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零部件清洗機(jī)_華林科納CSE

CleanStep的零部件被設(shè)計(jì)用于PECVD刻蝕清洗設(shè)備，以及石墨舟、石 英舟、碳化硅舟等擴(kuò)散舟的刻蝕和清洗設(shè)備。

優(yōu)點(diǎn)

> 通過(guò)關(guān)閉的工藝腔室的安全操作，加載和僅一次工藝腔室 沖洗之后卸載，完成整個(gè)工藝過(guò)程。

> 安全門(mén)自鎖裝置

> 工藝腔室保護(hù)防止水溢流

> 排風(fēng)監(jiān)控部件

> 用于門(mén)自鎖的電導(dǎo)傳感器（僅適用于石英舟清洗設(shè)備）

> 簡(jiǎn)便、安全操作的高品質(zhì)觸摸屏

> 很少的化學(xué)品消耗產(chǎn)生最小的生產(chǎn)費(fèi)用，與浸泡式工藝相 比至少節(jié)約2-3倍

> 減少了操作次數(shù)

> 化學(xué)品的消耗，與浸泡式工藝相比要少于大約10倍

> 穩(wěn)定的清洗工藝，水的消耗，與浸泡式工藝相比少于2倍

> 設(shè)備高利用率和低維修率，得益于它獨(dú)特的模塊化設(shè)計(jì)和 長(zhǎng)壽命零部件的應(yīng)用

> 最佳的占地

應(yīng)用

CleanStep的零部件被設(shè)計(jì)用于PECVD刻蝕清洗設(shè)備，以及石墨舟、石英舟、碳化硅舟等擴(kuò)散舟的 刻蝕和清洗設(shè)備。標(biāo)準(zhǔn)化設(shè)計(jì)的設(shè)備是用于2個(gè)石墨舟或4個(gè)石英舟的清洗。同時(shí)也強(qiáng)有力的證明 了用噴淋工藝代替浸泡工藝不僅節(jié)約了工藝時(shí)間，同時(shí)也節(jié)約了化學(xué)品的消耗量。

選項(xiàng)

> 廢液槽起重裝置

> 系統(tǒng)外殼結(jié)構(gòu)[FM認(rèn)可材質(zhì)]

> HF有毒氣體檢測(cè)裝置

> Centrotherm 一套石墨舟花籃可裝載19片到21片晶圓?可拆卸石墨舟?

> Centrotherm 一套石墨舟可裝載23片?可拆卸石墨舟?

> 石英部件清洗的石英舟夾具

> 漏液盤(pán)連接閥

> 電阻率監(jiān)測(cè)裝置

> 手動(dòng)加載花籃干燥的烘干箱

> 30升的HNO3 / HF/ DI-H2O的預(yù)備槽

> 獨(dú)立的設(shè)備化學(xué)品供應(yīng)用于回收用過(guò)的HF

> 氮氧化物有毒氣體檢測(cè)裝置

> 晶圓背面腐蝕的ACL片盒夾

> N2 凈化

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