陶瓷盤清洗機-CSE設備名稱：陶瓷盤清洗機-華林科納CSE設備外型結構及主要參數(shù) 控制模式: 手動控制模式 自動控制模式。 清洗對象：陶瓷盤 設備形式: 室內(nèi)放置型。 尺寸(參考，詳見圖紙，含地腳)：3000 mm(L)× 1500 mm(W)× 2200 mm(H)。 機臺總體結構暫定分為兩部分，機械運行機構裝置與機臺前方；機臺前方為清洗工作區(qū)域及機械行走區(qū)，機臺后上方為電器和氣路布置區(qū)域，后下方為液路布置區(qū)域。更多半導體設備可以關注南通華林科納半導體設備官網(wǎng)m.hbweixin.com；現(xiàn)在咨詢400-8768-096，18913575037，可立即免費獲取華林科納CSE提供的設備相關方案
兆聲波清洗機—華林科納CSE Mega sonic cleaning machine南通華林科納CSE-兆聲波清洗機 適用于硅晶片 藍寶石晶片 砷化鎵晶片 磷化銦晶片 碳化硅晶片 石英晶片可處理晶片尺寸2"-8"；可處理晶圓材料：硅 砷化鎵 磷化銦 氮化鎵 碳化硅 鈮酸鋰 鉭酸鋰等；主要應用領域：半導體 太陽能光伏 液晶等 設備名稱CSE-兆聲波清洗機類型槽式尺寸(參考)約3500（L）×1350 (W)×2300mm (H)清洗件規(guī)格4” 2籃50片設備凈重1T運行重量1.5T±10%電源380v 50hz 功率70kw槽體尺寸200mm*400mm*260mm槽數(shù)6個操作方式手動/半自動/全自動適用規(guī)格2英寸-8英寸適用領域半導體、太陽能、液晶等 設備穩(wěn)定性1、清洗良品率≥99%2、≥0.2um顆粒少于10顆 產(chǎn)品簡介1設備機架采用不銹鋼骨架外包PP板，耐酸堿腐蝕；2電氣區(qū)設置在設備后上部，與濕區(qū)和管路區(qū)完全隔離；3槽體材料選用耐相應溶液腐蝕的材料；4機械手探入濕區(qū)部分的零部件表面噴氟或套PFA管處理；5設備排風采用頂部百級FFU送新風，臺面下抽風，每套工藝清洗槽都有自動開閉的槽蓋，槽蓋下有單獨的抽風裝置，排風口處設有自動調(diào)節(jié)風門，即上電打開風門，斷電關閉風門，具有風壓檢測功能，以及氮氣、壓縮空氣壓力報警功能；6溶液槽中藥液自動供液按設定好比例混合，并可在工作過程中根據(jù)設定補液；客戶根據(jù)自身工藝條件自行設定；7臺面為多孔結構，便于臺面上沖洗水、液的排出；8操作面設有透明PVC安全門；9設備設有漏電、急停、液位、過溫、安全門開、漏液、超時等保護和報警裝置，保證設備的安全可靠；10配備有進口PFA，水、氣槍各一。 更多半導體兆聲清洗...
設備名稱：晶棒腐蝕機---CSE產(chǎn)品描述： ●此設備自動化程度高,腐蝕清洗裝置主要由水平通過式腐蝕清洗主體(槽體部分/管路部分等),移動機械傳送裝置,CDS系統(tǒng)，抽風系統(tǒng),電控及操作臺等部分組成; ●進口優(yōu)質(zhì)透明PVC活動門（對開/推拉式），保證設備外部環(huán)境符合勞動保護的相關標準，以保證設備操作人員及其周圍工作人員的身體健康; ●機械臂定位精度高; ●整體設備腐蝕漂洗能力強,性能穩(wěn)定,安全可靠; ●設備成本合理,自動化程度高,使用成本低;技術先進,結構合理,適宜生產(chǎn)線上大批次操作. ●非標設備，根據(jù)客戶要求具體定制，歡迎詳細咨詢！更多半導體清洗設備相關資訊可以關注華林科納CSE官網(wǎng)（www.hlcas.com），現(xiàn)在熱線咨詢400-8768-096可立即獲取免費的半導體清洗解決方案。
2設備構成及詳細技術說明2.1工藝說明 2.2.臺面結構圖如下 3.設備說明3.1 排風系統(tǒng)?●排風裝置（排風壓力、風量根據(jù)實際情況或客戶要求設計）將設備內(nèi)揮發(fā)的有毒氣體抽到車間排風管道或戶外（室外排放遵守國家環(huán)保要求），避免擴散到室內(nèi)；?●排風通道內(nèi)設有風量導流板，從而使排風效果達到最佳；?●本體頂部后方自帶強力抽風1個風道口裝置(每個藥劑槽對應一個)，排風口直徑大于或等于 200mm 與本體焊成一體；?●排風口處設有手動調(diào)節(jié)風門，操作人員可根據(jù)情況及時調(diào)節(jié)排風量；3.2設備防護門：?●本體前方安裝有防護隔離門，隔離門采用透明PVC板制成，前門可以輕松開合，在清洗過程中，隔離門關閉，以盡量改善工作環(huán)境并減小對人體的傷害. ?●形式:上下推拉門。3.3 給排水/廢液系統(tǒng)?●給水管路為一路去離子水；?●給排水排廢接頭均為活性連接；?●排放方式均采用氣動控制的方式來保證安全3.4 電氣控制系統(tǒng)?●采用優(yōu)質(zhì)PLC可編程控制器控制全操作過程， ?●人機界面為觸摸屏，接口中有手動操作、故障報警、安全保護等功能，各工作位過程完成提前提示報警，觸摸屏選用優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品；?●觸摸屏加鎖定，以防非授權人員修改或設定參數(shù)；?●所有電控部分需獨立封閉，帶抽風系統(tǒng)，獨立的配電柜?●設備照明：設備其它部位--低電壓燈，根據(jù)工作需要可控照明；?●設備整體采取人性化設計，方便操作；并裝有漏電保護和聲光報警提示裝置，保證性能安全可靠；電控部分導線采用耐高溫、耐腐蝕的專用導線，電氣控制部分內(nèi)部還通有壓縮空氣保護，可防水耐腐蝕；?●設備所有處于腐蝕腔中的線纜均通過PE管進行保護，免受腐蝕；?●設備具有良好的接地裝置；