?
??? 碳化硅磨料所具有的特性(硬度高、抗壓強度
高、耐磨性好),使碳化硅磨具在磨削加工中成為
磨削硬脆材料及硬質合金的理想工具,不但效率高、
精度高,而且粗糙度好、磨具消耗少、使用壽命長,
同時還可改善勞動條件。
因此廣泛用于普通磨具難于加工的低鐵含量的
金屬及非金屬硬脆材料,如硬質合金、高鋁瓷、光
學玻璃、瑪瑙寶石、半導體材料、石材等。
?? 碳化硅的分類:
(黑碳化硅、綠碳化硅)
含量越高純度越高、物理性能
越好。
含量在98%——特級品
含量在95%-98%——一級品
含量在80%-94%——二級品
含量在70%左右——三級品
?? 主要雜質有:
游離硅(F.Si)一部分溶解在碳化硅晶體,一部分與其它金屬雜質(鐵、
鋁、鈣)呈金屬狀態(tài)存在。
游離二氧化硅(F.SiO2)通常存在于晶體表面,大都是由于冶煉碳化硅電
阻爐冷卻過程中,碳化硅氧化而形成。
?? 碳化硅生產工藝:
原料破碎
配料&混料:
采用錘式破碎機
對石油焦破碎到
工藝要求的粒徑。
按照規(guī)定配方稱
量配料并混勻,
采用混凝土攪拌
機對石油焦和石
英砂混料作業(yè)。
電爐準備:
把上次用過的爐
重新修整、整理,
以再次投入使用
。作業(yè)內容包括
潔理爐底料,修整
電極,清理爐墻并
修補,去裝力、1
擋, 檢查、排除
爐的其他缺陷。
裝爐:
按照規(guī)定的爐
料類別、部位
、尺寸往爐內
裝填反應料、
保溫料、爐芯
材料,并砌筑具
有保溫和盛料
作用的熔煉爐
側墻
送電冶煉:
冶煉爐與變壓
器接通之后即
可送電。送電
開始15min投
以明火,點燃
CO,冶煉過程
持續(xù)170h。
冷卻:
冶煉爐停爐之
后進行自然冷
卻,然后進行扒
爐(卸爐墻,扒
乏料),繼續(xù)進
行自然冷卻。
出爐分級:
從爐上取下結晶
塊、石墨,并把一
級品、二級品、
石墨等物分開的
過程。人工劈開
結晶筒,將成塊狀
的結晶筒運往分
級場,進行人工分
級。
工業(yè)生產方法:
碳化硅的工業(yè)生產方法是將石英
(56%)、煤焦(35%)、鋸末
(7%)和食鹽(2%)混合,在電
阻爐中加熱到2200℃,食鹽是除
去石英砂和煤焦中的雜質,而鋸末
是產生氣孔,使生成的氣體容易逸
出。電爐中間用石墨或碳顆粒堆積
成柱狀電阻發(fā)熱體,所配原料緊密
填充在發(fā)熱體四周。燒成的塊狀晶
體經破碎,酸、堿洗滌,磁選去除
微量的鐵,干燥即得碳化硅原料。
反應燒結法:
將粒度配比合適的α-SiC粉與膠體石墨
在瓷球磨筒中均勻混合20h,加入結
合劑羧甲基纖維素或聚乙烯醇的酒精
溶液,在鋼模中成型,壓力為50~
70Mpa。素坯先于40℃下緩慢干燥,
再于100℃干燥,然后進行燒結。在大
氣壓力下碳管爐內,硅粉裝在石墨坩
堝內,以產生硅蒸氣。硅粉顆粒為
4.7~1.0mm,硅化溫度在2000℃以
上。如果在66.6Pa的真空爐中,硅粉
需放入氮化硼坩堝里,硅化溫度在
1500~1600℃。由于蒸發(fā)而附著在制
品表面的硅可用熱的氫氧化鈉處理除
去,即制得碳化硅制品。
?? 碳化硅
微粉生
產流程:
粉碎碳化硅原料,篩分出不大于5mm的顆粒,再整
形至不大于2mm的碳化硅顆粒,酸洗除雜,干燥
用磨粉機粉碎成d50=9.5-11.5μm的碳化硅粉。風機流
量設定為40-50m3/min,分析機轉速為400--600轉/分
用渦流式氣流分級機分級,風機流量為25-43m3/min,
分級輪轉速為2600--3300轉/分。
二次分級,葉輪式氣流分級機的風機流量為25-
10m3/min,分級輪轉速為1300--1700轉/分
把顆粒分成大小不同的粒子段。TS振動篩分機可配至4
層篩網,能連續(xù)分選出2-5個粒級并控制較窄的粒度范圍
。
?更多的碳化硅生產工藝以及碳化硅清洗機設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(m.hbweixin.com),現在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
?
?
?
?