)到145萬片/月，覆蓋國內(nèi)需求。此外，預(yù)計(jì)到2020年，國內(nèi)8英寸硅片產(chǎn)能可以達(dá)到168萬片/月，總投資規(guī)模超過500億元?！凹呻娐纷詈诵牡木褪枪璨牧?，硅材料就是集成電路的樹根。集成電路是直接建立在硅片上的，全國人民都知道硅芯片的重要，但是大家不知道硅材料更重要。可以說，沒有硅材料，就沒有硅芯片?！敝锌圃涸菏織畹氯氏壬?018中國集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展研討會(huì)上表示?！璨牧蠂抑攸c(diǎn)實(shí)驗(yàn)室（浙江大學(xué)）楊德仁院士根據(jù)IC Insights的數(shù)據(jù)顯示，2017年全球硅片需求量為1160萬片/月，而國內(nèi)的硅片需求量為110萬片/月。楊院士表示，具體而言，目前國內(nèi)所有生產(chǎn)線對于12英寸硅片每月的需求量大概為43萬片-45萬片，預(yù)計(jì)到2020年將增加至105萬片/月，而對8英寸硅片的需求將從70萬片/月增加到96.5萬片/月。隨著集成電路行業(yè)的不斷發(fā)展，對于硅片的需求也在增加。2017年，整個(gè)集成電路配套材料的市場規(guī)模為263億美元，其中硅片是份額最大的材料，市場規(guī)模大約為87億美元，市場占比為31%-33%。預(yù)計(jì)到2020年，全球硅片市場規(guī)模將達(dá)到110億美元。從全球市場來看，12英寸的硅片將成為集成電路最終競爭力最激烈的一個(gè)領(lǐng)域。據(jù)數(shù)據(jù)顯示，2017年在整個(gè)硅片市場，12英寸硅片占比為63%，8英寸硅片占比27%，6英寸硅...

發(fā)布時(shí)間: 2018 - 09 - 20

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阿里巴巴宣布成立平頭哥半導(dǎo)體有限公司明年4月發(fā)芯片

IT之家9月19日消息在9月19日舉辦的云棲大會(huì)上，阿里巴巴正式宣布平頭哥半導(dǎo)體有限公司的成立。平頭哥半導(dǎo)體有限公司，是由阿里巴巴之前全資收購的嵌入式CPU IP的公司中天微和阿里達(dá)摩院芯片研發(fā)團(tuán)隊(duì)整合而成的一家芯片公司。之所以起這個(gè)名字，阿里巴巴CTO張建鋒解釋道，這是希望這家公司能學(xué)習(xí)一下平頭哥“不怕”的精神，奮勇向前。阿里巴巴表示，平頭哥半導(dǎo)體公司會(huì)在明年4月發(fā)布第一款神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)芯片?！⒗锇桶虲TO張建鋒科普一下，平頭哥，學(xué)名蜜獾，以“世界上最無所畏懼的動(dòng)物”被收錄在吉尼斯世界紀(jì)錄大全中數(shù)年之久，是非洲大草原有名的二哥，生死看淡不服就干是其“人生格言”。此外“平頭哥”蜜獾生性好斗，從不畏懼，哪怕是非洲一哥獅子也毫不畏懼（因?yàn)檫@個(gè)原因平頭哥被列入瀕危動(dòng)物）。除此之外，在大會(huì)上，阿里巴巴集團(tuán)CEO張勇表示，在兩年內(nèi)阿里巴巴將會(huì)達(dá)到三年前提出的一萬億美元的近期目標(biāo)。事實(shí)上，發(fā)展到現(xiàn)在，阿里巴巴已經(jīng)19歲了，算是一個(gè)“大小伙子”了，阿里巴巴已經(jīng)不單純是一家電商了，現(xiàn)在的阿里巴巴已經(jīng)發(fā)展成為為橫跨電子商務(wù)、金融服務(wù)、物流、云計(jì)算、新零售等的龐大體系了。來源：IT之家延展閱讀★華林科納公司簡介★華林科納行業(yè)新聞★華林科納產(chǎn)品中心★華林科納人才招聘★半導(dǎo)體小課堂

發(fā)布時(shí)間: 2018 - 09 - 19

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日本芯片逆襲史第一部：從進(jìn)口到自主研發(fā)完成，日本做了什么？

繼東芝半導(dǎo)體公司出售之后，回顧過去日本芯片企業(yè)動(dòng)態(tài)，我們可以看到，日本企業(yè)專注于生產(chǎn)、專注于設(shè)計(jì)，以增強(qiáng)芯片產(chǎn)業(yè)的實(shí)力，日本是唯一一個(gè)曾經(jīng)有能力與美國分庭抗禮的國家。在鼎盛時(shí)期的1993年，IC Insights發(fā)布的全球十大半導(dǎo)體公司中有6家日本公司。到了2018年，東芝半導(dǎo)體卻成為碩果僅存的日本公司。過去的十五年日本發(fā)生了什么呢？從依賴進(jìn)口到自主研發(fā)日本索尼公司的官網(wǎng)上至今都掛著這樣一段歷史，該公司創(chuàng)始人之一井深大1952年在美國進(jìn)行為期3個(gè)月的調(diào)查旅行，期間聽說了西方電器公司（WE）有意轉(zhuǎn)讓晶體管專利，但代價(jià)高達(dá)25000美元，這相當(dāng)于日本東京通信工業(yè)公司（索尼前身）總資產(chǎn)的10%，盡管心生向往，但井深大最終帶著遺憾回國。索尼的另一創(chuàng)始人盛田紹夫后來于1953年赴美談判，最終拿下了這項(xiàng)技術(shù)。但他們并沒有采納WE的建議——將晶體管用做助聽器，而是摸索出一個(gè)全新的應(yīng)用領(lǐng)域。1955年，索尼研制出全球第一臺晶體管收音機(jī)。1959年，索尼收音機(jī)銷售額達(dá)250萬美元。日本公司紛紛效仿。到1965年，日本的收音機(jī)出口量達(dá)到2421萬臺。另外，電子計(jì)算器和電視也撬動(dòng)了美國市場的大門。日本消費(fèi)電子在美國市場獲得成功，不僅因?yàn)槠洚a(chǎn)品創(chuàng)新和性價(jià)比高，還與美國的政策有關(guān)。當(dāng)時(shí)美國將電子產(chǎn)業(yè)的重心轉(zhuǎn)移到了軍用上，這為日本的民用電子產(chǎn)品提供了機(jī)遇。到1960年代，日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)繼續(xù)追趕美國。當(dāng)時(shí)，日本...

發(fā)布時(shí)間: 2018 - 09 - 18

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石墨烯芯片可望延續(xù)摩爾定律

我相信，石墨烯(graphene)將在未來催生半導(dǎo)體材料的下一個(gè)重大創(chuàng)新。材料創(chuàng)新一直是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中重要的一環(huán)。過去，最重要的是高κ閘極介電質(zhì)；現(xiàn)在，則是鈷成為在半導(dǎo)體中段制程(middle-of-line；MOL)觸點(diǎn)中替代鎢的重要元素。2004年發(fā)現(xiàn)的石墨烯，是迄今最輕薄但最強(qiáng)大的材料。它是碳的一個(gè)原子層，它比鋼更強(qiáng)勁200倍，同時(shí)也是人類已知最輕薄的材料——每平方公尺的重量約0.77毫克(mg)。它同時(shí)也是室溫下的理想導(dǎo)電和導(dǎo)熱體。由于石墨烯是一個(gè)原子層，因此既柔軟且透明。它還能在可見光與近紅外線頻譜范圍展現(xiàn)均勻吸收光的能力，而且適用于自旋電子元件。針對即將出現(xiàn)的新半導(dǎo)體制程節(jié)點(diǎn)，石墨烯將在其先進(jìn)封裝與互連材料方面發(fā)揮重要作用。在3D IC封裝中，石墨烯可作為散熱片，用于降低整體熱阻，或作為EMI屏蔽，以降低串?dāng)_。主動(dòng)式石墨烯元件層可經(jīng)由低溫轉(zhuǎn)換制程(至于互連，銅的動(dòng)能逐漸消逝，而成為重大的IC瓶頸，預(yù)計(jì)在7nm節(jié)點(diǎn)時(shí)達(dá)到40%的延遲。石墨烯由于具有較高的電子遷移率和導(dǎo)熱性，使其成為半導(dǎo)體中段和后段制程中更具吸引力的互連材料，特別是在線寬基于石墨烯的半導(dǎo)體應(yīng)用已經(jīng)開始進(jìn)入市場。在今年于巴塞隆納舉行的世界行動(dòng)通訊大會(huì)(MWC 2018)展出了一款整合石墨烯調(diào)變器和光探測器的新型光收發(fā)器，可實(shí)現(xiàn)高達(dá)每通道25Gbits/s的速度。美國圣地亞哥一家公司Nanomedical Dia...

發(fā)布時(shí)間: 2018 - 09 - 18

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紹興重磅發(fā)布集成電路規(guī)劃，中芯國際、韋爾半導(dǎo)體等陸續(xù)簽約落戶

9月15日，2018中國（紹興）首屆集成電路產(chǎn)業(yè)高峰論壇在紹興市越城區(qū)召開，本次論壇以“融入大灣區(qū)，打造‘芯’高地”為主題，集中交流探討新時(shí)期下集成電路產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新機(jī)遇與挑戰(zhàn)，把脈未來市場熱點(diǎn)與應(yīng)用，共商紹興集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展大計(jì)。浙江省人民政府副省長高興夫、工信部電子信息司副司長吳勝武、市委書記馬衛(wèi)光、浙江省半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會(huì)理事長嚴(yán)曉浪、國家集成電路產(chǎn)業(yè)投資基金股份有限公司副總裁張春生等致辭，市委副書記、市長盛閱春主持。包括中科院院士楊德仁在內(nèi)的約200位集成電路產(chǎn)業(yè)的專家學(xué)者、領(lǐng)軍企業(yè)代表金融及投資服務(wù)機(jī)構(gòu)代表，集成電路專業(yè)媒體代表等參加了此次會(huì)議。紹興集成電路發(fā)展早，列入大灣區(qū)打造芯高地紹興市集成電路的發(fā)展起始于華越微電子有限公司（原八七一廠）落戶紹興。八七一廠為原國家集成電路重點(diǎn)發(fā)展的五大支柱企業(yè)，八七一廠的到來為紹興帶來了當(dāng)時(shí)集成電路產(chǎn)業(yè)最前沿的技術(shù)，營造了良好的氛圍。隨后，浙江華越芯裝電子股份有限公司、紹興光大芯業(yè)微電子有限公司、紹興芯谷科技有限公司等一批集成電路產(chǎn)業(yè)企業(yè)先后成立。目前，紹興集成電路產(chǎn)業(yè)鏈已基本完善，涵蓋了設(shè)計(jì)、制造、封裝測試、設(shè)備等多個(gè)領(lǐng)域。據(jù)統(tǒng)計(jì)，紹興市共有集成電路產(chǎn)業(yè)企業(yè)13家，已初具規(guī)模，總投資58.8億元的中芯國際也選擇落戶紹興越城，目前已開工建設(shè)。2016年，全市集成電路產(chǎn)業(yè)主營業(yè)務(wù)收入13.8億元，利潤總額2.4億元；2017年，主營業(yè)務(wù)收入達(dá)25...

發(fā)布時(shí)間: 2018 - 09 - 17

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